烧结体制造技术

烧结体，其包含锌、镁和氧作为构成元素，锌相对于锌和镁的总计的原子比[Zn/(Zn+Mg)]为0.20~0.75，镁相对于锌和镁的总计的原子比[Mg/(Zn+Mg)]为0.25~0.80，X射线衍射测定的结果是包含单一的晶体结构。果是包含单一的晶体结构。果是包含单一的晶体结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】烧结体


[0001]本专利技术涉及烧结体、薄膜的形成中使用的成膜用片和溅射靶材。

技术介绍

[0002]作为具有光透过性的薄膜，使用氧化物薄膜。氧化物薄膜例如被用于发光二极管等半导体装置的电极。
[0003]MgO
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ZnO系氧化物中，作为透光性陶瓷，有彩色液晶投影仪中的应用例(例如参照专利文献1)。此外，公开了ZnO
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MgO系溅射靶材用烧结体，其特征在于，将Mg以MgO换算计含有3~50mol%，MgO相(包括富含MgO的固溶相)的最大晶体粒径为10μm以下，具有均匀分散的组织(参照专利文献2)。本文献中，将所得薄膜用作太阳能电池的窗口材料。
[0004]然而，在将含有氧化锌和氧化镁的成型体进行煅烧的情况下，根据混合比，进行溅射、蒸镀后的烧结体的氧化变得不均匀，有时产生在周边部与中央部或表面与内部处形成色泽的差异的问题(产生锌的析出、结节等颜色偏差)。产生颜色偏差的烧结体作为要求材质的均匀性的溅射靶材、片等成膜用材料是不适合的。
[0005]产生颜色偏差的成膜用材料中，需要将烧结体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.烧结体，其包含锌、镁和氧作为构成元素，前述锌相对于前述锌和镁的总计的原子比[Zn/(Zn＋Mg)]为0.20~0.75，前述镁相对于前述锌和镁的总计的原子比[Mg/(Zn＋Mg)]为0.25~0.80，X射线衍射测定的结果是包含单一的晶体结构。2.根据权利要求1所述的烧结体，...

【专利技术属性】
技术研发人员：笘井重和，上冈义弘，胜又聪，佐佐木健一，大山正嗣，
申请(专利权)人：出光兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：