新型敞开式离子源制造技术

本实用新型专利技术提供了一种新型敞开式离子源，所述新型敞开式离子源包括：外壳的两端开口；后盖固定在外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；气体管道设置在外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块设置在外壳内，放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接电极，另一端出头于所述外壳外；气体管道、放电模块和准直模块依次设置在外壳内，放电模块和准直模块之间的距离大于零；准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接金属管，另一端出头于外壳外；从准直模块到外壳的第二开口端，外壳的内径逐渐收缩。本实用新型专利技术具有可靠性好、可操作性好等优点。

New type of open ion source

The utility model provides a new open type ion source. The new open ion source includes the opening of the two ends of the shell; the rear cover is fixed at the first open end of the shell and has a through hole suitable for the gas pipeline to pass through; the gas pipe is arranged in the shell, one end is through the rear cover, and the other end is connected to the discharge module. Inside, the discharge module is set in the shell, the discharge module is cylindrical, and the shell, electrode and discharge medium are set out from the outer side; the one end of the first wire is connected to the electrode and the other end is out of the outer shell; the gas pipe, discharge module and the collimating module are set in the outer shell, the discharge module and the collimation module. The alignment is more than zero; the collimation module is cylindrical, and the protective shell and metal tube are set in turn from the outside. One end of the second wire is connected with the metal tube and the other end is outside the outer shell; the inner diameter of the shell is gradually contracted from the collimation module to the second opening end of the shell. The utility model has the advantages of good reliability and good operability.

