流体控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种流体控制装置，该接头包括第一单元以及第二单元以形成为具特定形状的接头，如此一来，该接头与相邻的接头彼此叠合而具有简易拆卸的效果，本实用新型专利技术亦提供包括该接头的流体控制装置。

Fluid Control Device

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置
本技术涉及一种流体控制装置，尤指一种可简易拆解和组装，以及弹性化模块与高密封性的流体控制装置。
技术介绍
流体控制装置为半导体产业中常使用的一种装置，其目的在于供给半导体制造过程中，包括扩散、蚀刻、溅射等过程所需的气体。目前流体控制装置主要包括多种设备，譬如减压阀、压力计、质量流量控制器、气体过滤器、手动阀、第一截止阀、第二截止阀等，并包括用于连接该些流体控制设备的各式接头，以构成通路使流体得以顺利流通。即便流体控制装置已广泛地应用于半导体产业，然仍有缺陷待改善。举例来说，由于流体控制装置中包括多种设备，故在流体控制装置的拆卸及组装难易度即为一待改善的议题，目前已提出的解决方案包括减少流体控制装置中所使用的组件数量，进而达到组装容易的效果。譬如，美国专利公开号US20150075660A1的流体控制装置亦提出组装问题的改善方法。其装置中包括将多个流体控制机器串行配置成一列的上层以及用来连接上层的多个流体控制机器的通路块的下层，该些相邻的通路块之间彼此通过倒U字型配管连接，不仅容易并用多列用通路块及单列用通路块，也容易进行行列数的增减。除此之外，流经流体控制装置的流体之中有些带有腐蚀性，是以，除了需改善流体控制装置的组件抗腐蚀性外、亦得考虑清洁维护的难易。再者，流体在流体控制装置中流动时也常出现泄漏的问题，特别当流动的气体带有危险或人体危害的时候，更是需要仔细避免流体外泄问题。有鉴于此，亟需开发出一种可改善上述缺陷的新颖性流体控制装置，以满足产业的需求。
技术实现思路
本技术主要目的，在于解决现有流体控制装置不易拆解或组装的问题。本技术另一目的，在于改善现有用于流体控制装置的接头中，气体通道容易有颗粒残留且清洗不易的缺点。本技术又一目的，在于降低气体在流体控制装置流动的过程中泄漏的风险。为了达到上述目的，本技术一实施例中提供一种包括至少两个流体流通孔的用于流体控制装置的接头，其包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于设置该第一单元之中的第一信道；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。为了达到上述目的，本技术另一实施例中提供一种包括至少三个流体流通孔的用于流体控制装置的接头，其包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、以及一设置于该上表面的第四流体流通孔，该第一流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第四流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔和该第二流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第三流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。本技术又一实施例提供一种至少包括四个流体流通孔的接头，包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、一设置于该上表面的第四流体流通孔、一设置于该上表面的第五流体流通孔以及一设置于该上表面的第六流体流通孔，其中，该第一流体流通孔与该第五流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第五流体流通孔，该第二流体流通孔与该第六流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第六流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第三通道以连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。本技术再一实施例提供一种至少包括六个流体流通孔的接头，包括：一第一单元，具有一上表面、一与该上表面相对的下表面、一设置于该上表面的第一流体流通孔、一设置于该上表面的第二流体流通孔、一设置于该上表面的第四流体流通孔、一设置于该上表面的第五流体流通孔以及一设置于该上表面的第六流体流通孔，其中，该第一流体流通孔与该第五流体流通孔之间设置有一第一通道以连通该第一流体流通孔与该第五流体流通孔，该第二流体流通孔与该第六流体流通孔之间设置有一第二通道以连通该第二流体流通孔与该第六流体流通孔；一延伸单元，该延伸单元自该第一单元的一侧端朝外突出，该延伸单元包括一第三流体流通孔，且该第三流体流通孔与该第四流体流通孔之间设置有一第三通道以连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该下表面的一部分突出的定位块以及一相邻于该下表面的另一部分与该定位块的第一凹陷部。本技术还提供一种用于流体控制装置的接头模块，包括：多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括一上半部以及一下半部，该上半部包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸的连接通道，该下半部具有一凹陷部及一远离该凹陷部并沿该轴向延伸突出的舌部，其中，该连接通道高于该舌部的一上表面；其中，相邻的该连接块通过该舌部容设于该凹陷部内而彼此连接。本技术还提供一种用于流体控制装置的接头模块，包括：多个连接块，该连接块沿一轴向排列，该连接块各包括至少一流体入口、至少一流体出口、以及至少一连通该流体入口和该流体出口之间且朝一水平方向延伸而和该连接块的一底面相距一高度的连接通道，其中，该连接块的一端形成一突出的第一舌部，另一端形成一凹陷部，相邻的该连接块通过该第一舌部容设于该凹陷部内而彼此连接。本技术还提供一种流体控制装置，包括：一基座；一设置于该基座上的接头模块，并包括：一第一接头，包括：一第一单元，具有一第一上表面、一与该第一上表面相对的第一下表面、一设置于该第一上表面的第一流体流通孔、一设置于该第一上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于该第一单元之中的第一信道；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一单元的该第一下表面的一部分突出的第一定位块以及一相邻于该第一下表面的另一部分与该第一定位块的第一凹陷部；以及一第二接头，包括：一第三单元，具有一第二上表面、一与该第二上表面相对的第二下表面、一设置于该第二上表面的第三流体流通孔、一设置于该第二上表面的第四流体流通孔以及一连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔且贯穿于该第三单元之中的第二信道；以及一第四单元，设置于该第三单元之下，包括一自该第三单元的该第二下表面的一部分突出的第二定位块、一相邻于该第二下表面的另一部分与该二定位块的第二凹陷部以及一远离该第二凹陷部延伸的舌部，其中，该第一接头通过该第二单元的该第一凹陷部容设该第四单元的该舌部而和该第二接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其特征在于包括：一基座；一设置于该基座上的接头模块，并包括：一第一接头，包括：一第一单元，包括一第一定位块、以及一相邻该第一定位块设置并与该第一定位块一体相连的第一舌部，该第一单元具有一第一上表面、一与该第一上表面相对的第一下表面、一设置于该第一上表面的第一流体流通孔、一设置于该第一上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于该第一单元之中的第一信道；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一定位块的该第一下表面突出的第二定位块、以及一向该第一舌部的该下表面凹陷的第一凹陷部；以及一第二接头，包括：一第三单元，包括一第三定位块、以及一相邻该第三定位块设置并与该第三定位块一体相连的第二舌部，该第三单元具有一第二上表面、一与该第二上表面相对的第二下表面、一设置于该第二上表面的第三流体流通孔、一设置于该第二上表面的第四流体流通孔以及一连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔且贯穿于该第三单元之中的第二信道；以及一第四单元，设置于该第三单元之下，包括一自该第三定位块的该第二下表面突出的第三定位块、一面向该第二舌部的该下表面凹陷的第二凹陷部以及一自该第三定位块朝远离该第二凹陷部方向延伸的第三舌部，其中，该第一接头通过该第二单元的该第一凹陷部容设该第四单元的该第三舌部而和该第二接头彼此相邻靠接；以及一流体控制件，通过该接头模块而紧固于该基座之上，且该流体控制件跨接于该第一接头和该第二接头；其中，该第一单元的该第一舌部具有多个上固定孔，该些上固定孔包含复数设置在该第一舌部的一上表面且并未贯穿的第一螺纹孔、多个设置在该第一舌部的一下表面且并未贯穿的下螺纹孔、以及多纵向贯穿该第一舌部的螺栓孔；该第四单元的该第三舌部具有多个下固定孔，该些下固定孔包含多纵向贯穿该第三舌部且分别和每一该下螺纹孔对应的贯孔、以及多纵向贯穿该第三舌部且和分别和每一该螺栓孔对应的第二螺纹孔；且该第一接头和该第二接头之间通过多个固定件穿设于该第一单元的每一该上固定孔以及该第四单元的每一该下固定孔而彼此固定。...

