冷阱及真空抽气系统技术方案

技术编号:20888841 阅读:20 留言:0更新日期:2019-04-17 13:53
本实用新型专利技术涉及一种冷阱和真空抽气系统。冷阱包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。本实用新型专利技术提供的冷阱和真空抽气系统,兼顾了阻挡泵油分子扩散的功能和从冷阱靠近真空室的一侧至泵内一侧排气顺畅的功能。

【技术实现步骤摘要】
冷阱及真空抽气系统
本技术涉及制冷设备领域,特别涉及一种冷阱及真空抽气系统。
技术介绍
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵,从排气口进入泵内的气体分子被油蒸汽射流带动,泵油分子碰上冷却的泵壁凝结为液体流回至蒸发器,而气体分子则被带动至抽气口由机械泵抽走。但是,在油扩散泵使用过程中,会有很大一部泵油分子通过排气口扩散至真空室内,从而造成真空室被污染,因此,通常会在排气口处冷阱来阻挡泵油分子扩散至真空室内。现有冷阱种类繁多,但都无法兼顾阻挡油泵分子扩散的功能和从冷阱靠近真空室的一侧至泵内一侧的排气顺畅的功能。
技术实现思路
基于此,有必要针对现有冷阱无法兼顾阻挡油泵分子扩散和排气顺畅功能的问题,提供一种能阻挡油泵分子扩散和排气顺畅的冷阱及真空抽气系统。一种冷阱,包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。这样,在油扩散泵使用过程中,由于迎风侧具有凸面形状的迎风面,气体分子经迎风面不受阻挡,且气体分子顺着迎风面向油扩散泵泵内排气,即迎风面起到了导向作用,故使油扩散泵排气顺畅,另外,阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面,泵油分子向真空室内扩散时会被阻挡,使得泵油分子不易通过冷媒管而进入真空室。因此,本技术的冷阱,兼顾了阻挡泵油分子扩散的功能和从冷阱靠近真空室的一侧至泵内一侧排气顺畅的功能。在其中一个实施例中,所述迎风面为光滑的曲面。在其中一个实施例中,所述迎风面为圆弧面。在其中一个实施例中,所述迎风面为半圆弧面或优弧面。在其中一个实施例中,当冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状的所述阻油面时,所述阻油面为光滑的曲面。在其中一个实施例中,所述阻油面为圆弧面,所述阻油面的弧长小于半个圆弧。在其中一个实施例中,所述冷媒管还包括连接面,所述连接面连接于所述迎风面和所述阻油面之间,所述迎风面、所述阻油面及所述连接面围设形成所述冷媒管的外廓面。在其中一个实施例中,所述迎风面与所述阻油面相连,以围设形成所述冷媒管的外廓面。在其中一个实施例中,所述冷阱包括多组所述冷媒管组,多组所述冷媒管组沿预设方向间隔设置。在其中一个实施例中,相邻的两组所述冷媒管组中的所述冷媒管交错布置。在其中一个实施例中,每一所述冷媒管组的任一所述冷媒管沿预设方向的投影,覆盖于相邻的所述冷媒管组中对应的两个所述冷媒管之间的间隙。一种真空抽气系统,包括真空室、机械泵、油扩散泵及冷阱,所述真空室与所述油扩散泵连通,所述真空室与所述机械泵连通;所述冷阱包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一靠近所述真空室的迎风侧及与所述迎风侧背对且靠近所述油扩散泵的泵内的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。附图说明图1为本技术一实施例的冷阱剖视示意图;图2为本技术另一实施例的冷阱剖视示意图;图3为本技术一实施例的冷阱位置布置示意图;图4为本技术一实施例的冷阱中冷媒管进出水路布置示意图;图5为本技术另一实施例的冷阱中冷媒管进出水路布置示意图;图6为本技术又一实施例的冷阱剖视示意图;图7为本技术再一实施例的冷阱剖视示意图。其中:100-冷阱;200-真空室;10-冷媒管组;20-分水管;30-集水管;40-进水管;50-出水管;11-冷媒管;111-迎风面;112-阻油面;A-第一方向;B-第二方向。具体实施方式为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是,本技术可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施方式。相反地,提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“内”、“外”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。如图1所示,本技术一实施例提供的冷阱100,包括一组冷媒管组10,每该冷媒管组10包括多个并排且间隔布设的冷媒管11。在一些实施例中,冷阱100设置在来自真空室的气体分子进入油扩散泵泵内的通道上。在具体一些实施例中,冷阱100设置于油扩散泵的排气口处。如图2~图4所示,在一些实施例中,冷阱100还包括与冷媒管组10的各冷媒管11的进水端连通的分水管20、与冷媒管组10的各冷媒管11的出水端连通的集水管30、与分水管20连通的进水管40及与集水管30连通的出水管50,冷却介质通过进水管40进入分水管20后,将冷却介质分散至各冷媒管11中,再汇聚至集水管30送出至出水管50。其中,冷却介质可为水、有机溶液或压缩气体等。在一些实施例中,进水管40的一端和出水管50的一端均固定于真空室200的侧壁上。请再次参阅图1和图2,每一冷媒管11具有一迎风侧及与迎风侧背对的阻油侧,冷媒管11的迎风侧形成具有凸面形状的迎风面111,冷媒管11的阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面112。应当理解的是,迎风侧为靠近真空室的一侧,阻油侧为靠近油扩散泵的泵内的一侧。应当理解的是,迎风面111具有凸面形状并不可仅仅理解为其为光滑的凸面,亦可理解为具有一定粗糙度或起伏度且整体上具有向外凸的表面,或者理解为由多个面组合而成的且整体上具有向外凸的表面,例如,锥面等。还应当理解的是,当阻油面112为平面时,该平面可以有一定的起伏度或粗糙度,例如该平面上可以有多个凹坑或凸起,但该平面整体上平整;当阻油面112具有凹面形状时,并不可仅仅理解为其为光滑的凹面,亦可理解为具有一定粗糙度或起伏度且整体上具有向内凹的表面,或者理解为由多个面组合而成的且整体上具有向内凹的表面,例如,倒锥面等。这样,在油扩散泵使用过程中,由于迎风侧具有凸面形状的迎风面111,气体分子经迎风面111不受阻挡,且气体分子顺着迎风面111向油扩散泵泵内排气,即迎风面111起到了导向作用,故使油扩散泵排气顺畅,另外,阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面112,泵油分子向真空室内扩散时会被阻挡,使得泵油分子不易通过冷媒管11而进入真空室。因此,本技术的冷阱100,兼顾了阻挡泵油分子扩散的功能和从冷阱靠近真空室的一侧至扩散泵泵内一侧排气顺畅的功能。在一些实施例中,冷媒管组10的各冷媒管11沿第一方向A设置,冷媒管11的迎风侧沿第二方向B位于冷媒管11的阻油侧的上游,第二方向B为排气方向,第一方向A与第二方向B相交。在一些实施方式中,第一方向A与第二方向B垂直。这样,在不影响冷媒管11作用的同时,可减少冷媒管11沿第一方向A布置的数量,有利于节约成本。请参阅图1,在一些实施例中,当阻油面112为平面时,阻油面112的延伸方向与第一方向A平行。这样,阻油面112与泵油分子扩散的方向垂直,可充分利用阻油面112进行阻油,使阻油效果更本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷阱,其特征在于,包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。

