移载设备以及移载方法技术

本发明专利技术是在货叉单元(40)与移载机(20)之间对盒体(90)进行移载的移载设备(10)，其具备推动件(25)，该推动件(25)对盒体(90)在货叉单元(40)的载置面(41a)的位置进行限制，货叉单元(40)在载置面(41a)上具备浮动单元(50)，浮动单元(50)为将具备物品载置支承用的支承部(51)的活动部(52)托挡支承为相对于固定部(53)沿水平方向移动自如的构造，盒体(90)支承于物品载置支承用的支承部(51)，使得活动部(52)能够相对于固定部(53)沿水平方向移动、且利用推动件(25)对盒体(90)的位置进行限制，由此进行盒体(90)的定位。

【技术实现步骤摘要】
移载设备以及移载方法
本专利技术涉及在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载的移载设备，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动。
技术介绍
作为上述移载设备，例如存在将收纳有基板的盒体(物品)向作为处理装置的腔室移载的设备(例如参照专利文献1)。专利文献1的移载设备中，盒体输送单元(第一移载机)将由输送台车单元输送的盒体向设备内输入，盒体移载单元(第二移载机)将由盒体输送单元输入的盒体向腔室输入。或者，盒体移载单元将输入到腔室内的盒体输出，盒体输送单元将由盒体移载单元输送的盒体向输送台车单元移载。对于由盒体输送单元从输送台车单元移载的盒体，在利用盒体移载单元将该盒体向腔室输入之前，将该盒体载置于在腔室的上方所设置的承接台。同样地，对于由盒体移载单元从腔室输出的盒体，在利用盒体输送单元将该盒体向输送台车单元移载之前，将该盒体载置于承接台。盒体移载单元从上方对盒体进行把持并使其进行升降移动，由此，将载置于承接台的盒体向腔室输入、或者将从腔室输出的盒体向承接台输入。专利文献专利文献1：韩国登记专利第10－1511963号公报
技术实现思路
但是，如上所述的移载设备中，当在盒体输送单元(第一移载机)与盒体移载单元(第二移载机)之间对盒体(物品)进行移载时，需要在移载中途暂时将盒体(物品)载置于承接台的动作。此外，当盒体移载单元(第二移载机)对盒体(物品)进行把持并使其进行升降移动时，盒体(物品)与承接台发生干扰，因此，为了避免与承接台发生干扰，需要使盒体(物品)回旋等动作。因此，存在如下问题，即，盒体输送单元(第一移载机)与盒体移载单元(第二移载机)之间的盒体(物品)的移载耗费时间。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够高效地对第一移载机与第二移载机之间的物品进行移载的移载设备，其中，所述第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，所述第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动。本专利技术所要解决的课题如上所述，接下来，对用于解决该课题的方案进行说明。即，本专利技术的移载设备是在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载的移载设备，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动，其中，具备位置限制装置，该位置限制装置与载置于所述第一移载机的载置面的物品的侧面抵接而对所述物品在所述载置面的位置进行限制，所述第一移载机在其载置面上具备浮动单元，所述浮动单元是将具备物品载置支承用的支承部的活动部托挡支承为相对于固定部在水平方向上移动自如的构造，所述物品支承于所述物品载置支承用的支承部，使得所述活动部能够相对于所述固定部沿水平方向移动、且利用所述位置限制装置对所述物品的位置进行限制，由此在所述载置面上进行物品相对于所述第二移载机的升降位置的定位。上述结构中，载置于第一移载机的载置面的物品被定位于第二移载机的升降位置。本专利技术的移载设备在上述移载设备的基础上，具备定位机构，该定位机构进行所述第一移载机相对于所述第二移载机的升降位置的定位。上述结构中，第一移载机被定位于第二移载机的升降位置。本专利技术的移载设备在上述移载设备的基础上，所述物品为在该物品的上部形成有与所述第二移载机卡止的卡止部的近似箱状的结构，并且所述卡止部形成为钩状。上述结构中，在第一移载机与第二移载机之间对具有钩状的卡止部的近似箱状的物品进行移载。根据本专利技术的移载设备，无需借助承接台而能够直接进行第一移载机与第二移载机之间的物品的移载，因此，不需要在移载中途将物品载置于承接台的动作、以及在利用第二移载机使物品进行升降移动时使物品回旋等动作。因此，能够高效地进行第一移载机与第二移载机之间的物品的移载。附图说明图1是本专利技术所涉及的移载设备的俯视图。图2是上述移载设备的主视图。