闸阀门的安装构造制造技术

一种闸阀门的安装构造，其在将多个闸阀门安装在两个腔之间时可确保更优异的气密性。该闸阀门的安装构造由在固定用空间的中央被固定于腔中的支承部件(33)和被配置在其两侧的一对杆部件(37)构成阀门固定机构(32)，该阀门固定机构(32)在形成于邻接的闸阀门(10)的阀箱(11)之间的固定用空间(24)中将阀箱的各突壁(25、26)固定于腔(5)中，一对杆部件分别从固定用空间的中央朝向两端的开口依次具有支点部(37a)、作用点部(37b)及力点部(37c)，在将支点部支承于支承部件的状态下，力点部由固定用操作螺栓(40)加力，由此，在作用点部和力点部双方中将阀箱的突壁朝向腔推压。

【技术实现步骤摘要】
闸阀门的安装构造
本专利技术涉及在半导体制造装置等中，例如用于将用于使工艺腔和输送腔之间等两个腔之间选择性地连通或气密地隔断的闸阀门固定地安装在两腔之间的安装构造。
技术介绍
例如，在半导体制造装置的基板处理装置中，如在专利文献1及专利文献2中公开的那样，通过在相互邻接的工艺腔和输送腔之间装配闸阀门，能够使这些腔之间选择性地连通或隔断。此时，上述闸阀门是将板状阀门收容于在相互相向的侧壁上分别具有闸开口的空心的阀箱内而成的闸阀门，使该阀门在阀箱内在沿着上述侧壁的方向及与该侧壁接触、分离的方向移动，对上述闸开口进行开闭，由此，能够使这些闸开口之间连通或隔断。另一方面，上述两个腔分别具有用于由机械臂等将工件放入该腔内或从该腔内取出的腔开口，上述闸阀门相对于上述两个腔，在使上述闸开口与腔开口连接的状态下，由螺栓等固定部件分别气密地固定。但是，在这样夹着闸阀门连结两个腔时，存在使多个闸阀门相互邻接地安装在这些腔之间的情况。然而，最近，有进行腔的小型化的要求，在该情况下，若如上述的那样欲将多个闸阀门并列地固定在两个小型化的腔之间，则邻接的闸阀门的阀箱之间的间隙变得非常狭窄。因此，在将闸阀门相对于一方的腔固定后，欲将其也相对于另一方腔固定，将配置在邻接的阀箱之间的间隙中的特别是中央部分上的固定部件紧固是极其困难的。这是因为，工具难以到达，而且能够操作工具的区域也被限制为狭窄的范围内，其结果，存在在上述闸阀门和上述另一方腔之间不能充分确保气密性的危险。[先行技术文献][专利文献]专利文献1：日本特开2012-197476号公报专利文献2：日本特开2013-128117号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题因此，本专利技术的技术课题在于，提供一种在将多个闸阀门固定地安装在两个腔之间时，可确保更优异的气密性的该闸阀门的安装构造。为了解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术是一种闸阀门的安装构造，该闸阀门的安装构造是用于使多个闸阀门相互邻接地固定地安装在分别开设了多个腔开口的第一腔及第二腔之间的构造，其特征在于，上述闸阀门具有空心的阀箱、阀芯和阀驱动部，该空心的阀箱具备一对闸开口，该阀芯通过在该阀箱内动作对上述一对闸开口之间的连通进行开闭，该阀驱动部使该阀芯动作，上述阀箱具有开设上述闸开口且相互背向的一对侧壁面和将这些侧壁面的两侧端彼此互相连结且相互背向的一对侧端面，在将上述一对闸开口分别与上述第一及第二腔的腔开口连接而将上述一对侧壁面分别相对于上述第一及第二腔气密地压接的状态下，相对于该第一及第二腔双方固定，在相互邻接的闸阀门的阀箱中的相互相向的上述侧端面之间形成了固定用空间，该固定用空间具有沿着上述侧壁面的侧端的轴，该轴方向的第一端及第二端开口，从这些相向的侧端面朝向上述固定用空间分别直立设置了沿上述轴延伸的一对突壁，在该固定用空间内收容了用于将上述闸阀门相对于第二腔固定的阀门固定机构，上述阀门固定机构由支承部件、一对杆部件和一对固定操作用部件构成，该支承部件在上述固定用空间的轴方向中央部被固定在上述第二腔中，该一对杆部件具备被压接于该支承部件中的朝向上述第二腔侧的支承部的支点部、与上述一对突壁抵接并使推压力朝向上述第二腔侧作用的作用点部及朝向上述第二腔侧被加力的力点部，该一对固定操作用部件在上述力点部向各杆部件加力并且朝向第二腔侧推压上述一对突壁，上述一对杆部件在夹着上述支承部件的上述轴方向的两侧将上述力点部与上述作用点部相比分别配置在上述第一端及第二端的开口侧。