流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置
本专利技术涉及流体设备集成化了的流体控制装置和利用该流体控制装置进行的半导体装置等的制造方法。
技术介绍
例如，作为为了向半导体制造装置等的腔室供给各种工艺气体而使用的流体控制装置，公知有在下述引用文献1、2等中公开的装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-206700号公报专利文献2：日本特开2015-175502号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在上述那样的流体控制装置的领域中，工艺气体的供给控制要求较高的响应性，因此，需要使流体控制装置尽可能小型化、集成化，并设置在距流体的供给目标即腔室更近的位置。此外，半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化有所发展，与此相应地，也需要增加从流体控制装置向腔室内供给的流体的供给流量。此外，若使流体控制装置小型化、集成化，则组装作业变得困难，组装工时增多。此外，装置的维护性也下降。本专利技术的一个目的在于提供在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化的流体控制装置。本专利技术的另一目的在于提供能够大幅度削减组装工时、还能够改善维护性能的流体控制装置。用于解决问题的方案本专利技术的流体控制装置具有：上游侧接头块体和下游侧接头块体，它们各自具有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并划定出流体流路，并且，划定有该流体流路的在所述上表面开口的流路口，在所述底面侧分别具有卡合部；支承构件，其具有引导部，该引导部沿长度方向以直线状延伸，并且上游侧接头块体和下游侧接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及流体设备，其借助所述上游侧接头构件和下游侧接头构件支承于所述支承构件，该流体控制装置的特征在于，所述引导部容许所述上游侧接头块体和下游侧接头块体沿引导方向移动，并且将该上游侧接头块体和下游侧接头块体约束在所述支承构件上，所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面开口的两个流路口，从所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的上表面朝向底面侧地形成有供紧固螺栓螺纹结合的螺纹孔，该紧固螺栓用于对在互相对接的所述上游侧接头块体的流路口、下游侧接头块体的流路口与所述基块的两个流路口的周围配置的密封构件施压，并且将所述主体连结于所述上游侧接头块体以及下游侧接头块体，所述上游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该上游侧接头块体的流路口靠上游侧的位置，所述下游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该下游侧接头块体的流路口靠下游侧的位置，在所述引导部与所述卡合部之间具有排列机构，该排列机构利用克服在互相连结的所述上游侧接头块体、下游侧接头块体和所述主体上因所述紧固螺栓的紧固力而产生的弯曲力的反作用力的一部分进行作用，以使所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的在与所述引导部的长度方向正交的横向上的位置排列于所述引导部的中央位置。专利技术的效果根据本专利技术，通过使接头块体的卡合部卡合于支承构件的引导部而约束在支承构件上，从而不需要接头块体与支承构件之间的使用螺栓进行的连结作业，能够大幅度削减组装工时。根据本专利技术，上游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比其流路口靠上游侧的位置，下游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比其流路口靠下游侧的位置。优选的是，利用单一的紧固螺栓将各接头块体和流体设备的基块连结起来。即，将紧固螺栓相对于各密封构件仅设于一侧，因此，能够大幅度地减少紧固螺栓的数量和占有面积。根据本专利技术，仅通过将紧固螺栓紧固，就能够利用排列机构的作用来自动地进行上游侧接头块体和下游侧接头块体的对位，从而使它们排列于引导部的中央位置，因此，流体控制装置的组装作业变得非常容易。根据本专利技术，在流体设备、接头块体发生了故障的情况下，仅更换发生了故障的流体设备、接头块体即可，因此维护性得到大幅度改善。根据本专利技术，能够整体上使流体控制装置大幅度地小型化、集成化，因此，能够使流体控制装置尽可能地靠近处理腔室的附近，其结果是，能够提高流体控制的响应性。附图说明图1A是本专利技术的一实施方式的流体控制装置的外观立体图。图1B是图1A的流体控制装置的俯视图。图1C是图1A的流体控制装置的后视图。图2A是提取出图1A的流体控制装置的一部分所得到的组装体的外观立体图。图2B是图2A的组装体的侧视图。图2C是沿图2B的IIC-IIC线剖切得到的局部剖视图。图3A是导轨构件的外观立体图。图3B是图3A的导轨构件的俯视图。图3C是图3A的导轨构件的主视图。图3D是图3A的导轨构件的侧视图。图4A是接头块体的外观立体图。图4B是图4A的接头块体的俯视图。图4C是沿图4B的虚拟中央平面CP2剖切得到的剖视图。图4D是图4B的接头块体的左视图。图4E是图4B的接头块体的右视图。图5A是开闭阀的立体图。图5B是图5A的开闭阀的主体的仰视图。图5C是图5A的开闭阀的主体的局部剖视图。图6A是垫片的外观立体图。图6B是垫片的俯视图。图6C是垫片的剖视图。图7A是紧固螺栓的立体图。图7B是表示紧固螺栓的头部的俯视图。图8A是不使用导轨构件地配置在基准面上的紧固前的状态的组装体的示意图。图8B是表示利用紧固螺栓将图8A的组装体紧固了的状态的示意图。