【技术特征摘要】
2017.12.05 US 62/594,8051.一种流体控制装置，其特征在于包括：一基座；一设置于该基座上的接头模块，并包括：一第一接头，包括：一第一单元，包括一第一定位块、以及一相邻该第一定位块设置并与该第一定位块一体相连的第一舌部，该第一单元具有一第一上表面、一与该第一上表面相对的第一下表面、一设置于该第一上表面的第一流体流通孔、一设置于该第一上表面的第二流体流通孔以及一连通该第一流体流通孔与该第二流体流通孔且贯穿于该第一单元之中的第一信道；以及一第二单元，设置于该第一单元之下，包括一自该第一定位块的该第一下表面突出的第二定位块、以及一向该第一舌部的该下表面凹陷的第一凹陷部；以及一第二接头，包括：一第三单元，包括一第三定位块、以及一相邻该第三定位块设置并与该第三定位块一体相连的第二舌部，该第三单元具有一第二上表面、一与该第二上表面相对的第二下表面、一设置于该第二上表面的第三流体流通孔、一设置于该第二上表面的第四流体流通孔以及一连通该第三流体流通孔与该第四流体流通孔且贯穿于该第三单元之中的第二信道；以及一第四单元，设置于该第三单元之下，包括一自该第三定位块的该第二下表面突出的第三定位块、一面向该第二舌部的该下表面凹陷的第二凹陷部以及一自该第三定位块朝远离该第二凹陷部方向延伸的第三舌部，其中，该第一接头通过该第二单元的该第一凹陷部容设该第四单元的该第三舌部而和该第二接头彼此相邻靠接；以及一流体控制件，通过该接头模块而紧固于该基座之上，且该流体控制件跨接于该第一接头和该第二接头；其中，该第一单元的该第一舌部具有多个上固定孔，该些上固定孔包含复数设置在该第一舌部的一上表面且并未贯穿的第一螺纹孔、多个设置在该第一舌部的一下表面且并未贯穿的下螺纹孔、以及多纵向贯穿该第一舌部的螺栓孔；该第四单元的该第三舌部具有多个下固定孔，该些下固定孔包含多纵向贯穿该第三舌部且分别和每一该下螺纹孔对应的贯孔、以及多纵向贯穿该第三舌部且和分别和每一该螺栓孔对应的第二螺纹孔；且该第一接头和该第二接头之间通过多个固定件穿设于该第一单元的每一该上固定孔以及该第四单元的每一该下固定孔而彼此固定。2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于该流体控制件选自由减压阀、压力计、质量流量控制器、过滤器、手动阀、2埠截止阀、3埠截止阀、高洁净调压阀、压力传感器及其组合所组成的群组。3.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于该第一接头和该第二接头之间通过至少一固定件...

【专利技术属性】
技术研发人员：田志伟，
申请(专利权)人：鉴锋国际股份有限公司，
类型：新型
国别省市：新加坡,SG