拉晶炉排气孔变通结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种拉晶炉排气孔变通结构，属于拉晶炉排气领域，本实用新型专利技术设置在拉晶炉内并与拉晶炉的排气孔形成套装配合，采用在拉晶炉排气孔增加变通罩的方式，能够在出现漏硅事故时起到阻挡硅液入侵排气管道的作用，降低单晶炉爆炸的风险，管道内存在漏水情况时，渗漏水也会被变通罩阻挡在管路内，而不会入侵到拉晶炉，保证了生产的安全进行，可提高员工生产时的安全系数。

【技术实现步骤摘要】
拉晶炉排气孔变通结构
本技术属于拉晶炉排气领域，具体涉及拉晶炉排气孔变通结构。
技术介绍
在传统的单晶硅制造过程中使用的拉晶炉普遍采用两个排气孔，一般设置在单晶炉左右两侧各设置一个，通过对拉晶炉热场结构的研究发现，现有排气孔位置距炉底距离过小，当拉晶炉出现漏硅事故后，硅液在炉底积聚、溢流，容易造成硅液流入排气孔并最终流向排气管道，将排气管道烫漏损坏。当排气管道存在漏水情况时，由于拉晶炉内热场高温作用水流急剧气化，使拉晶炉存在爆炸隐患。
技术实现思路
本技术为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种拉晶炉排气孔变通结构，能够在出现漏硅事故时起到阻挡硅液入侵排气管道的作用，降低单晶炉爆炸的风险，管道内存在漏水情况时，渗漏水也不会入侵到拉晶炉内，保证了生产的安全进行，可提高员工生产时的安全系数。本技术采用的具体技术方案是：拉晶炉排气孔变通结构，设置在拉晶炉内并与拉晶炉的排气孔形成套装配合，所述的排气孔内侧增设有变通结构，所述的变通结构包括变通罩，所述的变通罩呈矩形的空心盒状结构，变通罩的一个竖直向侧面与排气孔连通并与拉晶炉侧壁接触并形成固定连接，所述的变通罩另外三个竖直向侧面上分别开设有透气孔，所述的透气孔上沿与排气孔上沿对齐。所述的透气孔的直径为30-40mm。所述的变通罩内腔的高度＝所述的排气孔的高度+H，H取值范围为5-15mm。所述的变通罩内腔的宽度＝所述的排气孔的宽度+2×L，L取值范围为5-15mm。所述的变通罩上与排气孔侧面相对的侧面设置为弧形面，所述的弧形面的半径为360mm。本技术的有益效果是：本技术，采用在拉晶炉排气孔增加变通罩的方式，能够在出现漏硅事故时起到阻挡硅液入侵排气管道的作用，降低单晶炉爆炸的风险，管道内存在漏水情况时，渗漏水也会被变通罩阻挡在管路内，而不会入侵到拉晶炉，保证了生产的安全进行，可提高员工生产时的安全系数。附图说明图1为本技术的正视图；图2为本技术的俯视图；图3为本技术安装在拉晶炉上的示意图；附图中，1、拉晶炉，2、排气孔，3、变通罩，4、透气孔，5、弧形面。具体实施方式下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步说明：具体实施例如图1到图3所示，拉晶炉排气孔变通结构，设置在拉晶炉1内并与拉晶炉1的排气孔2形成套装配合，所述的排气孔2内侧增设有变通结构，所述的变通结构包括变通罩3，所述的变通罩3呈矩形的空心盒状结构，变通罩3的一个竖直向侧面与排气孔2连通并与拉晶炉1侧壁接触并形成固定连接，连通方式为该侧面挖切出与排气孔2形状相同的空洞，而排气孔2形状一般为U型，或者采用将该侧面直接镂空的方式，借助其他侧面的边缘与炉体焊接密封，当采用第一种连接方式时，该侧面的背后连接有插入管，借助插入管插入到排气孔2内，从而形成固定，便于现有设备的改装，方便快捷，所述的变通罩3另外三个竖直向侧面上分别开设有透气孔4，所述的透气孔4上沿与排气孔2上沿对齐。所述的变通罩3采用焊接方式固定在拉晶炉1内，变通罩3借助设置透气孔4为排气孔2提供进气通道，由于变通罩3呈矩形的空心盒状结构，其上下水平向端面均密封或借助炉体密封，即使渗漏处硅液或渗漏水，排气管道与炉内也不会直接发生入侵现象，设置在侧面的透气孔4位置较高，并且与排气孔2上沿对齐这样，当排气孔2抽气时，透气孔4不会对气流造成过大的影响，保证较好的排气效果，也正是由于透气孔4较高，因此，即使出现轻微的硅液泄露，也不会影响正常的排气，当硅液泄露严重时，此时的拉晶炉1自身的安保措施已经启动，停止了炉内加热，此时也不再存在排气管道被入侵的危险，因此，本技术能够在出现漏硅事故时起到阻挡硅液入侵排气管道的作用，降低单晶炉爆炸的风险，管道内存在漏水情况时，渗漏水也会被变通罩阻挡在管路内，而不会入侵到拉晶炉，保证了生产的安全进行，可提高员工生产时的安全系数。进一步的，所述的透气孔4的直径为30-40mm。由于一般排气管道的高度为120mm左右，因此，此时透气孔下缘到底面高度仍然有80-90mm，此时能够存留较多的泄露硅液，避免发生管道入侵的现象，给工作人员留下足够的排险空间和时间。进一步的，所述的变通罩3内腔的高度＝所述的排气孔2的高度+H，H取值范围为5-15mm。所述的变通罩3内腔的宽度＝所述的排气孔2的宽度+2×L，L取值范围为5-15mm。设置的变通罩3长宽都大于排气孔2，保证了采用焊接固定变通罩3时留有足够的焊缝空间，另外，设置的变通罩3较大，也能够避免形成气阻，便于抽气、排气。进一步的，所述的变通罩3上与排气孔2侧面相对的侧面设置为弧形面5，所述的弧形面5的半径为360mm。由于拉晶炉的排气方式为抽排，此时变通罩3的弧形面5承受较大负压，为了避免长时间使用发生变形的情况，将弧形面5设计为外凸的弧形结构，从而具有较强的抵抗变形能力，保证长时间使用的稳定性，从而持续保证安全生产的进行，对现场工作人员形成良好保护，产生的经济效益难以估算。本文档来自技高网...