【技术特征摘要】
1.一种冷阱,其特征在于,包括至少一组冷媒管组,每一所述冷媒管组包括多个并排且间隔布设的冷媒管;每一所述冷媒管具有一迎风侧及与所述迎风侧背对的阻油侧;所述冷媒管的所述迎风侧形成具有凸面形状的迎风面,所述冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状或平面的阻油面。2.根据权利要求1所述的冷阱,其特征在于,所述迎风面为光滑的曲面。3.根据权利要求2所述的冷阱,其特征在于,所述迎风面为圆弧面。4.根据权利要求3所述的冷阱,其特征在于,所述迎风面为半圆弧面或优弧面。5.根据权利要求1~4任一项所述的冷阱,其特征在于,当冷媒管的所述阻油侧形成具有凹面形状的所述阻油面时,所述阻油面为光滑的曲面。6.根据权利要求5所述的冷阱,其特征在于,所述阻油面为圆弧面,所述阻油面的弧长小于半个圆弧。7.根据权利要求1所述的冷阱,其特征在于,所述冷媒管还包括连接面,所述连接面连接于所述迎风面和所述阻油面之间,所述迎风面、所述阻油面及所述连接面围设形成所述冷媒管的外廓面。8.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:李凯陈立国
申请(专利权)人:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:北京,11

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