过滤器及其制造方法以及干蚀刻用装置和干蚀刻方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种过滤器，其即使与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制，在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物时，也能够抑制氟化饱和烃的分解。本发明专利技术的过滤器具有与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分和吸附于该部分的表面的胺化合物。此外，本发明专利技术的过滤器的制造方法包含使胺化合物接触与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分的表面的工序。

Filter and its manufacturing method, dry etching device and dry etching method

The invention provides a filter which can inhibit the decomposition of fluorinated saturated hydrocarbons even if at least part of the part contacted with the filtered substance is made of metal or metal compound. The filter of the invention has a part made of metal or metal compound in contact with the filtered material and an amine compound adsorbed on the surface of the part. In addition, the manufacturing method of the filter of the present invention includes the surface process of the metal or metal compound parts that make the amine compound contact with the filtered material.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】过滤器及其制造方法以及干蚀刻用装置和干蚀刻方法
本专利技术涉及过滤器和过滤器的制造方法、以及使用该过滤器的干蚀刻装置及相应的干蚀刻方法。
技术介绍
一直以来，以高浓度(例如99体积％以上)含有2-氟丁烷等氟化饱和烃的组合物被用作蚀刻用气体，CVD(化学气相沉积)用气体，含氟医药中间体的制造原料、溶剂等(参照例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2014/136877号。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在此，以高浓度含有氟化饱和烃的组合物在用与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制的过滤器进行了过滤后，用于各种用途。然而，以例如99体积％以上的高浓度含有氟化饱和烃的组合物在用与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制的过滤器进行过滤时，有时氟化饱和烃会分解，氟化饱和烃的浓度下降。因此，要求即使与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制，也能够在过滤以高浓度包含氟化饱和烃的组合物时抑制氟化饱和烃分解的过滤器。特别是在将以高浓度含有氟化饱和烃的组合物用过滤器过滤而后作为高纯度的蚀刻用气体使用的干蚀刻用装置和干蚀刻方法中，要求能够抑制氟化饱和烃分解的过滤器。因此，本专利技术目的在于提供即使与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制，也能够在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物时抑制氟化饱和烃分解的过滤器。此外，本专利技术的目的在于提供具有该过滤器的干蚀刻用装置和使用该过滤器的干蚀刻方法。用于解决问题的方案本专利技术人为了实现上述目的，进行了深入研究。然后，本专利技术者新发现，如果使用在与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分吸附了胺化合物的过滤器，则即使在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物的情况下，也能够抑制氟化饱和烃分解，从而完成了本专利技术。即，本专利技术以有利地解决上述问题为目的，本专利技术的过滤器的特征在于，具有与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分、和吸附于上述部分的表面的胺化合物。如果像这样，使与被过滤物接触且由金属或金属化合物形成的部分的表面吸附胺化合物，则即使在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物的情况下，也能够抑制氟化饱和烃分解。在此，本专利技术的过滤器优选上述胺化合物化学吸附于上述表面。如果胺化合物呈化学吸附，则能够抑制胺化合物从由金属或金属化合物形成的部分的表面脱附，防止胺化合物混入用过滤器过滤被过滤物而得到的过滤物中。此外，本专利技术的过滤器优选在温度20℃、压力(表压)0.1MPa的氮气环境下的胺化合物的脱附量在10体积ppm以下。如果胺化合物的脱附量在10体积ppm以下，则能够抑制胺化合物从由金属或金属化合物形成的部分的表面脱附，防止胺化合物混入用过滤器过滤被过滤物而得到的过滤物中。另外，胺化合物的脱附量能够使用气相色谱法来测定。进而，本专利技术的过滤器优选滤芯的滤孔尺寸为1250目以上。如果滤芯的滤孔尺寸为1250目以上，则能够充分地去除被过滤物中所含的粒子等杂质。而且，本专利技术的过滤器优选上述胺化合物由碳原子数为3以上且5以下的胺构成。碳原子数为3以上且5以下的胺容易处理且抑制氟化饱和烃分解的效果优异。