【技术实现步骤摘要】
一种旋涂机底盘
本技术涉及实验设备领域,具体涉及一种旋涂机底盘。
技术介绍
旋涂机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺,主要应用于溶胶-凝胶实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。在实验室中,主要利用真空泵抽真空将载玻片吸附在底盘上,在使用过程中,可能因为操作不当等缘故使得载玻片未能完全吸附,在实验过程可中可能飞出,在成实验失败甚至人员受伤。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供一种采用螺母螺栓固定方式代替吸附方式固定的旋涂底盘。本技术所述旋涂机底盘,包括底板、压板、垫块和固定装置,压板放置于底板上面,中间通过垫块分隔开,所述固定装置包括螺母和螺栓,螺栓贯穿底板和压板,并通过螺母旋紧固定。本技术采用螺母螺栓固定方式代替吸附方式固定,避免了每次实验抽真空的繁琐,节省了大量的试验时间,使得实验更加方便易操作,解决了现有技术操作有危险的缺点,使实验人员操作更加方便安全。所述垫块可伸缩,使得本技术可用于不同规格基片旋涂。所述压板、垫块、螺母和螺栓分别有四个,此种固定方式更加牢靠,避免高速旋转时基片飞出。本技术相比现有技术,具有以下有益效果:避免了每次实验抽真空的繁琐,节省了大量的试验时间,使得实验更加方便易操作;解决了现有技术操作有危险的缺点,使实验人员操作更加方便安全;该装置不用真空泵即可使用旋涂机,节约了实验室空间。附图说明图1为本技术剖视图;图2为本技术俯视图; ...
【技术保护点】
1.一种旋涂机底盘,其特征在于:包括底板、压板、垫块和固定装置;压板放置于底板上面,中间通过垫块分隔开;所述固定装置包括螺母和螺栓,螺栓贯穿底板和压板,并通过螺母旋紧固定;所述压板、垫块、螺母和螺栓分别有四个;所述的压板呈对称式、均匀的分布在基片的边缘处。
【技术特征摘要】
1.一种旋涂机底盘,其特征在于:包括底板、压板、垫块和固定装置;压板放置于底板上面,中间通过垫块分隔开;所述固定装置包括螺母和螺栓,螺栓贯穿底板和压板,并通过螺...
【专利技术属性】
技术研发人员:张昕曜,王威,郝凌云,刘季锦花,林玲,
申请(专利权)人:金陵科技学院,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。