一种具有传动辊在线监测功能的真空设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，包括：真空腔体；安装于真空腔体内的传动辊单元，传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端；传动连接传动辊单元输入端的驱动装置；监测装置，监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元，两个监测单元之间于真空腔体内形成一检测路径；对应监测单元安装于传动辊上的被监测零件，被监测零件在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。本实用新型专利技术能够实现在线直接监测传动链终端零件——传动辊的工作状态，同时不降低传动辊的力学性能，及时给出具体传动辊单元失效的报警信号，确保设备及时采取应对措施，避免故障造成更大损失。

A Vacuum Equipment with On-line Monitoring Function of Driving Roller

The utility model discloses a vacuum device with on-line monitoring function of transmission roll, which comprises a vacuum chamber, a transmission roll unit installed in the vacuum chamber, a transmission roll unit having a transmission roll and an input end extending outside the vacuum chamber, a driving device connecting the input end of the transmission roll unit, a monitoring device, and a monitoring unit having a monitoring sheet installed on both sides of the vacuum chamber. A detection path is formed between the two monitoring units in the vacuum chamber. The corresponding monitoring unit is installed on the transmission roll of the monitored parts, which can shield and avoid the detection path of the monitoring unit in the process of rotation. The utility model can realize on-line direct monitoring of the working state of the transmission roller, which is the terminal part of the transmission chain, without reducing the mechanical properties of the transmission roller, and give the alarm signal of the failure of the specific transmission roller unit in time, so as to ensure that the equipment takes timely countermeasures to avoid greater losses caused by the failure.

【技术实现步骤摘要】
一种具有传动辊在线监测功能的真空设备
本技术属于真空设备
，具体涉及一种具有传动辊在线监测功能的真空设备。
技术介绍
真空设备被广泛应用于现代化工业生产，例如利用物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、气相运输沉积技术和等离子体表面处理技术等工业生产领域。在实际应用中，大多数真空设备和其他设备构成自动化或半自动化生产线，因此真空设备传动链失效的在线监测对于生产线的正常运行具有重要意义。传动辊传动链是真空设备主要的传动方式之一，其运行状态在线监测尤为重要。真空设备目前主要通过以下一种或多种方式监测传动链：1.监测传动链动力输入装置(例如电动机等)的工作状态；2.监测传动件(例如同步轮、同步带等)的工作状态；3.监测传动辊输入端连接件(例如磁流体、联轴器等)的工作状态；4.监测真空设备所加工的工件的位置。以上方法是通过监测传动链中某个零部件的工作状态或者通过监测真空设备所加工工件的位置判断传动链工作状态，不能直接反映传动辊的工作状态，可靠性偏低。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其能够直接在线监测传动链终端零件——传动辊的工作状态，及时给出具体的某一传动辊单元失效报警，确保设备及时采取应对措施，避免故障造成更大的损失。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其包括：真空腔体；转动安装于真空腔体内的传动辊单元，所述传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端；传动连接传动辊单元的输入端的驱动装置，用于驱动传动辊转动；监测装置，所述监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元，两个监测单元之间于真空腔体内形成一检测路径；对应监测单元安装于传动辊上的被监测零件，所述被监测零件可随传动辊同步转动，并在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。进一步的，所述监测单元包括视窗、压紧件和光学传感器，所述视窗通过压紧件固定于真空腔体上，所述光学传感器对应视窗安装于真空腔体的外侧，并且所述真空腔体对应视窗开设有外形尺寸小于视窗的镂空口，两侧的监测单元通过光学传感器于真空腔体内形成光路。进一步的，所述视窗设置于真空腔体的外侧，且视窗与真空腔体的侧壁之间设置有密封圈。进一步的，该光学传感器位置可调节。进一步的，所述被监测零件偏离传动辊的轴心并安装于传动辊相对于输入端的另一端，所述被监测零件可随传动辊的转动做圆周运动，且被监测零件的圆周路径与检测路径相交而实现被监测零件在转动过程中可遮挡和避开监测单元的检测路径。进一步的，所述被监测零件同轴设置于传动辊相对于输入端的另一端，且被监测零件上开设有贯穿两侧的通孔，两侧的监测单元之间的检测路径在被监测零件随传动辊转动一圈的过程中可通过通孔连通至少一次。进一步的，所述被监测零件上开设有多个均匀排布的通孔，多个所述的通孔的轴心均沿传动辊的径向并穿过传动辊的轴心。进一步的，所述被监测零件采用不透光材料制成。进一步的，所述监测装置电性连接有报警装置，用于在判定检测路径被遮挡的时间异常时通过报警装置发出报警信号。进一步的，所述传动辊单元还包括磁流体密封传动装置、轴承支座和联轴器，所述传动辊的两端通过轴承支座安装于真空腔体内，所述磁流体密封传动装置安装于真空腔体上并通过联轴器连接传动辊的一端，以形成传动辊单元的输入端。进一步的，所述磁流体密封传动装置的输入轴上设置有同步轮，所述驱动装置通过皮带传动连接同步轮。进一步的，真空腔体内并排设置有多个传动辊单元，并且多个传动辊单元之间联动设置，以公用同一个驱动装置。进一步的，所述同步轮包括第一同步轮和第二同步轮，所述第一同步轮和第二同步轮同轴固定连接在所述磁流体密封传动装置的输入轴上，且所述第一同步轮位于第二同步轮的外侧，同时，相邻的两个所述磁流体密封传动装置上的第一同步轮或第二同步轮之间通过同步带传动相接，并在真空腔体上设置压紧同步带的涨紧轮。工作原理说明：被监测零件采用不透明材料制作，传动辊每转动一周，被监测零件同步转动一周，设转动周期为T，在转动周期T内，光学传感器的光路被遮挡时间为t，如果传动链中的零件(包括动力输入装置、同步带、同步轮、涨紧轮、联轴器、磁流体密封传动装置)失效会导致一根或者多根传动辊转速变慢甚至停止转动，该传动辊单元对应的监测单元的光学传感器的光路被遮挡时间t会发生变化，传递给报警装置相应的信号，报警装置发出对应报警信息。本技术的有益效果是：通过监测装置监测被监测零件，而被监测零件跟随传动辊同步转动，能够实现在线直接监测传动链终端零件——传动辊的工作状态，同时不降低传动辊的力学性能，及时给出具体传动辊单元失效的报警信号，确保设备及时采取应对措施，避免故障造成更大损失。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明：图1是本技术的整体结构示意图；图2是本技术中驱动装置的工作示意图；图3是本技术中监测单元的安装示意图；图4是本技术中监测单元的结构示意图；图5是本技术中监测单元的光路导通的状态示意图；图6是本技术中监测单元的光路遮挡的状态示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。第一实施例参照图1～图6，本技术是一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其包括：真空腔体2；转动安装于真空腔体2内的传动辊单元4，所述传动辊单元4具有传动辊41和延伸于真空腔体2外的输入端；传动连接传动辊单元4的输入端的驱动装置1，用于驱动传动辊41转动；监测装置，所述监测装置具有安装于真空腔体2两侧的监测单元3，两个监测单元3之间于真空腔体2内形成一检测路径；对应监测单元3安装于传动辊41上的被监测零件45，所述被监测零件45可随传动辊41同步转动，并在转动过程中可遮挡和避开监测单元3的检测路径。为了形成该检测路径，如图4所示，所述监测单元3包括视窗32、压紧件33和光学传感器34，所述视窗32通过压紧件33固定于真空腔体2上，所述光学传感器34对应视窗32安装于真空腔体2的外侧，并且所述真空腔体2对应视窗32开设有外形尺寸小于视窗32的镂空口，两侧的监测单元3通过光学传感器34于真空腔体2内形成光路。如图1所示，一般的真空设备均于真空腔体2内水平排布有多个传动辊单元4，因此本实施例中的监测装置设置有多组监测单元3，每两个监测单元3形成一组并对应传动辊41上的被监测零件45设置。具体的，相配对的两个监测单元3分别设置于真空腔体2的上下两端。并且为了方便安装以及确保真空腔体2的气密性，优选的，所述视窗32设置于真空腔体2的外侧，且视窗32与真空腔体2的侧壁之间设置有密封圈31。压紧件33设置为一端开口的插入式扣合结构，从而可将密封圈31和视窗32从该开口端插入完成安装。由于两个光学传感器34之间需要形成光路来实现工作，故此视窗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其特征在于包括：真空腔体(2)；转动安装于真空腔体(2)内的传动辊单元(4)，所述传动辊单元(4)具有传动辊(41)和延伸于真空腔体(2)外的输入端；传动连接传动辊单元(4)的输入端的驱动装置(1)，用于驱动传动辊(41)转动；监测装置，所述监测装置具有安装于真空腔体(2)两侧的监测单元(3)，两个监测单元(3)之间于真空腔体(2)内形成一检测路径；对应监测单元(3)安装于传动辊(41)上的被监测零件(45)，所述被监测零件(45)可随传动辊(41)同步转动，并在转动过程中可遮挡和避开监测单元(3)的检测路径。