在上述闸阀门的安装构造中，优选上述支承部件由从上述第二腔直立设置的支柱部和从该支柱部朝向上述第一端及第二端的开口侧延伸的一对凸缘部构成，在这些凸缘部中的朝向上述第二腔侧的面上分别形成了上述支承部。另外，更优选上述杆部件中的朝向上述第二腔侧的面被形成为使该杆部件的厚度沿着轴从上述支点部侧的端部到上述作用点部逐渐扩大的倾斜面，上述支点部中的杆部件的厚度形成得比上述支承部件的支承部和上述一对突壁中的该作用点部抵接的被推压面之间的垂直距离小。而且，进而优选上述一对突壁的被推压面分别由沿着轴的平坦面构成，上述杆部件具有沿着轴从该作用点部延伸到上述力点部侧的端部的平坦的推压面，该推压面与上述被推压面抵接，朝向第二腔侧推压上述一对突壁。在这里，也可以上述支承部件的支承部被形成为与上述一对突壁的被推压面平行的平坦面，上述杆部件的支点部被形成为与上述推压面平行的平坦面。进而，在上述闸阀门的安装构造中，优选上述固定用操作部件是固定操作用螺栓，上述固定操作用螺栓被穿插到开设于上述杆部件的力点部的贯通孔中，与形成于上述第二腔的螺纹孔进行螺纹结合，由此，将力点部朝向第二腔侧加力，并且上述杆部件由上述作用点部和力点部与上述一对突壁抵接，朝向第二腔侧推压该突壁。此时，更优选上述固定用操作螺栓由形成了外螺纹的螺纹主体部和与该螺纹主体部结合且具有比该螺纹主体部大的外径的螺纹头部构成，上述杆部件的贯通孔被形成为在轴方向延伸的长孔，具有比上述螺纹头部的外径小的宽度，上述杆部件的力点部由上述螺纹头部朝向第二腔侧加力。另外，更优选上述一对突壁分别具有由沿着轴的平坦面构成并使上述作用点部抵接的被推压面，上述杆部件具有沿着轴从该作用点部延伸到上述力点部侧的端部的平坦的推压面，该推压面与上述被推压面抵接，朝向第二腔侧推压上述一对突壁。在这里，也可以是上述支承部件的支承部被形成为与上述一对突壁的被推压面平行的平坦面，上述杆部件的支点部被形成为与上述推压面平行的平坦面。专利技术的效果如上所述，根据本专利技术，在将多个闸阀门并列地固定地安装在两个腔之间时，在形成在邻接的阀箱之间的固定用空间中设置阀门固定机构，该阀门固定机构由支承部件、一对杆部件和一对固定操作用部件构成，该支承部件被配置在上述固定用空间的轴方向中央部，该一对杆部件具有支点部、作用点部及力点部，使上述支承部件支承该支点部，与作用点部相比将力点部配置安装在上述固定用空间的轴方向两端部侧，该一对固定操作用部件在上述力点部向各杆部件加力并且将各阀箱的突壁朝向第二腔侧推压。因此，在被配置在上述轴方向两端部侧的力点部，由固定操作用部件朝向第二腔侧推压上述各突壁，另外，在轴方向中间部，也由杠杆的原理，杆部件的作用点部与上述一对突壁抵接，使推压力朝向第二腔侧作用。因此，不仅在固定用空间的轴方向两端部，在中间部也能够在使阀箱的侧壁面相对于第二腔气密地压接的状态下将多个闸阀门相对于第二腔固定。其结果，可将两个腔和相互邻接地被配置在这些腔之间的多个闸阀门在确保了更优异的气密性的状态下连结。附图说明图1是表示有关本专利技术的闸阀门的安装构造的一个实施方式的概略的主要部分侧剖视图。图2是图1中的A-A剖视图。图3是图2中的仰视图。图4是省略了在图1中用于将闸阀门相对于第二腔固定的各种部件的概略的B-B剖视图。图5是图4中的C-C剖视图。图6(a)是图2中的W部的放大图，(b)是图3中的X部的放大图。图7(a)是图2中的Y部的放大图，(b)是图3中的Z部的放大图。图8是本专利技术中的闸阀门的概略的局部剖主视图。图9是本专利技术中的闸阀门的概略的局部剖后视图。图10(a)及(b)是支承部件的立体图。