轴承组件及基板卸载模组制造技术

本实用新型专利技术涉及一种轴承组件，其包括轴承、轴承座、传动轴、设置在轴承座上且套设于传动轴外的静套块、固定于传动轴上且罩设于静套块外的动罩；在动罩与静套块之间形成曲折狭缝；在曲折狭缝上设有用于捕捉尘粒的陷阱。上述轴承组件，第一，动罩随传动轴旋转形成的离心力作用，粉尘等被甩离动罩，从而形成第一道防尘屏障；第二，动罩与静套块之间形成曲折狭缝，以延长了粉尘接触到轴承的路径，形成第二道防尘屏障；第三，在曲折狭缝上设有陷阱，陷阱可以捕捉尘粒，形成第三道防尘屏障；通过上述三道防尘屏障，可以有效避免尘粒进入轴承中，从而有效保证轴承转动顺畅、同时避免轴承卡滞失效的问题。本实用新型专利技术还提供了一种基板卸载模组。

【技术实现步骤摘要】
轴承组件及基板卸载模组
本技术涉及面板制作领域，特别是涉及一种轴承组件及基板卸载模组。
技术介绍
有机发光装置在生产过程中的镀膜工艺线上，基板先从自动线传来，依次经过第一门阀、基板装载模组(LoadingModule)、第二门阀、第一缓冲腔体、镀膜腔体、第二缓冲腔体、第三门阀、基板卸载模组(UnloadingModule)、第四门阀，最后再从自动线传走。基板卸载模块需要频繁切换真空与大气状态，当该腔体真空度达到低真空时(如5pa)，该腔体与第二缓冲腔体(高真空侧)的第三门阀开启，基板进入基板卸载模块并关闭第三门阀。此时基板卸载模块的腔体将执行破真空动作，在基板卸载模块的腔体从低真空(如5pa)到形成一个标准大气压(101325pa)。在此过程中，掉落于基板上的靶材mask沉积物及基板附着不良的膜层，被紊乱的气流卷起，污染整个基板卸载模块。故而基板卸载模块在运行一段时间后，会导致轴承转动不顺畅、卡滞失效，进而导致真空腔体传动线中断、基板撞片、停机等现象。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有技术中轴承转动不顺畅、卡滞失效的问题，提供一种轴承转动顺畅、防止轴承卡滞失效的轴承组件。一种轴承组件，包括：轴承；轴承座，用于承载所述轴承；传动轴，支承于所述轴承上；静套块，设置在所述轴承座上，且套设于所述传动轴的外围；以及动罩，固定于所述传动轴上，且罩设于所述静套块外；在所述动罩与所述静套块之间形成曲折狭缝。上述轴承组件，第一，动罩随传动轴旋转形成的离心力作用，粉尘等被甩离动罩，从而形成第一道防尘屏障；第二，动罩与静套块之间形成曲折狭缝，以延长了粉尘接触到轴承的路径，形成第二道防尘屏障；通过上述两道防尘屏障，可以有效避免尘粒进入轴承中，从而有效保证轴承转动顺畅、同时避免轴承卡滞失效的问题。在其中一个实施例中，所述静套块远离所述轴承座的一端半包围于所述动罩中。在其中一个实施例中，所述动罩包括紧贴所述传动轴的内筒壁、与所述内筒壁平行设置的外筒壁、以及位于所述内筒壁与所述外筒壁之间的盖壁。在其中一个实施例中，在所述曲折狭缝上设有用于捕捉尘粒的陷阱。这样在曲折狭缝上设有陷阱，陷阱可以捕捉尘粒，形成第三道防尘屏障；可以更进一步避免尘粒进入轴承中，从而有效保证轴承转动顺畅、同时避免轴承卡滞失效的问题。在其中一个实施例中，所述陷阱设置于所述静套块上。在其中一个实施例中，所述陷阱为开设于所述静套块侧面的环状凹槽。在其中一个实施例中，所述环状凹槽的截面呈矩形。在其中一个实施例中，所述环状凹槽的个数为两个。在其中一个实施例中，所述轴承为真空轴承。在其中一个实施例中，所述静套块位于所述轴承座的非轴端。本技术还提供了一种基板卸载模组。一种基板卸载模组，包括若干平行设置的轴承组件；所述轴承组件包括：轴承；轴承座，用于承载所述轴承；传动轴，支承于所述轴承上；静套块，设置在所述轴承座上，且套设于所述传动轴的外围；以及动罩，固定于所述传动轴上，且罩设于所述静套块外；在所述动罩与所述静套块之间形成曲折狭缝；所述基板卸载模组还包括设置在所述传动轴上的若干支撑轮。上述基板卸载模组，由于采用本技术所提供的轴承组件，故而可以有效避免尘粒进入轴承中，从而有效保证轴承转动顺畅、同时避免轴承卡滞失效的问题，进而使基板卸载模组运行顺畅，避免真空腔体传动线中断、基板撞片、停机等现象。附图说明图1为本技术一实施例的轴承组件的截面结构示意图。图2为图1中的静套块的截面结构示意图。图3为另一实施例的轴承组件的动罩的结构示意图。图4为基板卸载模组的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施方式，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。