【技术特征摘要】
1.一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其特征在于包括：真空腔体(2)；转动安装于真空腔体(2)内的传动辊单元(4)，所述传动辊单元(4)具有传动辊(41)和延伸于真空腔体(2)外的输入端；传动连接传动辊单元(4)的输入端的驱动装置(1)，用于驱动传动辊(41)转动；监测装置，所述监测装置具有安装于真空腔体(2)两侧的监测单元(3)，两个监测单元(3)之间于真空腔体(2)内形成一检测路径；对应监测单元(3)安装于传动辊(41)上的被监测零件(45)，所述被监测零件(45)可随传动辊(41)同步转动，并在转动过程中可遮挡和避开监测单元(3)的检测路径。2.如权利要求1所述的一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其特征在于，所述监测单元(3)包括视窗(32)、压紧件(33)和光学传感器(34)，所述视窗(32)通过压紧件(33)固定于真空腔体(2)上，所述光学传感器(34)对应视窗(32)安装于真空腔体(2)的外侧，并且所述真空腔体(2)对应视窗(32)开设有外形尺寸小于视窗(32)的镂空口，两侧的监测单元(3)通过光学传感器(34)于真空腔体(2)内形成光路。3.如权利要求2所述的一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其特征在于，所述视窗(32)设置于真空腔体(2)的外侧，且视窗(32)与真空腔体(2)的侧壁之间设置有密封圈(31)。4.如权利要求1所述的一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，其特征在于，所述被监测零件(45)偏离传动辊(41)的轴心并安装于传动辊(41)相对于输入端的另一端，所述被监测零件(45)可随传动辊(41)的转动做圆周运动，且被监测零件(45)的圆周路径与检测路径相交而实现...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志海，邝斌，周同，陈金良，齐鹏飞，戴春田，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44