【技术实现步骤摘要】
一种用于团簇束流源的电转向器
本专利技术涉及一种对原子团簇束流源的控制装置。
技术介绍
近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。在飞行过程中对适合加工的团簇进行转向，进行不同方式的处理。
技术实现思路
本专利技术目的是，提出一种对原子团簇束流源的控制装置。即一种用于团簇束流源的电转向器。本专利技术技术方案是，用于团簇束流源的电转向器，8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。球体半径为20±5cm，加工孔洞为4±2mm螺纹孔。有益效果，本专利技术采用8个1/8球形电极上同时加上正或负电压，可以方便控制经过本专利技术控制体的离子束流，可以正以直线或发生偏转，可以按任意方式控制，尤其是电极的形状精确，施加的电压均衡，电控制束流的性能好。附图说明图1为本专利技术电转向器结构示意图。具体实施方式入射离子束流为金100团簇，束流能量为100eV，每个团簇粒子带一个正电荷，在4个1/8球形电极(红色)上同时加上-500V电压，在4个1/8球形电极(黄色)上同时加上+500V电压，离子束流向下偏转90度射出。每个电极为1/8球体，1/8球体半径为25cm，1/8球体上设有加工孔洞为3...
【技术保护点】
1.用于团簇束流源的电转向器，其特征是，设有8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm；8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压；8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。
【技术特征摘要】
1.用于团簇束流源的电转向器，其特征是，设有8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm；8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压；8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。2.根据权利要求1所述的用于团簇束流源的电转向器，其特征是，1/8金属球体半径为20±5cm，1...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹路，宋凤麒，步海军，张敏昊，张同庆，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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