此外，本专利技术以有利地解决上述问题为目的，本专利技术的过滤器的制造方法的特征在于，是与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制的过滤器的制造方法，包含使胺化合物接触与上述被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分的表面的工序(A)。如果像这样，使胺化合物与金属制或金属化合物制的部分的表面接触，使胺化合物吸附于金属制或金属化合物制的部分的表面，则可容易地得到即使在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物的情况下、也能够抑制氟化饱和烃分解的过滤器。在此，本专利技术的过滤器的制造方法优选进一步含有在上述工序(A)之后，去除物理吸附于上述表面的胺化合物的工序(B)。如果将物理吸附的胺化合物去除，则能够抑制在过滤中胺化合物从由金属或金属化合物形成的部分的表面脱附，防止胺化合物混入用过滤器过滤被过滤物而得到的过滤物中。此外，本专利技术的过滤器的制造方法优选在上述工序(B)中包含将上述表面暴露在减压环境中的操作。如果将使胺化合物接触的表面暴露在减压环境中，则能够容易地去除物理吸附的胺化合物。进而，本专利技术的过滤器的制造方法优选在上述工序(B)中包含交替地重复将上述表面暴露在减压环境中的操作和使非活性气体接触上述表面的操作。如果交替地重复进行将使胺化合物接触的表面在减压环境中暴露的操作和使非活性气体接触使胺化合物接触的表面的操作，则能够高效地去除物理吸附的胺化合物。此外，本专利技术的过滤器的制造方法优选上述过滤器的滤芯的滤孔尺寸为1250目以上。如果滤芯的滤孔尺寸为1250目以上，则能够充分地去除被过滤物中所含的粒子等杂质。而且，本专利技术的过滤器的制造方法优选上述胺化合物由碳原子为3以上且5以下的胺构成。碳原子为3以上且5以下的胺容易处理且抑制氟化饱和烃分解的效果优异。进而，本专利技术以有利地解决上述问题为目的，本专利技术的干蚀刻装置的特征在于，为使用通过过滤器过滤的干蚀刻用气体进行干蚀刻的干蚀刻用装置，上述过滤器为上述的过滤器中的任一种。如果像这样，使用上述过滤器，则能够在将以高浓度含有氟化饱和烃的组合物用过滤器过滤而后作为干蚀刻用气体使用时，抑制氟化饱和烃的分解。而且，本专利技术以有利地解决上述问题为目的，本专利技术的干蚀刻方法的特征在于，使用如下的干蚀刻用气体进行干蚀刻，该干蚀刻用气体使用上述过滤器进行了过滤。如果像这样，使用上述过滤器，则能够在将以高浓度含有氟化饱和烃的组合物用过滤器过滤而作为干蚀刻用气体使用时，抑制氟化饱和烃的分解。专利技术效果根据本专利技术能够提供：即使与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制，也能够在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物时抑制氟化饱和烃分解的过滤器。此外，根据本专利技术能够提供：具有能够抑制氟化饱和烃分解的过滤器的干蚀刻用装置、以及使用能够抑制氟化饱和烃分解的过滤器的干蚀刻方法。具体实施方式以下，对本专利技术的实施方式进行详细说明。在此，本专利技术的过滤器没有特别限定，能够使用例如本专利技术的过滤器的制造方法进行制造。而且，本专利技术的过滤器和使用本专利技术的过滤器的制造方法制造的过滤器没有特别限定，能够在本专利技术的干蚀刻用装置和干蚀刻方法中过滤干蚀刻用气体时优选使用。(过滤器)本专利技术的过滤器没有特别限定，可在去除被过滤物中所含的微粒等时使用。此外，本专利技术的过滤器具有与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分、和吸附于金属制或金属化合物制的部分的表面的胺化合物。而且，根据本专利技术的过滤器，由于金属制或金属化合物制的部分的表面吸附有胺化合物，因此，即使在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物，特别是过滤以99体积％以上，优选为99.50体积％以上，更优选为99.80体积％以上，进一步优选为99.90体积％以上的高浓度含有氟化饱和烃的组合物时，也能够抑制氟化饱和烃分解。在此，虽然能够抑制氟化饱和烃分解的原因尚不明确，但可推测如下。即，可推测氟化饱和烃的分解是金属制或金属化合物制的部分的表面存在的金属原子等路易斯酸成分作为催化剂发挥作用而引起的。进一步可推测，如果使胺化合物吸附于该表面，吸附的胺化合物使路易斯酸中毒而抑制将路易斯酸作为催化剂的氟化饱和烃的分解反应(例如本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤器，具有：与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分、和吸附于所述部分的表面的胺化合物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.30 JP 2016-0688691.一种过滤器，具有：与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分、和吸附于所述部分的表面的胺化合物。2.根据权利要求1所述的过滤器，其中，所述胺化合物化学吸附于所述表面。3.根据权利要求1或2所述的过滤器，其中，温度20℃、压力以表压计为0.1MPa的氮气环境下的胺化合物的脱附量为10体积ppm以下。4.根据权利要求1～3中任一项所述的过滤器，其中，滤芯的滤孔尺寸为1250目以上。5.根据权利要求1～4中任一项所述的过滤器，其中，所述胺化合物由碳原子数为3以上且5以下的胺构成。6.一种过滤器的制造方法，是与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制的过滤器的制造方法，包含使胺化合物接触与所述被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分的表面的工序A。7.根据权利要求6所述的过滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：百武宗洋，平野孝明，
申请(专利权)人：日本瑞翁株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP