一种旋转定位平台机构制造技术

技术编号:20108283 阅读:23 留言:0更新日期:2019-01-16 10:16
本实用新型专利技术公开了一种旋转定位平台机构,包括调平座、用于定位芯片的定位块,以及竖直设置的伺服电机,所述定位块顶面设有芯片座;所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。其技术效果是:实现芯片更高精度的角度定位,实现芯片任意角度贴装,相对于传统的芯片定位机构,功能更多,精度更高,适应行业内多变的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转定位平台机构
本技术涉及半导体生产领域的一种旋转定位平台机构。
技术介绍
半导体生产过程中,固晶机的要求对芯片高精度角度贴装,现有固晶机行业一台机器只能实现一种角度贴装,无法满足一台机器对芯片任意角度的贴装的需求,这已经无法满足固晶机行业的要求了。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种旋转定位平台机构,其能实现实现芯片更高精度的角度定位,实现芯片任意角度贴装。实现上述目的的一种技术方案是:一种旋转定位平台机构,包括用于定位芯片的定位块,所述定位块顶面设有芯片座;其还包括调平座和竖直设置的伺服电机,所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。进一步的,所述中空轴的一端连通所述芯片座,另外一端连通位于所述从动轮下方的气管接头。再进一步的,所述气管接头连通抽真空装置。进一步的,所述旋转定位平台还包括固定座;所述固定座和所述调平座分别位于所述伺服电机的两侧。进一步的,所述定位块和所述定位座之间通过轴承配合。采用了本技术的一种旋转定位平台机构的技术方案,包括调平座、用于定位芯片的定位块,以及竖直设置的伺服电机,所述定位块顶面设有芯片座;所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。其技术效果是:实现芯片更高精度的角度定位,实现芯片任意角度贴装,相对于传统的芯片定位机构,功能更多,精度更高,适应行业内多变的需求。附图说明图1为本技术的一种旋转定位平台机构的主视图。图2为本技术的一种旋转定位平台机构的立体图。具体实施方式请参阅图1,本技术的专利技术人为了能更好地对本技术的技术方案进行理解,下面通过具体地实施例,并结合附图进行详细地说明:请参阅图1,本技术的一种旋转定位平台机构,包括:定位块1、调平座2、伺服电机3、从动轮4、气管接头5、同步带6、主动轮7、固定座8和轴承9。伺服电机3竖直设置,固定座8和调平座2分别固定在伺服电机3的两侧。固定座8、调平座2和伺服电机3在水平方向上并列设置。调平座2顶面的中心设有一个用于放置定位块1的定位座,所述定位座与定位块1之间通过轴承9配合。定位块1的顶面均布三个用于放置芯片的芯片座。定位块1的底部为一根竖直向下贯穿调平座2且连通三个芯片座的中空轴,所述中空轴连通气管接头5,气管接头5的作用在于通过抽真空使芯片座吸住芯片。调平座2的作用在于实现定位块1、调平座2,以及定位块1上芯片的水平调整,消除累计误差。伺服电机3的驱动轴竖直向下,并套接主动轮7,定位块1的中空轴的径向外侧套接位于气管接头5上方的从动轮4。主动轮7和从动轮4等高。主动轮7和从动轮4之间通过同步带6连接。由于伺服电机3的高精度传动,伺服电机3通过主动轮7、同步带6、从动轮4,带动定位块1水平高精度旋转任意角度,满足定位块1上的芯片按任意角度的贴装的需求。当芯片被放置在定位块1上时,由于定位块1的底部通过气管接头5连通抽真空装置,可使定位块1真空吸住芯片防止定位块1旋转时晃动,伺服电机3、主动轮7、同步带6和从动轮4的传动对芯片实现高精度角度定位,固定座8与调平座9可调节水平,消除累积误差。综上所述,本技术的一种旋转定位平台机构,通过伺服电机3、主动轮7、同步带6和从动轮4和定位块1的配合,实现定位块1上芯片更高精度的角度定位,实现任意角度贴装,相对于传统的芯片定位机构,功能更多,精度更高,适应行业内多变的需求。本
中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本技术,而并非用作为对本技术的限定,只要在本技术的实质精神范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本技术的权利要求书范围内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种旋转定位平台机构,包括用于定位芯片的定位块,所述定位块顶面设有芯片座;其特征在于:其还包括调平座和竖直设置的伺服电机,所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。

【技术特征摘要】
1.一种旋转定位平台机构,包括用于定位芯片的定位块,所述定位块顶面设有芯片座;其特征在于:其还包括调平座和竖直设置的伺服电机,所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:艾兵
申请(专利权)人:上海赢朔电子科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

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