多层滤网保护压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及多层滤网保护压力传感器，包括空心圆台状的外壳、设于外壳小径端内的基座、设于外壳大径端内的大孔滤网膜片以及固定安装在基座内壁上的压力感应芯片，外壳内设置有用于将外壳内腔分割成两个相互不连通腔体的隔离膜片，其中一个腔体为由隔离膜片、外壳内壁与基座合围成的密闭的硅油腔，另一个腔体为由隔离膜片、外壳内壁与大孔滤网膜片合围成的待测介质腔，外壳内在大孔滤网膜片与隔离膜片之间沿外壳轴向设置有至少一片用于将待测介质腔分割成多个相互连通腔体的小孔滤网膜片。本实用新型专利技术结构简单，采用多层滤网结构，使待测介质经多级过滤后再流进多层滤网保护压力传感器内，避免多层滤网保护压力传感器内腔受污染。

【技术实现步骤摘要】
多层滤网保护压力传感器
本技术涉及压力传感器
，具体涉及一种多层滤网保护压力传感器。
技术介绍
传统压力传感器的测量方式通常都是将待测介质直接引入传感器内部进行测量，但是待测介质往往都是被深度污染具有腐蚀性的，同时有较大颗粒物质存在，会影响到测量结果，因此这种测量方式无法得到准确的测量结果，还会导致传感器内部受污染，传感器内部的元件也会慢慢被腐蚀，造成传感器的损坏，降低传感器的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的是针对以上不足之处，提供了一种多层滤网保护压力传感器，压力感应芯片不直接与待测介质接触，避免压力感应芯片受污染腐蚀，并且设置多层滤网，待测介质的颗粒物经多层过滤处理后被阻拦在外，不会影响压力感应芯片的测量结果，以便于获得精确的测量结果。本技术解决技术问题所采用的方案是：一种多层滤网保护压力传感器，包括空心圆台状的外壳、设于外壳小径端内的基座、设于外壳大径端内的大孔滤网膜片以及固定安装在基座内壁上的压力感应芯片，外壳内设置有用于将外壳内腔分割成两个相互不连通腔体的隔离膜片，其中一个腔体为由隔离膜片、外壳内壁与基座合围成的密闭的硅油腔，另一个腔体为由隔离膜片、外壳内壁与大孔滤网膜片合围成的待测介质腔，外壳内在大孔滤网膜片与隔离膜片之间沿外壳轴向设置有至少一片用于将待测介质腔分割成多个相互连通腔体的小孔滤网膜片，大孔滤网膜片上开设有多个用于初步过滤待测介质的大滤孔，小孔滤网膜片上开设有多个用于进一步过滤待测介质的小滤孔，所述硅油腔内填充有硅油，所述待测介质腔内设置有与外界待测介质相通的待测介质。为了将压力感应芯片与控制元件电连接；所述压力感应芯片上设置有多根引线，基座上开设有用于穿设压力感应芯片的引线的引线孔。为了逐级对待测介质进行过滤；大滤孔的孔径大于小滤孔的孔径。为了对待测介质进行多层次多阶段的过滤；所述小孔滤网膜片将待测介质腔分隔成用于容置经大孔滤网膜片过滤的待测介质的第一腔体和用于容置经小孔滤网膜片过滤的待测介质的第二腔体，第二腔体位于靠近隔离膜片的一侧。为了保证过滤效果；所述大孔滤网膜片、小孔滤网膜片外周均与外壳内壁密封连接。为了精确感应待测介质的水压，所述隔离膜片为波纹状的钢片，隔离膜片外周与外壳内壁密封连接。较之现有技术而言，本技术具有以下优点：(1)本技术结构简单，采用多层滤网结构，待测介质经多级过滤后，大颗粒物都被阻拦在外，压力感应芯片只对液体或气体进行压力测试，不受大颗粒的影响，便于获得精确的测量结果，并且，不同过滤孔径的设置，能有效过滤不同直径的颗粒物，提高过滤效率，避免堵塞；(2)本技术设置隔离膜片，隔离膜片一侧受外部待测介质液压产生形变，进而隔离膜片挤压另一侧的硅油，封闭的硅油腔体积缩小液压升高，硅油腔内的压力感应芯片感应压力变化，因压力感应芯片不直接与待测介质接触，避免压力感应芯片受污染腐蚀；(3)本技术采用空心圆台状的外壳，待测介质可以从外壳的大径端进入，方便采集待测介质，对待测介质进行压力测量。附图说明下面参照附图结合实施例对本技术作进一步说明：图1是本技术的结构示意图。图中：1-大孔滤网膜片；11-大滤孔；2-小孔滤网膜片；21-小滤孔；3-外壳；4-隔离膜片；5-基座；6-压力感应芯片；61-引线；7-硅油腔；8-待测介质腔。具体实施方式下面结合说明书附图和具体实施例对本
技术实现思路
