厚度检测方法和装置、以及厚度图像传感器制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种厚度检测方法和装置、以及厚度图像传感器。其中，该方法包括：获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，厚度图像传感器包括多个感应电极素子；获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应待测物的电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。本发明专利技术解决了相关技术中的厚度图像传感器的检测误差较大的技术问题。

Thickness detecting method and device, and thickness image sensor

The invention discloses a thickness detecting method and device, and a thickness image sensor. The method includes: acquiring the electrical signal value of each inductance electrode element in the thickness image sensor, in which the thickness image sensor includes a plurality of inductance electrode elements; acquiring the correction parameter value of each inductance electrode element, in which the correction parameter value of each inductance electrode element and the corresponding inductance electricity. The sensitivity of the polaron is correlated, and the pixel value of the thickness of each polaron is obtained by correcting the electrical signal value of the corresponding induced polaron. The invention solves the technical problems of the detection error of the thickness image sensor in the related technology.

【技术实现步骤摘要】
厚度检测方法和装置、以及厚度图像传感器
本专利技术涉及图像传感器领域，具体而言，涉及一种厚度检测方法和装置、以及厚度图像传感器。
技术介绍
薄片状物品，如纸张、票据、塑料薄膜、纺织物品等的在线连续厚度测量，在其产品的生产、检测过程中处于越来越重要的地位。目前，各行业使用的厚度检测技术主要包括使用霍尔器件、反射型超声波、透射型超声、电磁感应式、涡流式等技术来测试薄片式物品的厚度。此外在纸币鉴伪领域，点验钞机、清分机、ATM机也通过对纸币的厚度检测来对纸币真伪进行鉴别，而金融领域大多也都采用压轮的检测方式，通过测量压轮间隙来判断纸币厚度。但是，上述的厚度检测技术作为在线检测技术使用时，其检测装置体积结构大、成本高及精度低的主要缺点限制了这些技术的应用。为了解决检测装置体积结构过大、成本高及精度低等的问题，目前研发出一种分辨率高、体积小、非接触式的厚度图像传感器，主要包括相对设置的公共电极和检测电极，其中，公共电极与检测电极之间的间隔为待检测物的传输通道，并通过与检测电极相连接的检测电路检测待检测物品经过传输通道过程中检测电极的感应电信号。由于该新研发出的厚度图像传感器的检测电极的检测部件主要为首尾相接一字排列的厚度检测芯片，因此，在减小体积的同时，降低了成本，并能够保证精度，还可以根据精度的需求设计检测部件的芯片数量。但是，由于每个厚度检测芯片上均匀分布有感应电场的微小感应电极素子，每个感应素子的响应速度不可能完全一致，具有系统误差，其感度可能具有很大的差异，因此，当厚度图像传感器在检测均匀厚度物体时，各个素子响应速度的非均匀性会直接影响厚度图像传感器所采集图像的质量。针对相关技术中的厚度图像传感器的检测误差较大的技术问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种厚度检测方法和装置、以及厚度图像传感器，以至少解决相关技术中的厚度图像传感器的检测误差较大的技术问题。根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种厚度检测方法，该方法包括：获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，厚度图像传感器包括多个感应电极素子；获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应待测物的电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。进一步地，获取每个感应电极素子的校正参数值包括：获取每个感应电极素子感应第一厚度的样本得到的第一电信号值；获取每个感应电极素子感应第二厚度的样本得到的第二电信号值；计算每个感应电极素子的第一电信号值和第二电信号值之差，得到每个感应电极素子的感度值；对多个感应电极素子的感度值进行归一化，得到每个感应电极素子的校正参数值。进一步地，对多个感应电极素子的感度值进行归一化包括：通过归一化数值对多个感应电极素子的感度进行归一化，其中，归一化数值为多个感应电极素子的感度值中的最大值或者预设数值。进一步地，获取每个感应电极素子感应目标厚度的样本得到的电信号值包括：通过厚度图像传感器检测多次目标厚度的样本；确定每个感应电极素子每次感应目标厚度的样本得到的电信号值，得到每个感应电极素子的多个电信号值；计算每个感应电极素子的多个电信号值的平均值，得到每个感应电极素子感应目标厚度的样本的电信号值。进一步地，通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应待测物的电信号值进行校正包括：根据厚度图像传感器在空扫情况下每个感应电极素子的电信号值确定对应感应电极素子的空扫电信号值；将每个感应电极素子感应待测物的电信号值与空扫电信号值相减，得到每个感应电极素子的待校正电信号值；通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子的待校正电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。根据本专利技术实施例的另一方面，还提供了一种厚度检测装置，该厚度检测装置包括：第一获取单元，用于获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，厚度图像传感器包括多个感应电极素子；第二获取单元，用于获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；校正单元，用于通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应待测物的电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。进一步地，第二获取单元包括：第一获取模块，用于获取每个感应电极素子感应第一厚度的样本得到的第一电信号值；第二获取模块，用于获取每个感应电极素子感应第二厚度的样本得到的第二电信号值；第一计算模块，用于计算每个感应电极素子的第一电信号值和第二电信号值之差，得到每个感应电极素子的感度值；第二计算模块，用于对多个感应电极素子的感度值进行归一化，得到每个感应电极素子的校正参数值。进一步地，第二计算模块包括：计算子模块，用于通过归一化数值对多个感应电极素子的感度进行归一化，其中，归一化数值为多个感应电极素子的感度值中的最大值或者预设数值。进一步地，第一获取模块和第二获取模块获取每个感应电极素子感应目标厚度的样本得到的电信号值包括：通过厚度图像传感器检测多次目标厚度的样本；确定每个感应电极素子每次感应目标厚度的样本得到的电信号值，得到每个感应电极素子的多个电信号值；计算每个感应电极素子的多个电信号值的平均值，得到每个感应电极素子感应目标厚度的样本的电信号值。进一步地，校正单元包括：第三获取模块，用于根据厚度图像传感器在空扫情况下每个感应电极素子的电信号值确定对应感应电极素子的空扫电信号值；第三计算模块，用于将每个感应电极素子感应待测物的电信号值与空扫电信号值相减，得到每个感应电极素子的待校正电信号值；校正模块，用于通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子的待校正电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。根据本专利技术实施例的另一方面，还提供了一种厚度图像传感器，该厚度图像传感器包括：检测部件，包括相对间隔设置的公共电极和检测电极，公共电极和检测电极之间形成待测物的传输通道，检测电极包括沿传输通道依次排列的至少一个检测电极芯片，每个检测电极芯片上设置有至少一个感应电极素子；存储器，用于存储每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；处理器，与检测部件和存储器连接，用于通过每个感应电极素子的校正参数值对对应的感应电极素子感应的电信号值进行校正，得到厚度像素值。进一步地，该厚度图像传感器还包括：采样模块，连接在检测部件和处理器之间，用于对每个感应电极素子感应到的电信号值进行采样并发送给处理器。进一步地，存储器还用于存储每个感应电极素子的空扫电信号值，其中，空扫电信号值为厚度图像传感器在空扫情况下对应感应电极素子的电信号值，处理器还用于将每个感应电极素子感应待测物的电信号值与空扫电信号值相减，得到每个感应电极素子的待校正电信号值，并通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子的待校正电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。在本专利技术实施例中，通过获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，厚度图像传感器包括多个感应电极素子；获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种厚度检测方法，其特征在于，所述厚度检测方法包括：获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，所述厚度图像传感器包括多个感应电极素子；获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应所述待测物的电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。

