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一种高隔离度新型电容开关制造技术
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下载一种高隔离度新型电容开关的技术资料
文档序号:16606905
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本发明涉及一种高隔离度新型电容开关,属于射频开关技术领域。包括共平面波导CPW传输线和开关梁,所述共平面波导传输线由衬底、绝缘层、地线和信号线组成,绝缘层位于衬底上方,信号线位于绝缘层上方中间位置,地线与信号线间隔开且对称布置在绝缘层上方的...
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