一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座，所述固定底座的内部一侧设置有蓄电池，所述蓄电池的一侧设置有液压泵，所述液压泵的一侧设置有液压油箱，所述固定底座的一侧设置有急停开关，所述液压缸的两侧对称设置有支撑柱，所述液压缸的上方安装有伸缩杆，所述伸缩杆的上方设置有第二滑杆，所述第二滑杆的上方安装有下固定夹具，所述下固定夹具的上方设置有上固定夹具，本实用新型专利技术设置了通过转轴分别安装用于做推力实验和拉力实验的夹台，可以根据测试的需要来通过调节旋钮进行调节，不需要更换夹台，使用更加方便，节省了人力，设置了润滑油箱和电磁阀，可以通过KS02Y控制器控制电磁阀开关对支撑柱进行润滑加油。

A push pull tester for semiconductor wafer bump production

The utility model discloses a push and pull force tester for the production of semiconductor wafer bump production, including a fixed base. The inner side of the fixed base is provided with a battery. One side of the battery is provided with a hydraulic pump. One side of the hydraulic pump is provided with a hydraulic oil tank, and one side of the fixed base is provided with an urgent stop switch. A supporting column is arranged on both sides of the hydraulic cylinder, a telescopic rod is installed above the hydraulic cylinder, and a second sliding rod is arranged above the telescopic rod, and a lower fixed fixture is installed above the second sliding rod. The upper fixed fixture is arranged above the lower fixed fixture. The utility model is set by the rotating shaft. Do not install the clamp table for thrust test and tension experiment. It can be adjusted by adjusting knob according to the needs of the test. It does not need to replace the clamp table. It is more convenient to use, save manpower, set up lubricating oil tank and solenoid valve. The KS02Y controller can control the electric magnetic valve switch to lubricate the support column.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机
本技术属于测试机
，具体涉及一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。推拉力测试机用于在半导体晶圆生产过程中对产品的质量进行检测，推拉力测试机用于测试各种材料、半成品及成品的抗拉强度、抗压强度及伸长量，可做剥离、撕裂、抗弯、抗折、压缩等试验，适合金属、塑料、橡胶、纺织品、合成化学制品、电线电缆、皮革等行业使用。现有的推拉力测试机在使用过程中存在一些缺陷，例如推拉力测试机在进行检测时，当需要分别检测推力和拉力时，需要对夹具进行更换，使用不方便，以及没有设置自动润滑装置，维护不方便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，以解决上述
技术介绍
中提出的推拉力测试机在进行检测时，当需要分别检测推力和拉力时，需要对夹具进行更换，使用不方便，以及没有设置自动润滑装置，维护不方便的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座，所述固定底座的内部一侧设置有蓄电池，所述蓄电池的一侧设置有液压泵，所述液压泵的一侧设置有液压油箱，所述固定底座的一侧设置有急停开关，且固定底座上方中间位置处设置有液压缸，所述液压缸的两侧对称设置有支撑柱，且液压缸通过液压油管与液压泵连接，所述液压缸的上方安装有伸缩杆，所述伸缩杆的上方设置有第二滑杆，所述第二滑杆的上方安装有下固定夹具，所述下固定夹具的上方设置有上固定夹具，所述上固定夹具通过安装座和连接杆与第一滑杆固定连接，所述第一滑杆的上方中间位置处设置有润滑油箱，所述润滑油箱的两侧对称设置有润滑油管，所述润滑油管上安装有电磁阀，其中一个所述支撑柱的一侧安装有KS02Y控制器，所述上固定夹具包括有压力台、PTS403压力传感器、夹具本体、固定板、DEE拉力传感器、固定柱、调节手柄、调节旋钮和转轴，所述夹具本体上通过调节旋钮转动连接有转轴，所述转轴的上方设置有PTS403压力传感器，所述PTS403压力传感器的上方设置有压力台，所述转轴的下方设置有固定板，且固定板与转轴的连接位置处设置有DEE拉力传感器，所述固定板的两侧对称设置有固定柱，所述固定柱的一侧安装有调节手柄，所述PTS403压力传感器、DEE拉力传感器、电磁阀、急停开关和液压泵均与KS02Y控制器电性连接。优选的，所述第二滑杆与支撑柱滑动连接。优选的，所述固定底座与液压泵通过螺栓固定连接。优选的，所述安装座与连接杆通过螺栓固定连接。优选的，所述支撑柱与固定底座通过焊接固定。本技术与现有技术相比，具有以下有益效果：（1）本技术设置了通过转轴分别安装用于做推力实验和拉力实验的夹台，可以根据测试的需要来通过调节旋钮进行调节，不需要更换夹台，使用更加方便，节省了人力。（2）本技术设置了润滑油箱和电磁阀，可以通过KS02Y控制器控制电磁阀开关对支撑柱进行润滑加油。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术上固定夹具的结构示意图；图3为本技术的俯视图；图中：1-支撑柱、2-第一滑杆、3-上固定夹具、31-压力台、32-PTS403压力传感器、33-夹具本体、34-固定板、35-DEE拉力传感器、36-固定柱、37-调节手柄、38-调节旋钮、39-转轴、4-安装座、5-连接杆、6-润滑油箱、7-电磁阀、8-润滑油管、9-KS02Y控制器、10-下固定夹具、11-第二滑杆、12-液压缸、13-急停开关、14-固定底座、15-液压油箱、16-液压泵、17-蓄电池、18-液压油管、19-伸缩杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座14，固定底座14的内部一侧设置有蓄电池17，为本测试机进行供电，蓄电池17的一侧设置有液压泵16，液压泵16的一侧设置有液压油箱15，固定底座14的一侧设置有急停开关13，且固定底座14上方中间位置处设置有液压缸12，液压缸12的两侧对称设置有支撑柱1，且液压缸12通过液压油管18与液压泵16连接，液压缸12的上方安装有伸缩杆19，伸缩杆19的上方设置有第二滑杆11，便于通过伸缩杆19带动第二滑杆11进行升降，第二滑杆11带动下固定夹具10上下移动，第二滑杆11的上方安装有下固定夹具10，下固定夹具10的上方设置有上固定夹具3，用来固定需要测试的物体，上固定夹具3通过安装座4和连接杆5与第一滑杆2固定连接，第一滑杆2的上方中间位置处设置有润滑油箱6，润滑油箱6的两侧对称设置有润滑油管8，润滑油管8上安装有电磁阀7，便于控制使润滑油对支撑柱1进行润滑，其中一个支撑柱1的一侧安装有KS02Y控制器9，上固定夹具3包括有压力台31、PTS403压力传感器32、夹具本体33、固定板34、DEE拉力传感器35、固定柱36、调节手柄37、调节旋钮38和转轴39，夹具本体33上通过调节旋钮38转动连接有转轴39，使上固定夹具3可以正常转动，转轴39的上方设置有PTS403压力传感器32，用来测量压力，PTS403压力传感器32的上方设置有压力台31，转轴39的下方设置有固定板34，且固定板34与转轴39的连接位置处设置有DEE拉力传感器35，用来测量拉力，固定板34的两侧对称设置有固定柱36，固定柱36的一侧安装有调节手柄37，PTS403压力传感器32、DEE拉力传感器35、电磁阀7、急停开关13和液压泵16均与KS02Y控制器9电性连接。为了使本测试机可以正常使用，本实施例中，优选的，第二滑杆11与支撑柱1滑动连接。为了使液压泵16可以稳定固定，本实施例中，优选的，固定底座14与液压泵16通过螺栓固定连接。