薄片产品键合后解键合用的工作台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台，其特征在于：所述载台上设有基准面和至少一个吸盘组，当产品置于载台上时所述吸盘组先于基准面碰触产品且与产品的背面吸合，所述吸盘组带动吸合于吸盘组上的产品朝向基准面所在位置移动至所述产品的背面与基准面抵靠。通过吸盘可以很好的贴合产品的表面，即使产品的表面存在翘曲或者表面精度差也可以很好的完成吸合，而通过基准面可以使得产品很好的固定及定位于载台上。本实用新型专利技术提供一种薄片产品键合后解键合用的工作台，其可以对平面度差的产品进行装夹，因此在解键合过程中通用性强。

【技术实现步骤摘要】
薄片产品键合后解键合用的工作台
本技术涉及集成电路用相关配件制备的
，具体地是一种薄片产品键合后解键合用的工作台。
技术介绍
薄片状的产品在进行表面加工之前往往需要先将产品键合于一载片上，例如减薄、蚀刻等，由此增强产品的强度，减少或者避免产品碎裂等缺陷，提高产品的合格率。上述的这一过程在半导体加工行业内运用较多，故此沿用其行业内的定义称之为产品的键合过程。当然，在键合后的产品完成表面加工处理后则需要使得产品与载片脱离，此过程称之为解键合过程。而这一解键合的过程简单来说是通过载台和机械手分别固定产品和载片，再通过机械手与载台的相对远离带动产品和载片解键合。并且由于产品的厚度往往较小，因此其载片也较多为片状结构，故其载台与设于载台上的产品或者载片之间的固定方式无法采用传统的夹持设备，行业内较多的是采用带孔的工作平台，即通过工作平台上吸气孔的吸力使得放置于工作平台上的片状产品吸合于工作平台上。但是上述现有技术中的载台由于其自身的结构特点，因此存在一定的局限性。换句话说，当上述的产品或者载片的平面度较差时，例如塑封后的产品，则会导致这一平面度较差的产品或者载片与载台的工作台面之间无法完全贴合，由此会存在漏气现象，这就会使得吸气孔作用于产品上的吸力减小，将会导致产品无法正常的吸合于载台上，或者由于吸合力较小使得产品与载片之间无法正常的解键合。另外，值得一提的是当载片与现有技术的这一载台贴合吸附时还可以通过改进载片的表面精度来提高吸附效果或者选用较厚的载块通过传统的夹头来完成装夹，虽然上述的过程均会额外的增加加工成本以及降低生产效率，但是在不考虑生产成本的小批量加工的情况下仍然可以达到产品与载片之间解键合的目的。但是当需要使得产品与载台进行贴合吸附时现有技术中尚未有更好的解决方案。因此，现有技术的这一载台在实际生产过程中只能针对特定的产品和载片，其通用性较差。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的其中一个技术问题：提供一种薄片产品键合后解键合用的工作台，其可以对平面度差的产品进行装夹，因此在解键合过程中通用性强。为此，本技术的一个目的在于提出一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台，其特征在于：所述载台上设有基准面和至少一个吸盘组，当产品置于载台上时所述吸盘组先于基准面碰触产品且与产品的背面吸合，所述吸盘组带动吸合于吸盘组上的产品朝向基准面所在位置移动至所述产品的背面与基准面抵靠。通过吸盘可以很好的贴合产品的表面，即使产品的表面存在翘曲或者表面精度差也可以很好的完成吸合，而通过基准面可以使得产品很好的固定及定位于载台上。因此可以完成多种产品的解键合加工，减少或避免了产品表面尺寸和精度对于解键合过程中装夹强度的影响，从而使得上述的工作台的通用性好。根据本技术的一个示例，所述吸盘组包括由弹性材质制成的若干真空吸嘴，所述真空吸嘴沿自身长度方向的一端安装于载台上，所述真空吸嘴的另一端设有开口，用于与产品的背面贴合。通过真空吸嘴不仅可以很好的吸附产品，而且真空吸嘴在吸附的过程中会沿自身长度方向收缩，因此可以带动产品很好的贴合于基准面上，即同步完成了产品的吸合以及定位过程。根据本技术的一个示例，所述载台上设有一工作台面，所述吸盘组和基准面均位于载台的工作台面上。载台上设有独立的工作台面以便于设置吸盘组和基准面。根据本技术的一个示例，所述载台的工作台面上位于各真空吸嘴所对应的位置均设有容置槽，各真空吸嘴分别安装于各自对应的容置槽内，且各真空吸嘴的开口均露置于容置槽外。根据本技术的一个示例，所述载台内设有升降机构，各真空吸嘴远离开口的端部安装于升降机构的活动端上，所述升降机构的活动端带动全部的真空吸嘴沿容置槽的槽深方向移动，以使得所述真空吸嘴的开口露置于容置槽外或收纳至容置槽内。通过额外设置的升降机构可以实现真空吸嘴的移动，因此可以带动产品很好的贴合在基准面上，在此过程中不仅可以实现贴合力度和移动距离的调节，从而避免了与基准面冲击力过大而导致产品破损的情况，也避免了移动距离不足而导致产品定位不牢固的问题。另外，在载台停机闲置的过程中，通过升降机构可以使得全部的真空吸嘴收纳于容置槽内，起到防尘的效果，避免了人工去拆卸真空吸嘴带来的不便。根据本技术的一个示例，所述吸盘组为多个，全部的吸盘沿基准面的周向间隔设置，所述基准面上设有若干间隔设置的小孔，所述载台内设有与各小孔连通的吸气管，所述小孔内的空气经吸气管抽离，以使得靠近基准面或贴合于基准面上的产品与基准面之间形成相互吸合的作用力。当产品背面的平面度较差时可以采用吸盘组吸合配合载台上小孔的吸合达到产品定位的效果，而当产品背面的平面度较好时可以不采用吸盘组，直接通过载台上的小孔进行吸合，操作简单方便，因此上述的结构使得载台可以完成对于多种产品多样的定位方式选择，其通用性较强。根据本技术的一个示例，全部的真空吸嘴均匀分布于载台上，且所述基准面延伸至任意相邻的两个真空吸嘴之间。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。上述技术方案具有如下优点或有益效果：首先，通过全部或者部分外露于基准面上的吸盘组可以很好的吸合产品，且可以带动产品压紧于基准面上，因此通用性强，其次，通过升降机构可以实现吸盘组的轴向移动，不仅可以调节产品压紧于基准面这一过程中的间距和压紧力，而且可以在工作台闲置时使得隐藏吸盘组，达到防尘的效果，最后，通过四个边角设置吸盘组配合中间位置设置的若干小孔，使得产品依据自身表面尺寸和精度的不同选择仅通过小孔吸合还是配合吸盘组进行吸合，因此可以针对不同的产品提供最优的装夹方式，其通用性强。附图说明图1是本技术的薄片产品键合后解键合用的工作台的结构示意图。图2是本技术的另一结构的示意图。图3为图2中的工作台在工作状态下的侧视示意图。其中，1、载台，2、基准面，2.1、小孔，3、吸盘组，3.1、真空吸嘴，3.2、开口，4、产品，4.1、背面，5、容置槽。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。下面参考附图来详细描述根据本技术实施例的工作台。下文中的产品4无明确解释则均是指待解键合的片状产品与载片键合后形成的整体，所谓的解键合是指片状产品和载片键合后进行分离的过程，以晶圆为例，当晶圆键合在载片上进行加工后需要使得晶圆与载片进行分离，这一过程即为晶圆的解键合过程，依次类推，文中所在的片状产品解键合可以广义的理解为两个片状物件进行分离。进一步地，所述的产品可以是晶圆、玻璃、金属片、工程塑料等材料制成或者由多种材料组合形成的合成材料制成的片状产品。实施例一：本技术提供一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括如图1所示的载台1，所述载台1如图所示呈水平方向放置，其特征在于：所述载台1上设有基准面2和至少一个吸盘组3，当产品4沿竖直方向从上往下置于载台1上时所述吸盘组3先于基准面2碰触产品4且与产品4的背面4.1吸合，换句话说，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台(1)，其特征在于：所述载台(1)上设有基准面(2)和至少一个吸盘组(3)，当产品(4)置于载台(1)上时所述吸盘组(3)先于基准面(2)碰触产品(4)且与产品(4)的背面(4.1)吸合，所述吸盘组(3)带动吸合于吸盘组(3)上的产品(4)朝向基准面(2)所在位置移动至所述产品(4)的背面(4.1)与基准面(2)抵靠。

【技术特征摘要】
1.一种薄片产品键合后解键合用的工作台，它包括载台(1)，其特征在于：所述载台(1)上设有基准面(2)和至少一个吸盘组(3)，当产品(4)置于载台(1)上时所述吸盘组(3)先于基准面(2)碰触产品(4)且与产品(4)的背面(4.1)吸合，所述吸盘组(3)带动吸合于吸盘组(3)上的产品(4)朝向基准面(2)所在位置移动至所述产品(4)的背面(4.1)与基准面(2)抵靠。2.根据权利要求1所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述吸盘组(3)包括由弹性材质制成的若干真空吸嘴(3.1)，所述真空吸嘴(3.1)沿自身长度方向的一端安装于载台(1)上，所述真空吸嘴(3.1)的另一端设有开口(3.2)，用于与产品(4)的背面(4.1)贴合。3.根据权利要求2所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)上设有一工作台面，所述吸盘组(3)和基准面(2)均位于载台(1)的工作台面上。4.根据权利要求3所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)的工作台面上位于各真空吸嘴(3.1)所对应的位置均设有容置槽(5)，各真空吸嘴(3.1)分别安装于各自对应的容置槽(5)内，且各真空吸嘴(3.1)的开口(3.2)均露置于容置槽(5)外。5.根据权利要求4所述的薄片产品键合后解键合用的工作台，其特征在于：所述载台(1)内设有升降机构，各真空吸嘴(3.1)远离开口(3.2)的端部安装于...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐昊，尹明，黄超云，
申请(专利权)人：浙江中纳晶微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33