硅片烘干炉的下加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池硅片生产技术领域，尤其是涉及硅片烘干炉的下加热装置，该下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，形成多段拼接模块，每段模块具有向上辐射热量的加热体及风箱，风箱循环向上吹风，加热体设置在风箱的出风侧；所述加热体是发热管，加热体卧设在硅片下方且与硅片输送方向非垂直交叉设置，同段模块上相邻加热体之间呈V形布置；且炉腔内可见钣金件全部采用镜面304不锈钢材质，360度全方位反射光照，使炉体内所有硅片全方位烘干，达到更好的烘干效果；本实用新型专利技术可实现拼装使用，且独立控制，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，且节约生产空间，提高生产效率同时满足生产品质要求。

The lower heating device of the silicon wafer drying furnace

The utility model relates to the technical field of silicon wafer production in solar cells, in particular to a lower heating device of a silicon wafer drying furnace. The lower heating device is set up in the direction of the length of the silicon chip for conveying and drying space, forming a multi section splicing module, each module has a heating body and a bellows with the upward radiating heat, and the air box is circulated upward. The heating body is set at the air outlet side of the air box. The heating body is a heating tube, the heating body is located under the silicon chip and is not vertically intersected with the direction of the silicon chip. The adjacent heating body is arranged in V shape between the same section module, and all of the metal parts in the furnace cavity are made of 304 stainless steel with mirror surface and 360 degrees in all direction reflection light. As a result, all silicon wafers in the furnace can be dried in all directions to achieve better drying effect. The utility model can be used in assembling and assembling, and can be independently controlled to meet the production of HIT solar photovoltaic cell silicon chip, save production space, improve production efficiency and meet production quality requirements at the same time.