【技术实现步骤摘要】
新型敞开式离子源
本技术涉及质谱分析，特别涉及新型敞开式离子源。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离并从中引出离子束流的装置，由于高压等操作易造成离子源关键部件的损坏，制约离子源的使用寿命。为了增加离子源的可靠性和寿命，对离子源的易拆卸及抗冲击力性能提出了较高的要求。其次，限于对高压放电端的防护，高压放电模块需要与离子束出射端保持一段安全距离，离子束在这段距离容易导致因聚焦效果不好而湮灭或束缚在离子源内部，所以，为获得离子源较好的离子束出射效果，对离子源出射端的离子束提出了准直的要求。另外，直通的通气方式使得供气端气流的压力脉动直接作用于放电部位，不利于形成稳定的离子束及其稳定输出。但是，现有离子源大都存在不易拆卸和难以更换的缺点，以及不具有离子束准直性能，离子束的出射质量低下。因此，造成了离子源的性能及使用效率低。现有的技术解决方法中能起到效果的有3类：尽量避免操作失误、直通型供气方式、工艺上提高离子束准直。但以上所述的三类方法都有缺陷与不足。第一种方法不能从源头上对问题的产生进行解决，离子源的使用效率低；第二种方法不利于形成稳定的离子束及离子束的稳定输出；从工艺上提高离子束准直，能有些许效果，但准直效果差，工艺差的甚至没有准直效果。
技术实现思路
为解决上述现有技术方案中的不足，本技术提供了一种可靠性好、使用寿命长、稳定性好的新型敞开式离子源。本技术的目的是通过以下技术方案实现的：新型敞开式离子源，所述新型敞开式离子源包括：外壳，所述外壳的两端开口；后盖，所述后盖固定在所述外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；气体管道，所述气体管道设置在所述外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块，所述放电模块设置在所述外壳内，所述放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接所述电极，另一端出头于所述外壳外；准直模块，所述气体管道、放电模块和准直模块依次设置在所述外壳内，所述放电模块和准直模块之间的距离大于零；所述准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接所述金属管，另一端出头于所述外壳外；从所述准直模块到外壳的第二开口端，所述外壳的内径逐渐收缩。与现有技术相比，本技术具有的有益效果为：1.设备的可靠性高，且方便拆卸，极大地提高了设备的使用效率，并拓宽了应用范围；2.离子束准直模块缩小离子束的波束半径，提高了离子束出射的稳定性及出射效率，提高了设备的技术品质；3.从根源上解决离子源寿命续航问题，增加了离子源的使用性和可操作性；4.螺旋式通气，提高离子束的稳定性。附图说明参照附图，本技术的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本技术的技术方案，而并非意在对本技术的保护范围构成限制。图中：图1是根据本技术实施例的新型敞开式离子源的结构简图。具体实施方式图1和以下说明描述了本技术的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本技术。为了教导本技术技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本技术的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本技术的多个变型。由此，本技术并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。实施例1：图1示意性地给出了本技术实施例1的新型敞开式离子源的结构简图，如图1所示，所述新型敞开式离子源包括：外壳8，所述外壳的两端开口；后盖1，所述后盖固定在所述外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔3；气体管道5，所述气体管道设置在所述外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块6，所述放电模块设置在所述外壳内，所述放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线2的一端连接所述电极，另一端出头于所述外壳外，并连接高压电；准直模块7，所述气体管道、放电模块和准直模块依次设置在所述外壳内，所述放电模块和准直模块之间的距离大于零，之间为缓冲区18；所述准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线4的一端连接所述金属管，另一端出头于所述外壳外，并连接恒压源；从所述准直模块到外壳的第二开口端，所述外壳的内径逐渐收缩。为了提高离子束的稳定性，进一步地，所述气体管道呈螺旋状。为了提高离子束的出射效率，进一步地，所述通孔、放电模块、准直模块和第二开口的中心轴线共线。为了提高应用时的安全性能，进一步地，临着所述放电模块和准直模块的外壳的外壁具有绝缘套17，绝缘套采用塑料或橡胶，如硅橡胶。为了方便放电模块的安装和拆卸，进一步地，临着所述放电模块的上下游的外壳的内径小于放电模块的外径，从将放电模块夹在外壳内；所述外壳的环绕所述放电模块的部分被分割第一部分和第二部分：移开所述第二部分后，适于在第一部分内装入或取出所述放电模块。为了方便准直模块的安装和拆卸，进一步地，临着所述准直模块的上下游的外壳的内径小于准直模块的外径，从而将准直模块夹在外壳内；所述外壳的环绕所述准直模块的部分被分割第三部分和第四部分：移开所述第四部分后，适于在第三部分内装入或取出所述准直模块。实施例2：根据本技术实施例1的新型敞开式离子源的应用例。在该应用例中，所述准直模块的内径大于所述放电模块的内径；绝缘套采用硅橡胶；在安装或拆卸时，打开第二部分和第四部分，完毕后，关闭第二部分和第四部分，并设置好绝缘套；后盖上的通孔、放电模块、准直模块和第二开口的中心轴线共线。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.新型敞开式离子源，其特征在于：所述新型敞开式离子源包括：外壳，所述外壳的两端开口；后盖，所述后盖固定在所述外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；气体管道，所述气体管道设置在所述外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块，所述放电模块设置在所述外壳内，所述放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接所述电极，另一端出头于所述外壳外；准直模块，所述气体管道、放电模块和准直模块依次设置在所述外壳内，所述放电模块和准直模块之间的距离大于零；所述准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接所述金属管，另一端出头于所述外壳外；从所述准直模块到外壳的第二开口端，所述外壳的内径逐渐收缩。

【技术特征摘要】
1.新型敞开式离子源，其特征在于：所述新型敞开式离子源包括：外壳，所述外壳的两端开口；后盖，所述后盖固定在所述外壳的第一开口端，并具有适于气体管道穿过的通孔；气体管道，所述气体管道设置在所述外壳内，一端穿过所述后盖，另一端连通放电模块的内部；放电模块，所述放电模块设置在所述外壳内，所述放电模块呈筒形，自外向内设置壳体、电极和放电介质；第一导线的一端连接所述电极，另一端出头于所述外壳外；准直模块，所述气体管道、放电模块和准直模块依次设置在所述外壳内，所述放电模块和准直模块之间的距离大于零；所述准直模块呈筒形，自外向内依次设置保护壳和金属管；第二导线的一端连接所述金属管，另一端出头于所述外壳外；从所述准直模块到外壳的第二开口端，所述外壳的内径逐渐收缩。2.根据权利要求1所述的新型敞开式离子源，其特征在于：所述第一导线的另一端连接高压电，所述第二导线的另一端连接恒压源。3.根据权利要求1所述的新型敞开...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪欢欢，闻路红，刘其强，巫德才，毕磊，赵鹏，
申请(专利权)人：宁波大学，宁波华仪宁创智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33