进行详细说明：如图1所示，本实施例提供一种多层滤网保护压力传感器，包括空心圆台状的外壳3、设于外壳3小径端内的基座5、设于外壳3大径端内的大孔滤网膜片1以及固定安装在基座5内壁上的压力感应芯片6，外壳3内设置有用于将外壳3内腔分割成两个腔体的隔离膜片4，其中一个腔体为由隔离膜片4、外壳3内壁与基座5合围成的密闭的硅油腔7，另一个腔体为由隔离膜片4、外壳3内壁与大孔滤网膜片1合围成的待测介质腔8，外壳3内在大孔滤网膜片1与隔离膜片4之间沿外壳3轴向设置有至少一片用于将待测介质腔8分割成多个相互连通腔体的小孔滤网膜片2，大孔滤网膜片1上开设有多个用于初步过滤待测介质的大滤孔11，小孔滤网膜片2上开设有多个用于进一步过滤待测介质的小滤孔21，所述硅油腔7内设置有硅油，所述待测介质腔8内设置有与外界待测介质相通的待测介质。在本实施例中，为了将压力感应芯片6与控制元件电连接；所述压力感应芯片6上设置有多根引线61，基座5上开设有用于穿设压力感应芯片6的引线61的引线孔。在本实施例中，为了向硅油腔7内注入硅油以精确反应压力值变化；所述基座5上开设有呈阶梯状的注油孔，注油孔包括位于内侧的大轴孔和位于外侧的小轴孔，大轴孔的孔径大于小轴孔的孔径，大轴孔内设置有单向封堵注油孔的单向球，小轴孔内设置有油塞。在本实施例中，为了逐级对待测介质进行过滤；大滤孔11的孔径大于小滤21孔的孔径。在本实施例中，为了对待测介质进行多层次多阶段的过滤；所述小孔滤网膜片2将待测介质腔分隔成用于容置经大孔滤网膜片1过滤的待测介质的第一腔体和用于容置经小孔滤网膜片2过滤的待测介质的第二腔体，第二腔体位于靠近隔离膜片4的一侧。为了保证过滤效果；所述大孔滤网膜片1、小孔滤网膜片2外周均与外壳3内壁密封连接。在本实施例中，为了精确感应待测介质的水压，所述隔离膜片4为波纹状的钢片，隔离膜片4外周与外壳3内壁密封连接。具体实施过程：测量时，将该多层滤网保护压力传感器放置在待测介质内，大颗粒物经外壳3大径端的大孔滤网膜片1过滤后被阻拦在外，待测介质顺利流入第一腔体，较小直径的颗粒物经小孔滤网膜片2进一步过滤后，待测介质再次流入第二腔体，颗粒物被多层过滤膜片阻挡，不会进入到传感器内部撞击隔离膜片，保证测量结果不受颗粒物影响，并且，由隔离膜片4来感应液压的变化，待测介质液压越大，隔离膜片4的形变越大，硅油受到的挤压就越大，压力感应芯片6的压力值就升高，在这里，压力感应芯片6没有直接跟待测介质接触，避免传感器受污染腐蚀而损坏，延长传感器的使用寿命。上列较佳实施例，对本技术的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层滤网保护压力传感器，其特征在于：包括空心圆台状的外壳(3)、设于外壳(3)小径端内的基座(5)、设于外壳(3)大径端内的大孔滤网膜片(1)以及固定安装在基座(5)内壁上的压力感应芯片(6)，外壳(3)内设置有用于将外壳(3)内腔分割成两个相互不连通腔体的隔离膜片(4)，其中一个腔体为由隔离膜片(4)、外壳(3)内壁与基座(5)合围成的密闭的硅油腔(7)，另一个腔体为由隔离膜片(4)、外壳(3)内壁与大孔滤网膜片(1)合围成的待测介质腔(8)，外壳(3)内在大孔滤网膜片(1)与隔离膜片(4)之间沿外壳(3)轴向设置有至少一片用于将待测介质腔(8)分割成多个相互连通腔体的小孔滤网膜片(2)，大孔滤网膜片(1)上开设有多个用于初步过滤待测介质的大滤孔(11)，小孔滤网膜片(2)上开设有多个用于进一步过滤待测介质的小滤孔(21)，所述硅油腔(7)内填充有硅油。

【技术特征摘要】
1.一种多层滤网保护压力传感器，其特征在于：包括空心圆台状的外壳(3)、设于外壳(3)小径端内的基座(5)、设于外壳(3)大径端内的大孔滤网膜片(1)以及固定安装在基座(5)内壁上的压力感应芯片(6)，外壳(3)内设置有用于将外壳(3)内腔分割成两个相互不连通腔体的隔离膜片(4)，其中一个腔体为由隔离膜片(4)、外壳(3)内壁与基座(5)合围成的密闭的硅油腔(7)，另一个腔体为由隔离膜片(4)、外壳(3)内壁与大孔滤网膜片(1)合围成的待测介质腔(8)，外壳(3)内在大孔滤网膜片(1)与隔离膜片(4)之间沿外壳(3)轴向设置有至少一片用于将待测介质腔(8)分割成多个相互连通腔体的小孔滤网膜片(2)，大孔滤网膜片(1)上开设有多个用于初步过滤待测介质的大滤孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张惠益，黄朝峰，陈宏，
申请(专利权)人：福建上润精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35