【技术保护点】
拉晶炉排气孔变通结构，设置在拉晶炉(1)内并与拉晶炉(1)的排气孔(2)形成套装配合，其特征在于：所述的排气孔(2)内侧增设有变通结构，所述的变通结构包括变通罩(3)，所述的变通罩(3)呈矩形的空心盒状结构，变通罩(3)的一个竖直向侧面与排气孔(2)连通并与拉晶炉(1)侧壁接触并形成固定连接，所述的变通罩(3)另外三个竖直向侧面上分别开设有透气孔(4)，所述的透气孔(4)上沿与排气孔(2)上沿对齐。

【技术特征摘要】
1.拉晶炉排气孔变通结构，设置在拉晶炉(1)内并与拉晶炉(1)的排气孔(2)形成套装配合，其特征在于：所述的排气孔(2)内侧增设有变通结构，所述的变通结构包括变通罩(3)，所述的变通罩(3)呈矩形的空心盒状结构，变通罩(3)的一个竖直向侧面与排气孔(2)连通并与拉晶炉(1)侧壁接触并形成固定连接，所述的变通罩(3)另外三个竖直向侧面上分别开设有透气孔(4)，所述的透气孔(4)上沿与排气孔(2)上沿对齐。2.根据权利要求1所述的拉晶炉排气孔变通结构，其特征在于：所述的透气孔(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：李德建，
申请(专利权)人：河北宁通电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13