参见图1-3，本技术一实施例的轴承组件100，具有防尘功能。具体地，轴承组件100包括轴承110、轴承座120、传动轴130、静套块140、以及动罩150。其中，轴承110为轴承组件100的核心元件。在本实施例中，轴承110为真空轴承。具体地，真空轴承选用深沟球轴承和角接触球轴承。当然，可以理解的是，本技术的轴承110并不局限于真空轴承，亦可以是其他轴承。其中，轴承座120的主要作用是承载轴承110。也就是说，轴承110安装在轴承座120上。本实施例中，轴承座120大致呈板状，在轴承座120上开设有轴承孔121，轴承110嵌在该轴承孔121中。当然，可以理解的是，本技术的轴承座120并不局限于板状，还可以是其他形状，本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的形状。其中，传动轴130支承于轴承110上。由于轴承110安装在轴承座120上。也就是说，传动轴130通过轴承110安装于轴承座120上，传动轴130可相对轴承座120转动。在本技术中，传动轴130没有特殊限制，可以采用本领域人员所公知的各种传动轴，在此不再赘述。其中，静套块140设置在轴承座120上，且套设于传动轴130的外围。例如，静套块140中心设有通孔141，传动轴130穿过该通孔141而与静套块140配合在一起，如图2所示。因此，静套块140并不影响传动轴130的转动。其中，动罩150固定于传动轴130上，且罩设于静套块140上。由于动罩150和传动轴130是固定关系，故而在传动轴130转动时，动罩150会跟随传动轴130一起转动。动罩150随传动轴130旋转而形成的离心力作用，附着在动罩150上的粉尘等被甩离动罩150，从而形成第一道防尘屏障。在动罩150与静套块140之间形成有曲折狭缝160。例如，动罩150的内表面与静套块140的外表面之间具有一定的间隔，在两者之间形成狭缝，狭缝弯折延伸形成曲折狭缝160。粉尘必须通过曲折狭缝160才能到达轴承110。由于曲折狭缝160的存在，延长了粉尘进入到轴承110的路径，形成第二道防尘屏障。在本实施例中，在曲折狭缝160上设有陷阱170，陷阱170的主要作用是用于捕捉尘粒。这样，即使有尘粒进入曲折狭缝160中，由于在曲折狭缝160上设有陷阱170，尘粒也被捕捉落入陷阱170中而无法进入轴承110中。这样曲折狭缝160上的陷阱170，形成第三道防尘屏障。通过上述三道防尘屏障，可以有效极大地减少到达轴承110处的粉尘的量。这样，也就极大地减少了进入到轴承110内的粉尘的量，从而有效保证轴承110转动顺畅、同时避免轴承110卡滞失效的问题。在本实施例中，静套块140远离轴承座120的一端半包围于动罩150内。也就是说，动罩150将静套块140远离轴承座120的一端(图中的上端)包围。来看图3，在本实施例中，动罩150包括内筒壁151、外筒壁152以及盖壁153。内筒壁151设置为紧贴传动轴130；外筒壁152与内筒壁151平行设置；盖壁153连接在内筒壁151与外筒壁152之间。在内筒壁151、外筒壁15本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种轴承组件，其特征在于，包括：轴承；轴承座，用于承载所述轴承；传动轴，支承于所述轴承上；静套块，设置在所述轴承座上，且套设于所述传动轴的外围；以及动罩，固定于所述传动轴上，且罩设于所述静套块外；在所述动罩与所述静套块之间形成曲折狭缝。

【技术特征摘要】
1.一种轴承组件，其特征在于，包括：轴承；轴承座，用于承载所述轴承；传动轴，支承于所述轴承上；静套块，设置在所述轴承座上，且套设于所述传动轴的外围；以及动罩，固定于所述传动轴上，且罩设于所述静套块外；在所述动罩与所述静套块之间形成曲折狭缝。2.根据权利要求1所述的轴承组件，其特征在于，所述静套块远离所述轴承座的一端半包围于所述动罩中。3.根据权利要求2所述的轴承组件，其特征在于，所述动罩包括紧贴所述传动轴的内筒壁、与所述内筒壁平行设置的外筒壁、以及位于所述内筒壁与所述外筒壁之间的盖壁。4.根据权利要求1所述的轴承组件，其特征在于，在所述曲折狭缝上设有用于捕捉尘粒的陷阱。5.根据权利要求4所述的轴承组件，其特征在于，所述陷阱设置于所述静套块上。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖善春，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32