涡轮分子泵减震器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二。本实用新型专利技术提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递。本实用新型专利技术在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。

Turbo molecular pump shock absorber

The utility model discloses a turbine molecular pump shock absorber, which comprises a flange, a cylinder body, a stainless steel corrugated pipe, a rubber filler, a cylinder body two and a flange two. The turbine molecular pump shock absorber provided by the utility model is connected by two flanges to a scanning electron microscope sample room and a turbine molecular pump respectively. Through the joint action of the stainless steel bellows and rubber fillers, the vibration of the turbine molecular pump can be effectively prevented from the scanning electron microscopy. The mirror sample room is transmitted. The utility model solves the vibration reduction problem of the turbine molecular pump and completes the installation and fixation of the turbine molecular pump, thus greatly simplifying the complexity of the assembly process.

【技术实现步骤摘要】
涡轮分子泵减震器
本技术涉及一种减震器装置，具体是一种用于减少涡轮分子泵运转中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递的装置。
技术介绍
电子显微镜的放大倍数高达几十万倍，样品的任何振动都会直接影响成像质量，这就要求摆放样品的样品台具有高稳定性的特点，但是为了多角度，多位置观察样品，现代电子显微镜样品台多为5轴悬臂设计，需要使用直线导轨，这些部件具有低阻尼特性，会产生微小振动。扫描电子显微镜要求工作在真空环境下，需要使用涡轮分子泵持续工作，分子泵靠高速旋转的涡轮叶片获得真空，涡轮分子泵本身就会产生震动，如果在涡轮分子泵和扫描电子显微镜样品室之间没有减震装置，会严重影响成像质量。目前的减振措施都存在减震效果不理想，安装复杂，成本高的问题。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种涡轮分子泵减震器。本技术是通过以下技术方案实现的。一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与法兰二和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；法兰二，材料为316L不锈钢，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。进一步地，所述橡胶填充物与不锈钢波纹管是采用一次性整体浇铸成型的。进一步地，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型。进一步地，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型。进一步地，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。本技术提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递。本技术在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。附图说明图1是本技术的结构图；图中：1为法兰一，2为筒体一，3为橡胶填充物，4为不锈钢波纹管，5为筒体二，6为法兰二。具体实施方式下面对本技术的实施例作详细说明：本实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。本实施例提供了一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与法兰二和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；-法兰二，材料为316L不锈钢，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。进一步地，所述橡胶填充物与不锈钢波纹管是采用一次性整体浇铸成型的。进一步地，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型。进一步地，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型。进一步地，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。本实施例中，法兰一，筒体一，不锈钢波纹管，筒体二，法兰二均采用316L不锈钢制造，并通过真空焊接技术焊接成为一个整体，这样既保证了本装置的气密性，又可以有效减少零件数和装置本身的质量。橡胶填充物与不锈钢波纹管是采用一次性整体浇铸成型的，这样可以有效吸收多个波段的震动波，提高样品室的稳定性。通过本技术的联接，涡轮分子泵可以直接安装在样品室的下方，而无需在固定在其他地方，安装过程得到极大简化。以上对本技术的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本技术并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本技术的实质内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涡轮分子泵减震器，其特征在于，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与法兰二和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；法兰二，材料为316L不锈钢，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。

【技术特征摘要】
1.一种涡轮分子泵减震器，其特征在于，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴晓鹏，
申请(专利权)人：上海锆智电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31