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多层膜结构制造技术
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文档序号:17933523
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本发明公开一种多层膜结构,由一高熵材料膜层与一非高熵材料膜层交互堆栈而成;该多层膜结构至少包含两层高熵材料膜层,且该多层膜结构的一总纳米压痕硬度至少为10GPa。由于现有多层镀膜系统所包含的膜层都属于非高熵材料,导致多层镀膜系统的材料组成设...
该专利属于叶均蔚所有,仅供学习研究参考,未经过叶均蔚授权不得商用。
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