【技术特征摘要】
1.一种厚度检测方法，其特征在于，所述厚度检测方法包括：获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，所述厚度图像传感器包括多个感应电极素子；获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应所述待测物的电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取每个感应电极素子的校正参数值包括：获取每个感应电极素子感应第一厚度的样本得到的第一电信号值；获取每个感应电极素子感应第二厚度的样本得到的第二电信号值；计算每个感应电极素子的所述第一电信号值和所述第二电信号值之差，得到每个感应电极素子的感度值；对所述多个感应电极素子的感度值进行归一化，得到每个感应电极素子的校正参数值。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，对所述多个感应电极素子的感度值进行归一化包括：通过归一化数值对所述多个感应电极素子的感度进行归一化，其中，所述归一化数值为所述多个感应电极素子的感度值中的最大值或者预设数值。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，获取每个感应电极素子感应目标厚度的样本得到的电信号值包括：通过所述厚度图像传感器检测多次所述目标厚度的样本；确定每个感应电极素子每次感应所述目标厚度的样本得到的电信号值，得到每个感应电极素子的多个电信号值；计算每个感应电极素子的多个电信号值的平均值，得到每个感应电极素子感应所述目标厚度的样本的电信号值。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应所述待测物的电信号值进行校正包括：根据所述厚度图像传感器在空扫情况下每个感应电极素子的电信号值确定对应感应电极素子的空扫电信号值；将每个感应电极素子感应所述待测物的电信号值与所述空扫电信号值相减，得到每个感应电极素子的待校正电信号值；通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子的待校正电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。6.一种厚度检测装置，其特征在于，所述厚度检测装置包括：第一获取单元，用于获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值，其中，所述厚度图像传感器包括多个感应电极素子；第二获取单元，用于获取每个感应电极素子的校正参数值，其中，每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关；校正单元，用于通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应所述待测物的电信号值进行校正，得到每个感应电极素子的厚度像素值。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第二获取单元包括：第一获取模块，用于获取每个感应电极素子感应第一厚度的样本得到的第一电信号值；第二获取模块，用于获取每个感应电极素子感应第二厚度的样本...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚务昌，张凯，曲传伟，杜忺峰，
申请(专利权)人：威海华菱光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37