图3是上述移载设备的浮动单元(floatingunit)的侧视截面图。图4是示出上述移载设备的货叉单元将盒体从输送台车输出时的概况的侧视截面图。图5A是示出上述移载设备的货叉单元将盒体向移载设备输入时的概况的侧视图。图5B是示出上述移载设备的货叉单元将盒体向移载设备输入时的概况的俯视图。图6是示出上述移载设备的货叉单元将盒体向移载设备输入时的概况的侧视截面图。图7A是示出上述移载设备的移载机将盒体从货叉单元输出时的概况的侧视图。图7B是示出上述移载设备的移载机将盒体从货叉单元输出时的概况的俯视图。图8是示出上述移载设备的移载机将盒体向蒸镀装置的载物口移载时的概况的主视截面图。附图标记的说明：10…移载设备、20…移载机(第二移载机)、25…推动件(位置限制装置)、40…货叉单元(第一移载机)、41a…载置面、50…浮动单元、51…支承部、52…活动部、53…固定部、90…盒体。具体实施方式对本专利技术所涉及的移载设备10进行说明。如图1及图2所示，移载设备10是附加设置于蒸镀装置80的设备，该蒸镀装置80对作为半导体产品或者液晶显示元件产品的半成品的基板91进行蒸镀处理。移载设备10将收纳有板状体的基板91的盒体90(“物品”的一例)向蒸镀装置80的载物口83移载。对于移载设备10而言，将输入至移载设备10的盒体90向蒸镀装置80的载物口83移载，并且，将从蒸镀装置80的载物口83输出的盒体90向移载设备10的外部输出。输送至移载设备10中的盒体90由一侧面或者两侧面开口的近似箱状的部件形成。盒体90构成为能够在其内部收纳多个基板91。盒体90在其上部形成有多个与后述的移载机20卡止的凸缘部92(“卡止部”的一例)。凸缘部92由设置成从盒体90的上表面突出的钩状的部件构成。凸缘部92设置于盒体90的上表面的多处部位。移载设备10附加设置于蒸镀装置80的上方。附加设置有移载设备10的蒸镀装置80的装置整体由装置壳体81覆盖。装置壳体81在其内部具有能够容纳蒸镀装置80的内部空间。装置壳体81在其上部形成有用于将盒体90向内部输送的盒体输入口82。装置壳体81在其内部空间设置有用于供盒体90载置的载物口83。具体而言，载物口83设置于盒体输入口82的正下方(后述的移载机20的正下方、且是借助移载机20而进行升降的盒体90的升降路径上)。在移载设备10的侧方且在蒸镀装置80的上方设置有相对于移载设备10而对盒体90进行输送的货叉单元40(“第一移载机”的一例)。即，从蒸镀装置80的上方且从移载设备10的侧方对盒体90进行输入或输出。如图1所示，货叉单元40供盒体90载置并使该盒体90沿水平方向进行进入或退出移动。货叉单元40将盒体90从沿着台车移动轨道85移动的输送台车86输出，并将输出的盒体90向移载设备10输入。另外，货叉单元40将盒体90从移载设备10输出，并将输出的盒体90向输送台车86移载。货叉单元40构成为主要包括：货叉41，在其上表面具有用于供盒体90载置的载置面41a；屈伸式臂42，其用于使货叉41沿水平方向进行进入或退出移动；以及回旋台43，其使屈伸式臂42进行回旋。货叉41由能够供盒体90载置且对其进行移载的近似长方形状的板构成。通过使屈伸式臂42屈伸而使得货叉41相对于输送台车86或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移载设备，其在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动，所述移载设备的特征在于，具备位置限制装置，该位置限制装置与载置于所述第一移载机的载置面的物品的侧面抵接而对所述物品在所述载置面的位置进行限制，所述第一移载机在其载置面上具备浮动单元，所述浮动单元是将具备物品载置支承用的支承部的活动部托挡支承为相对于固定部在水平方向上移动自如的构造，所述物品支承于所述物品载置支承用的支承部，使得所述活动部能够相对于所述固定部沿水平方向移动、且利用所述位置限制装置对所述物品的位置进行限制，由此在所述载置面上进行物品相对于所述第二移载机的升降位置的定位。

【技术特征摘要】
2017.12.15 JP 2017-2401081.一种移载设备，其在第一移载机与第二移载机之间对物品进行移载，该第一移载机供物品载置并使该物品沿水平方向进行进入或退出移动，该第二移载机对物品的上部进行支承并使该物品沿铅直方向进行升降移动，所述移载设备的特征在于，具备位置限制装置，该位置限制装置与载置于所述第一移载机的载置面的物品的侧面抵接而对所述物品在所述载置面的位置进行限制，所述第一移载机在其载置面上具备浮动单元，所述浮动单元是将具备物品载置支承用的支承部的活动部托挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂田博史，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本,JP