The invention relates to a new type of capacitive switch with high isolation, which belongs to the field of radio frequency switch technology. Including the CPW coplanar waveguide transmission line and switch beam, the coplanar waveguide transmission line comprises a substrate, an insulating layer, ground and signal wires, the insulating layer is located above the substrate, the signal line at the middle position of the insulation layer, ground wire and signal lines spaced apart and symmetrically arranged on the both ends of the insulating layer, the switch the beam by the fixed beam and anchor zone, through the anchor connected across the wire between the switch beam is arranged on the surface of dielectric layer is positioned on the signal line, the capacitor switch using electrostatic actuation, the wire connecting DC earthing terminal, the signal line voltage is applied, the clamped beam near the anchor zone is surrounded by four the size of the same arc gap; the invention by changing the fixed beam structure, increasing the inductance, the resonant frequency of the lower isolation and promotion.
【技术实现步骤摘要】
一种高隔离度新型电容开关
本专利技术涉及射频开关
,尤其涉及一种高隔离度新型电容开关。
技术介绍
在世界经济全球化的推动下,以无线通信技术为核心的信息产业进入了蓬勃发展的阶段。人们对于通信的需求越来越高,迫切地希望可以高效、便捷、准确地获取信息。然而,大量无源分离器件包括开关、滤波器、天线、可变电容、电感等却成为系统小型化的阻碍。频率可调器件能有效地传输特定频段的有用信号,降低各通信频道间的相互干扰,充分地利用频谱资源,减少频谱浪费保障通信设备正常工作。对可调器件的核心组成射频开关的研究是无线通信器件发展的一个重要方向。射频开关的性能对可调器件,乃至整个通信系统有着重要的作用。对高频段的有效开发利用给可调滤波器、可重构天线等可调射频器件设计提出了更高的要求。因此,需要更先进成熟的开关技术来保证其实现。RFMEMS器件具有低成本、重量轻和小体积等优点,可以有效地解决无源器件质量大、体积大的问题。同时,随着工作频率的升高,射频器件对尺寸、精度、高射频性能和高可靠性等方面提出了更高的要求。其卓越性能在许多领域得到了应用。RFMEMS技术可以实现各个通讯部件的微型化和集成化,可以提高信号的处理速度和缩小通讯系统的功耗和体积,受到越来越广泛的关注。RFMEMS开关体积小,质量轻,对加速度不敏感,无直流功耗,可以在低成本的硅或者玻璃上制造,比砷化镓工艺截止频率高倍,在微波频率有着优异的隔离度和插入损耗。但是现有的电容开关结构,在地线和信号线间的开关梁部分电流密度很高,这对降低开关的插入损耗和提高隔离度都有着严重的影响。
技术实现思路
针对现有技术中缺陷与不足的问题, ...
【技术保护点】
一种高隔离度新型电容开关,其特征在于:包括共平面波导CPW传输线和开关梁,所述共平面波导传输线由衬底、绝缘层、地线和信号线组成,绝缘层位于衬底上方,信号线位于绝缘层上方中间位置,地线与信号线间隔开且对称布置在绝缘层上方的两端,所述开关梁由固支梁和锚区组成,通过锚区跨接在地线之间,所述信号线位于开关梁下方表面设有介质层,所述电容开关采用静电驱动,其地线连接直流地端,信号线加载电压,所述固支梁上靠近锚区四周设有四个大小相同的圆弧形豁口。
【技术特征摘要】
1.一种高隔离度新型电容开关,其特征在于:包括共平面波导CPW传输线和开关梁,所述共平面波导传输线由衬底、绝缘层、地线和信号线组成,绝缘层位于衬底上方,信号线位于绝缘层上方中间位置,地线与信号线间隔开且对称布置在绝缘层上方的两端,所述开关梁由固支梁和锚区组成,通过锚...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈磊,王雅珍,
申请(专利权)人:池州睿成微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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