【技术实现步骤摘要】
硅片烘干炉的下加热装置
本技术涉及太阳能电池硅片生产
，尤其是涉及用于印刷导电浆的硅片烘干固化设备的加热装置。
技术介绍
HIT太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶硅片来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主，在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构，可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。HIT太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，传统的做法是采用热风烘干炉加热，而现有的热风烘干炉主要是采用热风循环，且是一体式管道结构，存在组装使用不便，且回风控制不佳，影响烘干作业，成品率低。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术缺陷，提供一种硅片烘干炉的下加热装置，简化结构，方便组装使用及维护，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，提升烘干效果及成品率。为达到上述目的，本技术采用如下技术方案：硅片烘干炉的下加热装置，设置在炉体的硅片输送烘干空间的下侧，该下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，形成多段拼接模块，每段模块具有向上辐射热量的加热体及风箱，风箱循环向上吹风，加热体设置在风箱的出风侧；所述加热体是发热管，加热体卧设在硅片下方且与硅片输送方向非垂直交叉设置，同段模块上相邻加热体之间呈V形布置。上述方案进一步是：风箱具有压缩空气输入管、风机、第一内室及第二内室，第二内室设置在第一内室外围，且第二内室具有连通烘干空间的循环吸风口以及连通第一内室的循环进风口，压缩空气输入管和风机组装延伸到第一内室，第一内室上设有配合风机吹风的网孔板，网孔板分隔第一内室与烘干空间，加热体位于网孔板的出风侧。上述方案进一步是：所述每段模块设有独立的温控器，温控器的探头穿过风箱延伸到硅片输送烘干空间。上述方案进一步是：所述炉体内可见钣金件全部采用镜面304不锈钢材质。采用上述方案，本技术将下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，形成多段拼接模块，可实现拼装使用，且独立控制，方便用于烘干炉中组装使用，加热体和风箱配合，调控简单、方便，烘干温度均匀，无温差死角，节能、环保；且炉腔内可见钣金件全部采用镜面304不锈钢材质，360度全方位反射光照，使炉体内所有硅片全方位烘干，达到更好的烘干效果；满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，且节约生产空间，提高生产效率同时满足生产品质要求。附图说明：附图1为本技术的其一实施例的内部结构剖视图；附图2为图1实施例的侧视图；附图3为图1实施例的仰视示意图；附图4为图1实施例的俯视结构分布示意图；附图5为图1实施例的局部结构放大示意图。具体实施方式：以下将结合附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本技术的目的、特征和效果。参阅图1、2、3、4、5所示，为本技术较佳实施例示意图，本技术有关一种硅片烘干炉的下加热装置，设置在炉体1的硅片输送烘干空间的下侧，该下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，形成多段拼接模块，每段模块具有向上辐射热量的加热体2及风箱3，风箱3循环向上吹风，加热体2设置在风箱3的出风侧。所述加热体2是发热管，加热体2卧设在硅片下方且与硅片输送方向非垂直交叉设置，优选地，加热体2与硅片输送方向呈锐角交叉，且同段模块上相邻加热体2之间呈V形布置。所述每段模块设有独立的温控器4，温控器4的探头穿过风箱3延伸到硅片输送烘干空间，结构合理，方便组装及控制。本技术的下加热装置分区设置，形成多段拼接模块，可实现拼装使用，且独立控制，方便用于烘干炉中组装使用，加热体2和风箱3配合工作，调控简单、方便，烘干温度均匀，无温差死角，节能、环保，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，且节约生产空间，提高生产效率同时满足生产品质要求。同段模块上相邻加热体2之间呈V形布置，由此可增加加热体2的向上辐射面，给予侧立输送的硅片最大面积的辐射，缩短工艺时间。且炉体1内可见钣金件全部采用镜面304不锈钢材质，360度全方位反射光照，使炉体内所有硅片全方位烘干，达到更好的烘干效果。图1、5所示，本实施例中，风箱3具有压缩空气输入管31、风机32、第一内室33及第二内室34，第二内室34设置在第一内室33外围，且第二内室34具有连通烘干空间的循环吸风口341以及连通第一内室33的循环进风口342，压缩空气输入管31和风机32组装延伸到第一内室33，第一内室33上设有配合风机32吹风的网孔板331，网孔板331分隔第一内室33与烘干空间，加热体2位于网孔板331的出风侧。由此第一内室33、第二内室34及烘干空间形成循环回路，在风机32带动下实现热风循环，并通过网孔板331吹出，实现烘干空间中的热风循环流动。压缩空气输入管31输入的压缩空气，补充新空气，同时还具有带动热风循环功效。第二内室34吸入烘干空间的热风后再分流给第一内室33，第一内室33再加速吹出，方便调控回风，也有效保证第一内室33吹出的风的品质，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，提升烘干效果及成品率。当然，以上虽然结合附图描述了本技术的较佳具体实施例，但本技术不应被限制于与以上的描述和附图完全相同的结构和操作，对本
的技术人员来说，在不超出本技术构思和范围的情况下通过逻辑分析、推理或者有限的实验还可对上述实施例作出许多等效改进和变化，但这些改进和变化都应属于本技术要求保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片烘干炉的下加热装置，设置在炉体（1）的硅片输送烘干空间的下侧，其特征在于：该下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，形成多段拼接模块，每段模块具有向上辐射热量的加热体（2）及风箱（3），风箱（3）循环向上吹风，加热体（2）设置在风箱（3）的出风侧；所述加热体（2）是发热管，加热体（2）卧设在硅片下方且与硅片输送方向非垂直交叉设置，同段模块上相邻加热体（2）之间呈V形布置。

【技术特征摘要】
1.硅片烘干炉的下加热装置，设置在炉体（1）的硅片输送烘干空间的下侧，其特征在于：该下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，形成多段拼接模块，每段模块具有向上辐射热量的加热体（2）及风箱（3），风箱（3）循环向上吹风，加热体（2）设置在风箱（3）的出风侧；所述加热体（2）是发热管，加热体（2）卧设在硅片下方且与硅片输送方向非垂直交叉设置，同段模块上相邻加热体（2）之间呈V形布置。2.根据权利要求1所述的硅片烘干炉的下加热装置，其特征在于：风箱（3）具有压缩空气输入管（31）、风机（32）、第一内室（33）及第二内室（34），第二内室（34）设置在第一内室（33）外围，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗贤良，苏金财，
申请(专利权)人：东莞市科隆威自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44