【技术实现步骤摘要】
一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构
本技术涉及一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构,尤其是涉及一种应用于匀胶机上的结构,其能够将气流扰动降低,从而保证匀胶效果,属于光电
技术介绍
目前,匀胶机在旋涂过程中气流扰动对成膜质量影响较大;甚至有企业研发了如中国专利201510415328.4(2015.7.15)所示的一种“利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法”,可见如何控制气体扰动是成膜质量的关键因素;但是常规的匀胶机的加热旋转腔内的气流杂乱无章,严重影响成膜质量。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构,其能够对匀胶机内气流进行控制。本技术的目的是这样实现的:一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构,所述结构包含有盖置于托盘上方的上盖,所述托盘和上盖之间形成加热旋转腔,加热旋转载物盘位于加热旋转腔内;所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔,且上盖的底部设置有环形结构的导流台阶,且导流台阶插置于旋涂内腔中,所述上盖的内壁为锥形结构,且上盖的顶部盖壁上设置有排气孔。与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术通过腔体调整,将原有内腔制作成斜面的造型,一可以减少内腔体积,降低成本,二可以减小气流扰动,优化成膜效果;并且通过旋涂内腔和导流台阶的引导维稳后吹向基片上的胶液,辅助旋转的加热旋转载物盘将胶液旋转甩开得更为均匀。附图说明图1为本技术一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构。图2为本技术一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的气流扰动矢量模拟图。其中:上盖1、排气孔2、 ...
【技术保护点】
1.一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构,所述结构包含有盖置于托盘上方的上盖(1),所述托盘和上盖(1)之间形成加热旋转腔,加热旋转载物盘(4)位于加热旋转腔内;其特征在于:所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔(3),且上盖(1)的底部设置有环形结构的导流台阶(5),且导流台阶(5)插置于旋涂内腔(3)中,所述上盖(1)的内壁为锥形结构,且上盖(1)的顶部盖壁上设置有排气孔(2)。
【技术特征摘要】
1.一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构,所述结构包含有盖置于托盘上方的上盖(1),所述托盘和上盖(1)之间形成加热旋转腔,加热旋转载物盘(4)位于加热旋转腔内;其特征在于:所述托盘的底部...
【专利技术属性】
技术研发人员:宣海,曹喜喜,陈酉冰,
申请(专利权)人:江苏雷博科学仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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