传感器和压力传感器制造技术

一种传感器和一种压力传感器。所述压力传感器包括：基部，具有至少一个高压接触部分；以及隔膜，被定位于基部上方，并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面。内表面包括围绕内部的凸起的周边，在内部内的凸起的中心隆起，以及凸起的隆起臂，所述凸起的隆起臂与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸。在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个与基部的高压接触部分对准并接触。

Sensors and pressure sensors

A sensor and a pressure sensor. The pressure sensor includes: a base having at least one high pressure contact part; and a diaphragm positioned above the base and having an outer top surface deviating from the base and an inner surface facing the base. The inner surface includes surrounding internal convex, convex in the central uplift in the interior, and raised the uplift arm, uplift arm and the convex convex perimeter adjacent to and extending from the periphery toward the inner bulge. During the overpressure event, at least one of the raised arms and the central bulge of the bulge is aligned and contacted with the high pressure contact portion of the base.

【技术实现步骤摘要】
传感器和压力传感器
本公开涉及压力传感器。特别地，本公开涉及具有过压保护的压力传感器。
技术介绍
在许多压力传感器中，柔性隔膜响应于施加到隔膜顶部的压力相对于基部移动。响应于施加的压力提供可重复单调运动的隔膜是优选的。结果，晶体隔膜，诸如由晶体硅制成的隔膜已被广泛采用，因为它们响应于所施加的压力而提供单调运动，并且通常没有滞后效应。不幸的是，具有这种晶体结构的传感器具有有限的过压能力，并且传感器隔膜上的过度压力可能导致超过结晶结构的最大断裂强度的大拉伸应力。这种传感器中的故障倾向于是灾难性的，常常导致完全破碎的结构。上面的讨论仅被提供用于一般背景信息，不意在用作帮助确定请求保护的主题的范围。所请求保护的主题不限于解决了
技术介绍
中记载的任何或所有缺点的实施方式。
技术实现思路
一种压力传感器，包括：基部，具有至少一个高压接触部分；以及隔膜，被定位于基部上方，并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面。内表面包括围绕内部的凸起的周边，在内部内的凸起的中心隆起，以及凸起的隆起臂，所述凸起的隆起臂与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸。在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感器，包括：基部，具有至少一个高压接触部分；隔膜，定位在基部上方并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面，内表面包括围绕内部的凸起的周边、在内部内的凸起的中心隆起、以及与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸的凸起的隆起臂；其中，在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个与基部的高压接触部分对准并接触。

【技术特征摘要】
2016.09.26 US 15/275,6881.一种压力传感器，包括：基部，具有至少一个高压接触部分；隔膜，定位在基部上方并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面，内表面包括围绕内部的凸起的周边、在内部内的凸起的中心隆起、以及与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸的凸起的隆起臂；其中，在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个与基部的高压接触部分对准并接触。2.根据权利要求1所述的压力传感器，还包括耦合到隔膜并基于隔膜的变化来提供输出的感测元件。3.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，凸起的隆起臂在内部中具有与其他凸起特征分离的端部。4.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，凸起的隆起臂在凸起的隆起臂的第一端处与周边邻接，并且在凸起的隆起臂的第二端处与另一个凸起特征邻接。5.根据权利要求4所述的压力传感器，其中，与隆起臂的第二端邻接的凸起特征是周边的第二部分。6.根据权利要求5所述的压力传感器，其中隆起臂包括在隆起臂的第一端和第二端之间的至少一个弯部。7.根据权利要求4所述的压力传感器，其中与隆起臂的第二端邻接的凸起特征是凸起的中心隆起。8.根据权利要求7所述的压力传感器，其中隆起臂包括在第一端和第二端之间的至少一个弯部。9.根据权利要求4所述的压力传感器，其中，与隆起臂的第二端邻接的凸起特征是与凸起的周边的第二部分邻接并且从凸起的周边的第二部分延伸的第二隆起臂。10.一种传感器，包括：基部；以及隔膜，具有安装在基部上的凸起的周边，在凸起的周边的内部内的凸起的中心隆起，在凸起的中心隆起和凸起的周边之间的至少一个凹部，以及与凸起的中心隆起邻接并从凸起的中心隆起延伸的至少一个凸起的隆起臂。11.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：马克·乔治·罗姆，尼古拉斯·爱德华·梅耶，
申请(专利权)人：罗斯蒙特公司，
类型：新型
国别省市：美国,US