The present invention relates to a method for fabricating scratch-resistant and antireflective glass substrates by ion implantation. The method includes ionizing the source gas of N2 to form a mixture of single-charge and multi-charge ions of N, accelerating by accelerating voltage including between 20kV and 30kV, and including 5*10.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】减反射、耐划伤玻璃基板及其制造方法本专利技术涉及一种减反射、耐划伤玻璃基板及其制造方法。本专利技术还涉及减反射、耐划伤玻璃基板的用途,特别是作为嵌装玻璃。大部分减反射玻璃基板是通过在玻璃表面沉积涂层获得的。光反射率的减少是通过具有的折射率低于所述玻璃基板的折射率或具有折射率梯度的单层获得的。一些减反射涂层是多个层的堆叠体,所述多个层利用干扰效应以便在整个可见范围内获得光反射率的显著减少。其他涂层呈现了某一孔隙度以便获得低折射率。通常,此种涂层比玻璃本身对机械和/或化学侵蚀更加敏感,并且涂层的性能越高,其敏感性越高。FR1300336中披露了另一种减反射玻璃基板。在此,通过将10原子%的浓度的稀有气体离子注入玻璃基板的表面中直至100nm或200nm的深度来获得减反射效应。然而,稀有气体相对昂贵,并且在玻璃基板中达到如此高浓度的注入稀有气体离子的需要增加了对玻璃网络造成重大损害的风险。稀有气体离子的离子注入在玻璃基板中产生导致反射率降低的微气泡。然而,产生这样的空腔导致机械耐久性(特别是对于划伤)降低。因此,本领域对提供一种制造减反射玻璃基板的简单廉价的方法存在需求,所述玻璃基板具有至少与未经处理的玻璃相当的特别是对于划伤的机械耐久性。根据本专利技术的多个方面之一,本专利技术的主题是提供一种用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法。根据本专利技术的多个方面中的另一方面,本专利技术的主题是提供一种减反射、耐划伤玻璃基板。本专利技术涉及一种用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,所述方法包括以下操作:·提供N2源气体,·电离化所述源气体以便形成N的单电荷离子与多电荷离子 ...
【技术保护点】
1.一种用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,所述方法包括以下操作:a)提供N2源气体,b)电离化所述源气体以便形成N的单电荷离子与多电荷离子的混合物,c)用加速电压加速所述N的单电荷离子与多电荷离子的混合物,以便形成单电荷离子和多电荷离子束,其中所述加速电压包括在20kV与30kV之间并且所述离子剂量包括在5×10
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.12 EP 16164909.01.一种用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,所述方法包括以下操作:a)提供N2源气体,b)电离化所述源气体以便形成N的单电荷离子与多电荷离子的混合物,c)用加速电压加速所述N的单电荷离子与多电荷离子的混合物,以便形成单电荷离子和多电荷离子束,其中所述加速电压包括在20kV与30kV之间并且所述离子剂量包括在5×1016个离子/cm2与1017个离子/cm2之间,d)提供玻璃基板,e)在所述单电荷和多电荷离子束的轨迹中定位所述玻璃基板。2.根据权利要求1所述的用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,其中,所述加速电压包括在22kV与28kV之间,并且所述离子剂量包括在6×1016个离子/cm2与9×1016个离子/cm2之间。3.根据权利要求2所述的用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,其中,所述加速电压包括在22kV与26kV之间,并且所述离子剂量包括在8×1016个离子/cm2与9×1016个离子/cm2之间。4.根据任一项前述权利要求所述的用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,其中,所提供的玻璃基板具有以下以所述玻璃的总重量的重量百分比表示的组成范围:5.根据权利要求4所述的用于生产减反射、耐划伤玻璃基板的方法,其中,所述玻璃基板是选自钠钙玻璃片、硼硅酸盐玻璃片或铝硅酸盐玻璃片。6.N的单电荷和多电荷离子的混合物用于降低玻璃基板的反射率并且同时维持或增加所述玻璃基板的耐划伤性的用途,N的单电荷和多电荷离子的混合物以有效地降低玻璃基板的反射率并且同时获得包括在未经处理的玻璃基板的就临界载荷而言的耐划伤性的100%与135%之间的就临界载荷而言的耐划伤性的剂量和加速电压被注入玻璃基板中。7.根据权利要求6所述的N的单电荷和多电荷离子的混合物用于降低玻璃基板的反射率并且同时维持或增加所述玻璃基板的耐划伤性的用途,其中,所述单电荷和多电荷离子的混合物以有效地将所述玻璃基板的反射率减少到至多6.5%的剂量和加速电压被注入所述玻璃基板中。8.根据权利要求7所述的N的单电荷和多电荷离子的混合物用于降低玻璃基板的反...
【专利技术属性】
技术研发人员:B·纳维特,P·鲍兰格,D·巴萨多,
申请(专利权)人:旭硝子欧洲玻璃公司,旭硝子玻璃北美公司,AGC株式会社,奎尔技术工程公司,
类型:发明
国别省市:比利时,BE
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