The invention discloses a multilayer film structure, which is composed of a high entropy material film layer and a non high entropy material film stack, which contains at least two layers of high entropy material film, and the total nano indentation hardness of the multilayer film structure is at least 10GPa. As the layers contained in the existing multilayer coating system belong to the non high entropy material, the material composition of the multilayer coating system is limited. In the light of this, the invention particularly stacked at least two high entropy material layers and other non high entropy material layers, or less two high entropy material layers stacked with each other. In this way, a multilayer structure that can be plated on the surface of a workpiece substrate is formed. Because the multilayer structure has interlayer interface which can prevent crack propagation and strain deformation, it can enhance the hardness and toughness of the surface of the workpiece substrate. In addition, by using optical interference between layers, the multilayer structure can produce different colors, so as to improve or change the appearance color of the surface of the workpiece substrate.
【技术实现步骤摘要】
多层膜结构
本专利技术关于表面改质(surfacemodification)的
,尤指用以镀覆于材料表面以改善材料的物理性质与机械特性的一种多层膜结构。
技术介绍
表面处理技术通常被应用在改善材料的表面性质,例如外观、物理性质以及耐蚀、硬度、耐摩擦等机械特性。表面处理技术包括机械式表面处理、气相沉积法(chemicalvapordeposition,CVD)、真空蒸镀法(vacuumevaporationdeposition)、溅镀法(sputterdeposition)、电弧气相沉积法(arcvapordeposition)、与离子镀覆法(ionplating)。举例而言,氮化钛(TiN)、碳化钛(TiC)、氮碳化钛(TiCN)、与氧化铝(Al2O3)等硬膜已被应用为刀具的表面镀膜,用以提高刀具的寿命。另一方面,由铬(Cr)、镍(Ni)、铝(Al)、钛(Ti)、前述任两者或以上的合金所制成的金属镀膜因为具有光泽、高耐蚀性、良导电性、以及电磁波屏蔽等特性,是故常被应用作为装饰性或功能性的表面镀膜。目前,材料表面性能的改良技术已被先进工业化国家列为科技发展的重点项目,原因在于表面处理技术除了可以增加材料的美观外,更同时能防锈、防蚀,及提高机械性质,使材料寿命延长。然而,随着科技的高度发展,机械、模具、汽车、航天、核能等工业的零组件全部被要求高质量化以及高机能化,因此对材料的表面改质、硬化技术的要求于是日益升高,导致单层镀膜越来越难满足对抗高应力的磨耗及剧烈化学腐蚀的高耐蚀性;同时,传统单层镀膜常见的银白、银灰、黑、蓝灰、黑紫、古铜、浅金、黄金色等也无法 ...
【技术保护点】
一种镀于工件基材表面的多层膜结构,其特征在于,由一高熵材料膜层与一非高熵材料膜层交互堆栈而成;该多层膜结构至少包含两层高熵材料膜层,且该多层膜结构的一总纳米压痕硬度至少为10GPa。
【技术特征摘要】
1.一种镀于工件基材表面的多层膜结构,其特征在于,由一高熵材料膜层与一非高熵材料膜层交互堆栈而成;该多层膜结构至少包含两层高熵材料膜层,且该多层膜结构的一总纳米压痕硬度至少为10GPa。2.根据权利要求1所述的多层膜结构,其特征在于,该非高熵材料膜层选自包含于下列群组之中的任一种膜层:非高熵纯金属膜层、非高熵合金膜层、非高熵氮化物膜层、非高熵碳化物膜层、非高熵硼化物膜层、非高熵类钻膜层、非高熵氮氧化物膜层、非高熵碳氮化物膜层、非高熵氧化物膜层、非高熵碳氧化物膜层、与其它非高熵陶瓷膜层。3.根据权利要求1所述的多层膜结构,其特征在于,该高熵材料膜层选自包含于下列群组之中的任一种膜层:高熵合金膜层、高熵氮化物膜层、高熵碳化物膜层、高熵氮氧化物膜层、高熵碳氮化物膜层、高熵氧化物膜层、高熵碳氧化物膜层、与其它高熵陶瓷膜层。4.根据权利要求1所述的多层膜结构,其特征在于,该非高熵材料膜层与该高熵材料膜层利用物...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。