为了使连接杆5可以稳定固定，本实施例中，优选的，安装座4与连接杆5通过螺栓固定连接。为了使本测试机结构稳定，本实施例中，优选的，支撑柱1与固定底座14通过焊接固定。本技术的工作原理及使用流程：该半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机安装好过后，当需要测试推力时，通过调节旋钮38调节转轴39，将上固定夹具3和下固定夹具10上的将压力台31调节至外侧，将需要测量的物体放置在两个压力台31之间，KS02Y控制器9控制液压泵16抽取液压油箱15内的液压油由液压油管18进入到液压缸12内部，液压缸12工作推动伸缩杆19上升，推动下固定夹具10上升，对物体进行挤压，纸质挤碎，通过PTS403压力传感器32检测到此时的压力，当需要检测拉力时，通过调节旋钮38调节转轴39，将上固定夹具3和下固定夹具10将固定板34调节至外侧，将物体固定在两个固定板34的内部，通过两个固定柱36将物体上下两侧进行固定，通过KS02Y控制器9控制第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座（14），其特征在于：所述固定底座（14）的内部一侧设置有蓄电池（17），所述蓄电池（17）的一侧设置有液压泵（16），所述液压泵（16）的一侧设置有液压油箱（15），所述固定底座（14）的一侧设置有急停开关（13），且固定底座（14）上方中间位置处设置有液压缸（12），所述液压缸（12）的两侧对称设置有支撑柱（1），且液压缸（12）通过液压油管（18）与液压泵（16）连接，所述液压缸（12）的上方安装有伸缩杆（19），所述伸缩杆（19）的上方设置有第二滑杆（11），所述第二滑杆（11）的上方安装有下固定夹具（10），所述下固定夹具（10）的上方设置有上固定夹具（3），所述上固定夹具（3）通过安装座（4）和连接杆（5）与第一滑杆（2）固定连接，所述第一滑杆（2）的上方中间位置处设置有润滑油箱（6），所述润滑油箱（6）的两侧对称设置有润滑油管（8），所述润滑油管（8）上安装有电磁阀（7），其中一个所述支撑柱（1）的一侧安装有KS02Y控制器（9），所述上固定夹具（3）包括有压力台（31）、PTS403压力传感器（32）、夹具本体（33）、固定板（34）、DEE拉力传感器（35）、固定柱（36）、调节手柄（37）、调节旋钮（38）和转轴（39），所述夹具本体（33）上通过调节旋钮（38）转动连接有转轴（39），所述转轴（39）的上方设置有PTS403压力传感器（32），所述PTS403压力传感器（32）的上方设置有压力台（31），所述转轴（39）的下方设置有固定板（34），且固定板（34）与转轴（39）的连接位置处设置有DEE拉力传感器（35），所述固定板（34）的两侧对称设置有固定柱（36），所述固定柱（36）的一侧安装有调节手柄（37），所述PTS403压力传感器（32）、DEE拉力传感器（35）、电磁阀（7）、急停开关（13）和液压泵（16）均与KS02Y控制器（9）电性连接。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括固定底座（14），其特征在于：所述固定底座（14）的内部一侧设置有蓄电池（17），所述蓄电池（17）的一侧设置有液压泵（16），所述液压泵（16）的一侧设置有液压油箱（15），所述固定底座（14）的一侧设置有急停开关（13），且固定底座（14）上方中间位置处设置有液压缸（12），所述液压缸（12）的两侧对称设置有支撑柱（1），且液压缸（12）通过液压油管（18）与液压泵（16）连接，所述液压缸（12）的上方安装有伸缩杆（19），所述伸缩杆（19）的上方设置有第二滑杆（11），所述第二滑杆（11）的上方安装有下固定夹具（10），所述下固定夹具（10）的上方设置有上固定夹具（3），所述上固定夹具（3）通过安装座（4）和连接杆（5）与第一滑杆（2）固定连接，所述第一滑杆（2）的上方中间位置处设置有润滑油箱（6），所述润滑油箱（6）的两侧对称设置有润滑油管（8），所述润滑油管（8）上安装有电磁阀（7），其中一个所述支撑柱（1）的一侧安装有KS02Y控制器（9），所述上固定夹具（3）包括有压力台（31）、PTS403压力传感器（32）、夹具本体（33）、固定板（34）、DEE拉力传感器（35）、固定柱（36）、调节手柄（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄涛，袁泉，孙健，张慧，朱威莉，韩伟，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32