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本实用新型公开了一种具有传动辊在线监测功能的真空设备，包括：真空腔体；安装于真空腔体内的传动辊单元，传动辊单元具有传动辊和延伸于真空腔体外的输入端；传动连接传动辊单元输入端的驱动装置；监测装置，监测装置具有安装于真空腔体两侧的监测单元，两个...
该专利属于中山瑞科新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山瑞科新能源有限公司授权不得商用。

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