图11(a)及(b)是杆部件的立体图。图12是示意性地表示由阀门固定机构将闸阀门向第二腔固定的原本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种闸阀门的安装构造，该闸阀门的安装构造是用于使多个闸阀门相互邻接地固定地安装在分别开设了多个腔开口的第一腔及第二腔之间的构造，其特征在于，上述闸阀门具有空心的阀箱、阀芯和阀驱动部，该空心的阀箱具备一对闸开口，该阀芯通过在该阀箱内动作对上述一对闸开口之间的连通进行开闭，该阀驱动部使该阀芯动作，上述阀箱具有开设上述闸开口且相互背向的一对侧壁面和将这些侧壁面的两侧端彼此互相连结且相互背向的一对侧端面，在将上述一对闸开口分别与上述第一及第二腔的腔开口连接而将上述一对侧壁面分别相对于上述第一及第二腔气密地压接的状态下，相对于该第一及第二腔双方固定，在相互邻接的闸阀门的阀箱中的相互相向的上述侧端面之间形成了固定用空间，该固定用空间具有沿着上述侧壁面的侧端的轴，该轴方向的第一端及第二端开口，从这些相向的侧端面朝向上述固定用空间分别直立设置了沿上述轴延伸的一对突壁，在该固定用空间内收容了用于将上述闸阀门相对于第二腔固定的阀门固定机构，上述阀门固定机构由支承部件、一对杆部件和一对固定操作用部件构成，该支承部件在上述固定用空间的轴方向中央部被固定在上述第二腔中，该一对杆部件具备被压接于该支承部件中的朝向上述第二腔侧的支承部的支点部、与上述一对突壁抵接并使推压力朝向上述第二腔侧作用的作用点部及朝向上述第二腔侧被加力的力点部，该一对固定操作用部件在上述力点部向各杆部件加力并且朝向第二腔侧推压上述一对突壁，上述一对杆部件在夹着上述支承部件的上述轴方向的两侧将上述力点部与上述作用点部相比分别配置在上述第一端及第二端的开口侧。...

【技术特征摘要】
2017.07.25 JP 2017-1434801.一种闸阀门的安装构造，该闸阀门的安装构造是用于使多个闸阀门相互邻接地固定地安装在分别开设了多个腔开口的第一腔及第二腔之间的构造，其特征在于，上述闸阀门具有空心的阀箱、阀芯和阀驱动部，该空心的阀箱具备一对闸开口，该阀芯通过在该阀箱内动作对上述一对闸开口之间的连通进行开闭，该阀驱动部使该阀芯动作，上述阀箱具有开设上述闸开口且相互背向的一对侧壁面和将这些侧壁面的两侧端彼此互相连结且相互背向的一对侧端面，在将上述一对闸开口分别与上述第一及第二腔的腔开口连接而将上述一对侧壁面分别相对于上述第一及第二腔气密地压接的状态下，相对于该第一及第二腔双方固定，在相互邻接的闸阀门的阀箱中的相互相向的上述侧端面之间形成了固定用空间，该固定用空间具有沿着上述侧壁面的侧端的轴，该轴方向的第一端及第二端开口，从这些相向的侧端面朝向上述固定用空间分别直立设置了沿上述轴延伸的一对突壁，在该固定用空间内收容了用于将上述闸阀门相对于第二腔固定的阀门固定机构，上述阀门固定机构由支承部件、一对杆部件和一对固定操作用部件构成，该支承部件在上述固定用空间的轴方向中央部被固定在上述第二腔中，该一对杆部件具备被压接于该支承部件中的朝向上述第二腔侧的支承部的支点部、与上述一对突壁抵接并使推压力朝向上述第二腔侧作用的作用点部及朝向上述第二腔侧被加力的力点部，该一对固定操作用部件在上述力点部向各杆部件加力并且朝向第二腔侧推压上述一对突壁，上述一对杆部件在夹着上述支承部件的上述轴方向的两侧将上述力点部与上述作用点部相比分别配置在上述第一端及第二端的开口侧。2.如权利要求1所述的闸阀门的安装构造，其中，上述支承部件由从上述第二腔直立设置的支柱部和从该支柱部朝向上述第一端及第二端的开口侧延伸的一对凸缘部构成，在这些凸缘部中的朝向上述第二腔侧的面上分别形成了上述支承部。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：下田洋己，小川浩司，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP