一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，属于化学气相沉积技术领域，包括：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空，利用冷却控制器控制真空沉积室区域温度，将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，打开升华杯加热开关，设定加热温度，保持恒温，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，关闭放料阀和加热电源，打开真空沉积室取出加工件，将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。本发明专利技术通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，又不破坏镀膜的保护性，通过用紫外线灯照射来检测，可以对加工产品的效果有了直观的观察。

【技术实现步骤摘要】
一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置
本专利技术涉及一种镀膜工艺检测工艺及装置，特别是涉及一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，属于化学气相沉积

技术介绍
化学气相沉积法是传统的制备薄膜的技术，广泛应用于半导体工业中多种材料的沉积，包括大范围的绝缘材料、大多数金属材料和金属合金材料，其原理是利用气态的先驱反应物，通过原子、分子间化学反应，使得气态前驱体中的某些成分分解或者相互之间反应，而在基体上沉积形成薄膜。现有的派瑞林镀膜工艺为派瑞林材料在蒸发室加热气化后，在真空压差的作用下经过裂解室向镀膜室运动，并在裂解室内发生裂解反应，裂解后气体经过管道进入镀膜室后发生聚合反应形成防水、防腐膜层，但现有技术加工的镀膜材料无法用肉眼确认镀膜的包盖类型，为了保证客户在第一时间内对镀膜加工后的产品可靠性、直观的检测加工后的效果，又不破坏镀膜的保护性，而专利技术此项工艺技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是为了提供一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，能够解决现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，通过在真空沉积室上设有升华杯，将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯可以清楚而直观的进行检测。本实专利技术的目的可以通过采用如下技术方案达到：一种便于检测派瑞林镀膜的加工装置及其工艺，包括如下步骤：步骤1：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定；步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；步骤5：镀膜完成后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在310-440℃之间；步骤6：到达设定温度后保持恒温10-30min，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的荧光增白剂粉料被吸入真空沉积室；步骤7：完成后，关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；步骤8：将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。进一步的，所述荧光增白剂粉料的熔点范围在360-390℃之间，所述荧光增白剂粉料具有升华作用的荧光材料及温度变色材料。进一步的，所述派瑞林材料包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N、派瑞林F及派瑞林HT中的一种。一种便于检测派瑞林镀膜的加工装置，包括：蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统、冷却控制器以及管道，所述蒸发室、裂解室、真空沉积室及真空系统依次通过管道连通，所述真空沉积室上部设置有升华杯，所述升华杯设置有料仓杯、加热环和升华室，所述加热环设置在所述升华室上，所述升华室设置在所述料仓杯上，所述加热环上设有温度传感器，所述料仓杯的下端设有密封环，所述密封环的一侧设有加热片，所述加热片的底部设有下加热传感器，所述升华室上连接有连接环，所述连接环上连接有两个前加热环，两个所述前加热环上分别设有上加热传感器和中加热传感器，在其中一个所述前加热环的一端设有上连接环，所述料仓杯中可加入荧光增白剂粉料，通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯照射后检测。优选的，所述料仓杯为存储原料的容器；所述加热片用于保证原料蒸发后不会下降冷却，所述上连接环为连接所述真空沉积室的接口。优选的，所述加热环为粉体加热装置，用于能使粉体蒸发，两个所述前加热环用于确保原料在蒸发过程中不在管道内凝固。优选的，所述升华杯通过所述连接环和真空沉积室连接。优选的，所述升华杯为不锈钢升华杯，所述升华杯可加热到310-500℃之间。优选的，所述密封环可以将远离所述真空沉积室一端的所述升华杯密封。优选的，所述加热环可固定在所述升华杯上起到加热的作用。本专利技术的有益技术效果：按照专利技术提供的一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，通过在真空沉积室上设有升华杯，将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯可以清楚而直观的进行检测，该工艺简单、实用、成本底，实用性强，可取代进口原材料。附图说明图1为按照本专利技术的一种便于检测派瑞林镀膜的加工装置的一优选实施例的整体结构示意图。图2为按照本专利技术的一种便于检测派瑞林镀膜的加工装置的一优选实施例升华杯的结构示意图。图中：1-蒸发室、2-裂解室、3-真空沉积室、4-升华杯、5-真空冷却系统、6-冷却控制器、7-管道、41-密封环、42-料仓杯、43-加热环、43-1-前加热环、44-温度传感器、45-连接环、45-1-上连接环、46-加热传感器、46-1-上加热传感器、46-2-中加热传感器、46-3-下加热传感器、47-加热片、48-升华室。具体实施方式为使本领域技术人员更加清楚和明确本专利技术的技术方案，下面结合实施例及附图对本专利技术作进一步详细的描述，但本专利技术的实施方式不限于此。本实施例提供的一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺，包括如下步骤：步骤1：将荧光增白剂粉料或具有升华作用的荧光材料及温度变色材料装入升华杯4中，将密封环41密封，将加热环43固定在升华杯4上，将升华杯4通过连接环45和真空沉积室3连接，并固定，将真空沉积室3和45连接环连接上；步骤2：将真空沉积室3密封并通过真空系统5抽至真空；步骤3：利用冷却控制器6将真空沉积室3区域温度控制在20～80℃之间；步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室1加热气化并经裂解室2裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室3；步骤5：镀膜完成后，打开升华杯4加热开关，并设定加热温度为430℃；步骤6：打开前加热环43-1开关，并设定加热温度为220℃；步骤7：打开加热片47开关，并设定加热温度为240℃；步骤8：到达430℃后保持恒温30min，使荧光增白剂粉料或具有升华作用的荧光材料及温度变色材料在升华杯内4深度蒸发，达到设定时间后，在真空作用下，升华后的荧光增白剂粉料或具有升华作用的荧光材料及温度变色材料被吸入真空沉积室3，充分沉积在加工件上，时间约为15mim；步骤9：完成后，关闭加热电源，静置30min后，待温度降至室温后，打开真空沉积室3取出加工件；步骤10：将加工件放置在检测台上，用紫外线灯等进行照射检测。如图1和图2所示，在本实施例中，本实施例提供的便于检测派瑞林镀膜的加工装置，包括：蒸发室1、裂解室2、真空沉积室3、真空系统5、冷却控制器6以及管道7，蒸发室1、裂解室2、真空沉积室3及真空系统5依次通过管道7连通，真空沉积室3上部设置有升华杯4，升华杯4设置有料仓杯42、加热环43和升华室48，加热环43设置在升华室48上，升华室48设置在料仓杯42上，加热环43上设有温度传感器44，料仓杯42的下端设有密封环41，密封环41的一侧设有加热片47，加热片47的底部设有下加热传感器46-3，升华室48上连接有连接环45，连接环45上连接有两个前加热环43-1，两个前加热环43-1上分别设有上加热传感器46-1和中加热传感器46-2，在其中一个前加热环43-1的一端设有上连接环45-1，料仓杯41中可加入荧光增白剂粉料，通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯照射后检测，便于观察。在本实施例中，如图1和图2所示，料仓杯42为存储原料的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到冷却控制器上；步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；步骤5：镀膜完成后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在310‑440℃之间；步骤6：到达设定温度后保持恒温10‑30min，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的荧光增白剂粉料被吸入真空沉积室；步骤7：完成后，关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；步骤8：将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。

【技术特征摘要】
1.一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到冷却控制器上；步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；步骤5：镀膜完成后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在310-440℃之间；步骤6：到达设定温度后保持恒温10-30min，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的荧光增白剂粉料被吸入真空沉积室；步骤7：完成后，关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；步骤8：将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。2.如权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺，其特征在于，所述荧光增白剂粉料的熔点范围在360-390℃之间，所述荧光增白剂粉料具有升华作用的荧光材料及温度变色材料。3.如权利要求1所述的一种便于检测的派瑞林镀膜工艺的检测工艺，其特征在于，所述派瑞林材料包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N、派瑞林F及派瑞林HT中的一种。4.一种如权利要求1-3任意一项所述的便于检测派瑞林镀膜工艺的加工装置，其特征在于，包括：蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)、真空系统(5)、冷却控制器(6)以及管道(7)，所述蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)及真空系统(5)依次通过管道(7)连通，所述真空沉积室(3)上部设置有升华杯(4)，所述升华杯(4)设置有料仓杯(42)、加热环(43)和升华室(48)，所述加热环(43)设置在所述升华室(48)上，所述升华室...

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫兴，张振兴，
申请(专利权)人：江苏可润光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32