图8C是表示使用导轨构件并利用紧固螺栓将组装体紧固了的状态的示意图。图9A是表示在紧固螺栓的紧固之前会发生的接头块体的错位的一例的示意图。图9B是表示在紧固螺栓的紧固之前会发生的接头块体的错位的另一例子的示意图。图10是用于说明由紧固螺栓的紧固引起的排列机构的动作的示意图。图11A是表示卡合部和引导部的变形的一例的示意图。图11B是表示卡合部和引导部的变形的另一例子的示意图。图11C是表示卡合部和引导部的变形的又一其他例子的示意图。图12A是表示卡合部和引导部的变形的又一其他例子的示意图。图12B是表示卡合部和引导部的变形的又一其他例子的示意图。具体实施方式以下参照附图来说明本专利技术的实施方式。参照图1A～图10来详细说明本专利技术的一实施方式的流体控制装置。如图1A～图1C所示，在流体控制装置1中，在金属制的基板10上设有沿宽度方向W、W2排列并沿长度方向G1、G2延伸的5根导轨构件50。另外，W1表示正面侧的方向，W2表示背面侧的方向，G1表示上游侧的方向，G2表示下游侧的方向。仅在5根导轨构件50中的处于两端部和中央部的导轨构件50上设置有各种构件，在第2根和第4根导轨构件50上没有设置任何构件而是成为空置状态，但能够在该两根导轨构件50上追加设置各种构件，在不需要该两根导轨构件50的情况下，也能够将它们从基板10拆下而使处于两端部和中央部的这3根导轨构件50相邻地排列。在本专利技术中，附设于基板10的导轨构件50并不限定为多根，也可以是1根，但根数越多本专利技术的效果就越显著。如图1A所示，在配置于正面侧和中央部的两根导轨构件50上借助多个接头块体20、30设置有各种流体设备110A～110E，分别利用多个接头块体20、30形成有供流体从上游侧向下游侧流通的流路。在背面侧的导轨构件50上借助多个接头块体20、30设置有连通管330和除了流体设备110E之外的流体设备110A～110D，并形成有供流体从上游侧向下游侧流通的流路。在此，本专利技术的“流体设备”是指在控制流体的流动的流体控制装置中使用的设备，是具有能够划定流体流路的主体、并具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其具有：上游侧接头块体和下游侧接头块体，它们各自具有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并划定出流体流路，并且，划定有该流体流路的在所述上表面开口的流路口，在所述底面侧分别具有卡合部；支承构件，其具有引导部，该引导部沿长度方向以直线状延伸，并且上游侧接头块体和下游侧接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及流体设备，其借助所述上游侧接头构件和下游侧接头构件支承于所述支承构件，该流体控制装置的特征在于，所述引导部容许所述上游侧接头块体和下游侧接头块体沿引导方向移动，并且将该上游侧接头块体和下游侧接头块体约束在所述支承构件上，所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面开口的两个流路口，从所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的上表面朝向底面侧地形成有供紧固螺栓螺纹结合的螺纹孔，该紧固螺栓用于对在互相对接的所述上游侧接头块体的流路口、下游侧接头块体的流路口与所述基块的两个流路口的周围配置的密封构件施压，并且将所述主体连结于所述上游侧接头块体以及下游侧接头块体，所述上游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该上游侧接头块体的流路口靠上游侧的位置，所述下游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该下游侧接头块体的流路口靠下游侧的位置，在所述引导部与所述卡合部之间具有排列机构，该排列机构利用克服在互相连结的所述上游侧接头块体、下游侧接头块体和所述主体上因所述紧固螺栓的紧固力而产生的弯曲力的反作用力的一部分进行作用，以使所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的在与所述引导部的长度方向正交的横向上的位置排列于所述引导部的中央位置。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.21 JP 2016-1229791.一种流体控制装置，其具有：上游侧接头块体和下游侧接头块体，它们各自具有互相相对的上表面和底面、以及从所述上表面向所述底面侧延伸的侧面，并划定出流体流路，并且，划定有该流体流路的在所述上表面开口的流路口，在所述底面侧分别具有卡合部；支承构件，其具有引导部，该引导部沿长度方向以直线状延伸，并且上游侧接头块体和下游侧接头块体的卡合部能够卡合于该引导部；以及流体设备，其借助所述上游侧接头构件和下游侧接头构件支承于所述支承构件，该流体控制装置的特征在于，所述引导部容许所述上游侧接头块体和下游侧接头块体沿引导方向移动，并且将该上游侧接头块体和下游侧接头块体约束在所述支承构件上，所述流体设备具有划定出流体流路的主体，该主体具有在其底面开口的两个流路口，从所述上游侧接头块体和下游侧接头块体的上表面朝向底面侧地形成有供紧固螺栓螺纹结合的螺纹孔，该紧固螺栓用于对在互相对接的所述上游侧接头块体的流路口、下游侧接头块体的流路口与所述基块的两个流路口的周围配置的密封构件施压，并且将所述主体连结于所述上游侧接头块体以及下游侧接头块体，所述上游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比该上游侧接头块体的流路口靠上游侧的位置，所述下游侧接头块体的螺纹孔仅形成于在长度方向上比...

【专利技术属性】
技术研发人员：相川献治，篠原努，中川一，松田隆博，原田章弘，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP