固化树脂膜剥离液组合物制造技术

技术编号:15878281 阅读:37 留言:0更新日期:2017-07-25 16:15
本发明专利技术涉及固化树脂膜剥离液组合物,更详细而言,通过包含桥联环状二胺、季铵盐化合物、极性溶剂、无机碱或其盐、和水,从而能够提供对于固化后的树脂膜的优异的剥离力。

Cured resin film stripping liquid composition

The present invention relates to curable resin film stripping liquid composition, in particular, by including the bridged ring of two amines, quaternary ammonium compounds, polar solvent, inorganic alkali or salt, and water, which can provide the excellent peel strength of the cured resin film.

【技术实现步骤摘要】
固化树脂膜剥离液组合物
本专利技术涉及固化树脂膜剥离液组合物。
技术介绍
滤色片(colorfilter)可通过安装于互补金属氧化物半导体(complementarymetaloxidesemiconductor,CMOS)或电荷耦合元件(chargecoupleddevice,CCD)等图像传感器的彩色摄影装置内来用于实际获得彩色图像,除此之外,广泛用于摄影元件、等离子体显示器面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器(LED)等中,其应用范围正在迅速扩大。特别是,近年来,LCD的用途进一步扩大,因此认为在再现LCD的色彩方面滤色片是最重要的构件之一。滤色片基板一般由红(R)、绿(G)、蓝(B)图案和起到用于阻断各像素之间的漏光并提高对比的作用的黑矩阵、以及对液晶盒施加电压的共用电极构成,图案中有时也进一步包含不含颜料的透明(W)图案。滤色片如下制造:将根据用途选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板并形成黑掩模图案,然后利用光刻工序形成彩色抗蚀剂图案。在这样的滤色片制造工序中,会不可避免地发生彩色抗蚀剂图案的不良,彩色抗蚀剂一旦固化,仅通过将错误的部分去除而进行修理是几乎不可能的,此外,由于几乎没有能够将彩色抗蚀剂去除的溶剂,因此对于不良滤色片,不会进行修理等再加工,大部分会被直接废弃处理,因而存在生产性低下的问题。为了解决该问题,正在开发用于去除固化的彩色抗蚀剂的组合物。抗蚀剂大体可分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂,与去除相对容易而可被以有机溶剂为基础的剥离剂在40~50℃的温度条件下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同,彩色抗蚀剂具有固化度高、热处理后变硬、难以剥离去除的负型抗蚀剂的特性。因此,为了去除彩色抗蚀剂,在70℃以上的温度条件下需要5分钟以上的时间,因此需要更强的剥离性能。此外,为了实现显示器的高分辨率,会增加面板的像素数,在形成用于提高这样的面板的光效率的四像素结构的RGBW的透明抗蚀剂的情况下,使用固化度比彩色抗蚀剂或有机绝缘膜高,而且热稳定性、化学稳定性高的树脂,从而存在更加难以去除的问题。韩国公开专利第2009-75516号中公开了TFTLCD用彩色固化树脂膜剥离液组合物,但未能够同时满足优异的剥离力和长时间维持该剥离力的能力。现有技术文献专利文献韩国公开专利第2009-75516号
技术实现思路
所要解决的课题本专利技术的目的在于,提供对于固化后的固化树脂膜的剥离力优异的抗蚀剂剥离液。解决课题的方法1.一种固化树脂膜剥离液组合物,其包含桥联环状二胺、季铵盐化合物、极性溶剂、无机碱或其盐、和水。2.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述桥联环状二胺包含至少一个叔胺。3.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述桥联环状二胺的至少一个氮原子是桥头氮。4.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述桥联环状二胺是下述化学式1所表示的化合物,[化学式1](式中,R1、R2和R3各自独立地为碳原子数1~6的亚烷基)。5.如上述4所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述R1、R2和R3为亚乙基。6.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述季铵盐化合物是选自由四甲基氢氧化铵(TMAH)、四乙基氢氧化铵(TEAH)、四丙基氢氧化铵(TPAH)和四丁基氢氧化铵(TBAH)组成的组中的至少一种。7.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述极性溶剂是选自由二甲亚砜、二乙亚砜、二丙亚砜、环丁砜、N-甲基吡咯烷酮、吡咯烷酮和N-乙基吡咯烷酮组成的组中的至少一种。8.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述无机碱或其盐是选自由氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硝酸钠、硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、硅酸钠、硅酸钾、乙酸钠和乙酸钾组成的组中的至少一种。9.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,组合物总重量中,包含上述桥联环状二胺0.1~10重量%、上述季铵盐化合物1~15重量%、上述极性溶剂10~70重量%、上述无机碱或其盐0.01~5重量%和余量的上述水。10.如上述1所述的固化树脂膜剥离液组合物,上述固化树脂膜是透明抗蚀剂、彩色抗蚀剂或有机绝缘膜。专利技术效果本专利技术的固化树脂膜剥离液组合物对于固化树脂膜,例如固化的滤色片抗蚀剂或有机绝缘膜的剥离力优异。根据本专利技术的一个实施例的固化树脂膜剥离液组合物能够使不良基板再利用。本专利技术的环状二胺的沸点较高,对热稳定,不易分解,经时稳定性优异,因此本专利技术的固化树脂膜剥离液组合物能够确保较多的固化树脂膜的剥离处理量。本专利技术的固化树脂膜剥离液组合物也能够有效地确保对于透明抗蚀剂的优异的剥离力。具体实施方式本专利技术的一个实施方式涉及一种固化树脂膜剥离液组合物,其包含桥联环状二胺、季铵盐化合物、极性溶剂、无机碱或其盐、和水,从而对于固化后的树脂膜能够提供优异的剥离力。本专利技术中,化学式所表示的化合物包含异构体,其意思是在各化学式所表示的化合物具有异构体的情况下,连相应化学式所表示的化合物的异构体也包含在内的代表化学式。<固化树脂膜剥离液组合物>本专利技术的固化树脂膜剥离液组合物包含桥联环状二胺、季铵盐化合物、极性溶剂、无机碱或其盐、和水。桥联环状二胺本专利技术的桥联环状二胺是发挥分解高分子的作用的物质,通过包含多环和2个胺,从而高分子分解能力优异。一般而言,为了高分子分解而使用的羟基胺的沸点低,较易分解,工序进行时,对于高分子的分解能力终期比初期的性能降低明显,经时特性不佳。然而,本专利技术的环状二胺的沸点较高,对热稳定,不易分解,经时稳定性优异。因此,在使用包含本专利技术的桥联环状二胺的固化树脂膜剥离液组合物的情况下,环状二胺的活性维持优异,能够确保较多的固化树脂膜的剥离处理量。此外,除了滤色片抗蚀剂、有机绝缘膜等以外,还能够有效确保对于更难以去除的透明抗蚀剂的优异的剥离力。形成本专利技术的多环的桥的个数或每个桥的碳原子数、或者多环所包含的桥头(bridgehead)的个数或所形成的位置只要能够实现上述本专利技术的目的,就没有特别限制,例如,可以是由3~4个桥和2~3个桥头形成的多环,在更加有利于实现上述目的的方面考虑,优选可以是由3个桥和2个桥头形成的多环。根据本专利技术的一个实施例的二胺各自独立地可以为伯胺~叔胺,优选可包含至少一个叔胺。通过包含叔胺,从而能够更容易地实现本专利技术的目的。本专利技术的2个胺只要为形成环的主链的一部分而能够实现上述本专利技术的目的,其位置就没有特别限制,但可以优选至少一个氮原子为桥头氮,更优选两个氮原子分别位于彼此不同的桥头。如果氮原子位于桥头,则对于高分子的分解能力更加优异。优选地,根据本专利技术的一个实施例的桥联环状二胺可以是下述化学式1所表示的化合物:[化学式1](式中,R1、R2和R3各自独立地为碳原子数1~6的亚烷基),更优选上述R1、R2和R3可以为亚乙基(1,4-二氮杂二环[2.2.2]辛烷(DABCO))。根据本专利技术的一个实施例的桥联环状二胺以固化树脂膜剥离液组合物总重量为基准,可以包含0.1~10重量%,优选包含1~6重量%。在桥联环状二胺的含量少于0.1重量%的情况下,对于高分子的分解能力降低,在超过10重量%的情况下,可能发生析出,并且相对于追加投入量,效果上升甚微,进一步,剥离液组合物的价格变高而经济性不佳。季铵盐化合物本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种固化树脂膜剥离液组合物,其包含桥联环状二胺、季铵盐化合物、极性溶剂、无机碱或其盐、和水。

【技术特征摘要】
2016.01.19 KR 10-2016-00063581.一种固化树脂膜剥离液组合物,其包含桥联环状二胺、季铵盐化合物、极性溶剂、无机碱或其盐、和水。2.根据权利要求1所述的固化树脂膜剥离液组合物,所述桥联环状二胺包含至少一个叔胺。3.根据权利要求1所述的固化树脂膜剥离液组合物,所述桥联环状二胺的至少一个氮原子是桥头氮。4.根据权利要求1所述的固化树脂膜剥离液组合物,所述桥联环状二胺是下述化学式1所表示的化合物,[化学式1]式中,R1、R2和R3各自独立地为碳原子数1~6的亚烷基。5.根据权利要求4所述的固化树脂膜剥离液组合物,所述R1、R2和R3为亚乙基。6.根据权利要求1所述的固化树脂膜剥离液组合物,所述季铵盐化合物是选自由四甲基氢氧化铵(TMAH)、四乙基氢氧化铵(TEAH)、四丙基氢氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪宪杓崔庆默房淳洪
申请(专利权)人:东友精细化工有限公司
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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