【技术实现步骤摘要】
一种新型氧化扩散炉系统用进气管
本技术涉及氧化扩散炉装置领域,具体是一种新型氧化扩散炉系统用进气管。
技术介绍
现有常压扩散炉进气方式为炉尾进气,通过尾气管从炉口出气,在炉内形成气体流场,中国技术专利CN206736407U公开了一种扩散炉用石英炉管,炉门上设置底面呈球面的导流槽,进气管穿过管体内部,在炉口处与炉门相对设置,当气体从进气管进入管体后,气体从进气管内喷出,直接喷向导流槽的底面,导流槽的底面为球面,喷向导流槽的气体经过导流槽底面的反弹后充满整个管体,并向炉尾流动,最终从炉尾中间的尾气管排出,掺杂原子在反应室内分布更均匀,但仍具有如下缺点:现有进气方式气体流场不均匀,掺杂原子在反应室内分布不均匀,炉尾气体浓度偏高,炉口气体浓度偏低,容易造成扩散后硅片片内与片间的均匀性相对较差,其主要原因在于采用反弹式气体流动方式,虽然局部实现了掺杂原子分布均匀的目的,但其是以牺牲进气管进气气体的压力为代价,从而导致炉尾气体浓度偏高,炉口气体浓度偏低的现象发生。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种新型氧化扩散炉系统用进气管,以解决现有技术中存在的缺陷。本技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种新型氧化扩散炉系统用进气管,包括前后连接的弯折通气管和直通气管,所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成,所述弯折通气管与进气端连接,所述直通气管与出气端连通,所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通,所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。进一步的,所述弯折通气管上设置有固定用的乳白法兰二,所述直通气管的末端设置有固定用乳白法兰一;本技术的有益效果是 ...
【技术保护点】
1.一种新型氧化扩散炉系统用进气管,其特征在于:包括前后连接的弯折通气管和直通气管,所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成,所述弯折通气管与进气端连接,所述直通气管与出气端连通,所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开口与高压进气管连通,所述高压进气管与弯折通气管外壁通过胶接固定。
【技术特征摘要】
1.一种新型氧化扩散炉系统用进气管,其特征在于:包括前后连接的弯折通气管和直通气管,所述弯折通气管和直通气管均由石英管制成,所述弯折通气管与进气端连接,所述直通气管与出气端连通,所述直通气管靠近弯折通气管的下方具有开...
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