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过滤器及其制造方法以及干蚀刻用装置和干蚀刻方法制造方法及图纸
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文档序号:19392571
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本发明提供一种过滤器,其即使与被过滤物接触的部分中的至少一部分为金属制或金属化合物制,在过滤以高浓度含有氟化饱和烃的组合物时,也能够抑制氟化饱和烃的分解。本发明的过滤器具有与被过滤物接触的金属制或金属化合物制的部分和吸附于该部分的表面的胺化...
该专利属于日本瑞翁株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本瑞翁株式会社授权不得商用。
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