低压扩散尾气收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种低压扩散尾气收集装置，连接在石英反应管出气端，包括依次管路联通的压力监控模块、废液收集瓶、冷凝瓶、高精过滤器，高精过滤器出气端与真空泵连接，真空泵出气端与酸排连接；废液收集瓶为内部中空具有腔体的瓶体，瓶体内装填有孔状石英填料，瓶体对应孔状石英填料上方具有抽气口、下方具有进气口，进气口与压力监控模块出气端管路连通、抽气口与冷凝瓶进气口管路连通。本实用新型专利技术可对偏磷酸集中收集，尽量避免偏磷酸在尾排系统管路中结晶或造成堵塞，同时采用压力监控模块，可提高实时监控效果，增加尾排系统的稳定性，延长维护周期，提高设备开机率并延长尾排系统中相应附件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
低压扩散尾气收集装置
本技术涉及光伏电池生产装置的尾排系统
，尤其涉及一种低压扩散尾气收集装置。
技术介绍
低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式,真空系统提供低压力氛围，从而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高扩散均匀性、稳定性和成膜致密性；通过低压扩散工艺，可以获得均匀的p-n结构，更易实现浅结高方阻扩散工艺，提升电池转换效率，提高单管产能，降低制造成本。现有的低压扩散收集方式为利用真空泵进行废气抽取，并排放于酸排系统，路径为石英反应管→Z型管→冷凝瓶→高精过滤器→真空泵→酸排。现有抽气方式因废气冷却后会形成液态或固态的偏磷酸，极易堵塞尾排系统管路，维护周期短(1周以内)，影响了设备的开机率。控制炉管的压力模块处于尾排系统中，在尾排系统堵塞时，影响了对炉管实际压力状况的监控，也对工艺产生了不良影响。偏磷酸具有极强的腐蚀性，对真空泵等其他附件造成了影响，缩短了尾排系统的使用寿命。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本技术提供一种可对偏磷酸集中收集，尽量避免偏磷酸在尾排系统管路中结晶或造成堵塞，提高压力监控模块的实时监控效果，增加尾排系统的稳定性，延长维护周期，提高设备开机率并延长尾排系统中相应附件的使用寿命的低压扩散尾气收集装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种低压扩散尾气收集装置，利用真空泵对炉管出气端尾气进行抽气处理，连接在石英反应管出气端，包括依次管路联通的压力监控模块、废液收集瓶、冷凝瓶、高精过滤器，所述高精过滤器出气端与真空泵连接，所述真空泵出气端与酸排连接；所述的废液收集瓶为内部中空具有腔体的瓶体，所述瓶体内装填有孔状石英填料，所述瓶体对应孔状石英填料上方具有抽气口、下方具有进气口，所述进气口与压力监控模块出气端管路连通、抽气口与冷凝瓶进气口管路连通。废气排出时限经过废液收集瓶及瓶体内的孔状石英填料，废气与孔状石英填料充分接触并预冷却，偏磷酸被收集，保证了后续尾排系统的通常和洁净。进一步的，为了便于孔状石英填料更好地集中收集偏磷酸，瓶体内壁固定有将瓶体内部腔体分隔为上下两层的中空隔板，所述孔状石英填料装填在中空隔板上，所述进气口位于中空隔板下方。废气排出时，废气与孔状石英填料充分接触下，形成液态的偏磷酸被收集在废液收集瓶的下层。更进一步的，中空隔板为六角形中空隔板。六角形设计的中空隔板稳定性高，有利于维持尾排系统的长期稳定通畅。优选的，冷凝瓶为曲径冷却瓶，所述曲径冷却瓶包括瓶身和与瓶身管路连通且从上至下螺旋盘绕在瓶身外壁的螺旋管，所述螺旋管进气端与废液收集瓶抽气口管路连通，所述螺旋管出气端与瓶身内腔连通，所述瓶身顶部开有出气口，所述出气口与高精过滤器进气口管路连通。从废液收集瓶中排出的废气，经过采用曲径设计的螺旋管充分冷却后，进入高精过滤器进行过滤。本技术的有益效果是，本技术提供的低压扩散尾气收集装置，通过废液收集瓶可对偏磷酸集中收集，尽量避免偏磷酸在尾排系统管路中结晶或造成堵塞，同时采用压力监控模块，可提高实时监控效果，增加尾排系统的稳定性，延长维护周期，提高设备开机率并延长尾排系统中相应附件的使用寿命。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术最优实施例的结构示意图。图2是本技术最优实施例中废液收集瓶的剖面图。图3是本技术最优实施例中中空隔板的平面图。图中1、真空泵2、石英反应管3、压力监控模块4、废液收集瓶5、瓶体6、孔状石英填料7、抽气口8、进气口9、中空隔板10、瓶身11、螺旋管12、高精过滤器13、酸排14、冷凝瓶。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1至图3所示的一种低压扩散尾气收集装置，是本技术最优实施例，利用真空泵1对炉管出气端尾气进行抽气处理，连接在石英反应管2出气端，包括依次管路联通的压力监控模块3、废液收集瓶4、冷凝瓶14、高精过滤器12。所述高精过滤器12出气端与真空泵1连接，所述真空泵1出气端与酸排13连接。低压扩散中炉管内压力位负压，压力监控模块3为市售常规配件。废液收集瓶4为内部中空具有腔体的瓶体5，所述瓶体5内装填有孔状石英填料6，所述瓶体5对应孔状石英填料6上方具有抽气口7、下方具有进气口8，所述进气口8与压力监控模块3出气端管路连通、抽气口7与冷凝瓶14进气口8管路连通。废气排出时限经过废液收集瓶4及瓶体5内的孔状石英填料6，废气与孔状石英填料6充分接触并预冷却，偏磷酸被收集，保证了后续尾排系统的通常和洁净。为了便于孔状石英填料6更好地集中收集偏磷酸，瓶体5内壁固定有将瓶体5内部腔体分隔为上下两层的中空隔板9，所述孔状石英填料6装填在中空隔板9上，所述进气口8位于中空隔板9下方。中空隔板9为六角形中空隔板9。六角形设计的中空隔板9稳定性高，有利于维持尾排系统的长期稳定通畅。废气排出时，废气与孔状石英填料6充分接触下，形成液态的偏磷酸被收集在废液收集瓶4的下层。冷凝瓶14为曲径冷却瓶，曲径冷却瓶包括瓶身10和与瓶身10管路连通且从上至下螺旋盘绕在瓶身10外壁的螺旋管11，所述螺旋管11进气端与废液收集瓶4抽气口7管路连通，所述螺旋管11出气端与瓶身10内腔连通，所述瓶身10顶部开有出气口，所述出气口与高精过滤器12进气口8管路连通。从废液收集瓶4中排出的废气，经过采用曲径设计的螺旋管11充分冷却后，进入高精过滤器12进行过滤。在尾排过程中，石英反应管2出气端的废气，经过压力监控模块3进入废液收集瓶4底部，在废液收集瓶4中与孔状石英填料6充分接触并预冷却，形成液态的偏磷酸被收集在废液收集瓶4的下层，而后经过过滤的废气从废液收集瓶4顶部抽气口7进入曲径冷却瓶冷却而后通过高精过滤器12过滤，并由真空泵1抽出并通过酸排13排出。在尾排系统中，新增废液收集瓶4，与原有的尾排系统兼容。可在原有尾排系统上进行增设，改造成本较小。使用废液收集瓶4对偏磷酸集中收集，提高了尾排系统管路的洁净度，减少了偏磷酸对尾排系统的相应附件的腐蚀，提高了尾排系统的使用寿命。改造后的尾排系统，尾排维护时间有效延长，由原周期不到1周延长至1到2个月，且维护方便，维护时只需清洁废液瓶即可，有效提高了设备开机率。另外，也保证了尾排管路系统长期通畅，确保压力监控模块3检测准确，提高了设备运行的稳定性。如此设计的低压扩散尾气收集装置，通过废液收集瓶4可对偏磷酸集中收集，尽量避免偏磷酸在尾排系统管路中结晶或造成堵塞，同时采用压力监控模块3，可提高实时监控效果，增加尾排系统的稳定性，延长维护周期，提高设备开机率并延长尾排系统中相应附件的使用寿命。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低压扩散尾气收集装置，利用真空泵(1)对炉管出气端尾气进行抽气处理，其特征在于：连接在石英反应管(2)出气端，包括依次管路联通的压力监控模块(3)、废液收集瓶(4)、冷凝瓶(14)、高精过滤器(12)，所述高精过滤器(12)出气端与真空泵(1)连接，所述真空泵(1)出气端与酸排(13)连接；所述的废液收集瓶(4)为内部中空具有腔体的瓶体(5)，所述瓶体(5)内装填有孔状石英填料(6)，所述瓶体(5)对应孔状石英填料(6)上方具有抽气口(7)、下方具有进气口(8)，所述进气口(8)与压力监控模块(3)出气端管路连通、抽气口(7)与冷凝瓶(14)进气口管路连通。

【技术特征摘要】
1.一种低压扩散尾气收集装置，利用真空泵(1)对炉管出气端尾气进行抽气处理，其特征在于：连接在石英反应管(2)出气端，包括依次管路联通的压力监控模块(3)、废液收集瓶(4)、冷凝瓶(14)、高精过滤器(12)，所述高精过滤器(12)出气端与真空泵(1)连接，所述真空泵(1)出气端与酸排(13)连接；所述的废液收集瓶(4)为内部中空具有腔体的瓶体(5)，所述瓶体(5)内装填有孔状石英填料(6)，所述瓶体(5)对应孔状石英填料(6)上方具有抽气口(7)、下方具有进气口(8)，所述进气口(8)与压力监控模块(3)出气端管路连通、抽气口(7)与冷凝瓶(14)进气口管路连通。2.如权利要求1所述的低压扩散尾气收集装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊，孙铁囤，姚伟忠，张凯胜，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32