【技术实现步骤摘要】
具有用于锚固接触端子的多孔半导体区域的光伏电池、电解和蚀刻模块以及相关生产线本分案申请是2011年3月11日递交的题为“具有用于锚固接触端子的多孔半导体区域的光伏电池、电解和蚀刻模块以及相关生产线”的中国专利申请NO.201180020401.8的分案申请。
根据本专利技术的一个或多个实施例的解决方案涉及光伏应用领域。更具体而言,这一解决方案涉及光伏电池。此外,根据本专利技术的其他实施例的解决方案涉及电解工艺领域以及蚀刻工艺领域。更具体而言,这些解决方案涉及电解模块(例如,用于执行阳极氧化处理和淀积处理)和蚀刻模块,其例如用在光伏电池生产线中。
技术介绍
通常采用光伏电池来将光能转换成电能(又称为借助太阳光使用的太阳能电池)。最常见的太阳能电池类型是以半导体基板(例如,由硅构成)为基础的,其中,在基板的正面和背面之间形成PN结;被基板的正面吸收的太阳光产生电荷(即,电子-空穴对),由此向外部负载提供对应的电流。每一太阳能电池通常具有处于正面上的正面接触端子和位于背面上的背面接触端子,这些端子用于太阳能电池至外部负载的连接。背面接触端子可以延伸遍及整个背面(因为太阳光通常无法抵达背面),因而其可以相对较薄。相反,应当使正面接触端子维持尽可能小,从而限制其遮蔽正面的阳光(例如,采用具有窄接触条的格栅的形式);因此,正面接触端子应当相对较厚(以降低其沿正面上的接触条的电阻)。本领域已知的各种太阳能电池的一个问题在于:难以将接触端子保持固定到基板上,尤其是对于正面接触端子,因为其尺寸小,厚度大。实际上,即使每一接触端子轻微失去粘附也会涉及其接触电阻的不均匀性或不稳 ...
【技术保护点】
一种光伏电池(100),包括由半导体材料制成的基板(105;105')和多个接触端子(Tf,Tb),每个接触端子布置在所述基板的对应接触区(122)上以收集通过光在所述基板内产生的电荷,对于所述接触区中的至少一个,所述基板包括从该接触区延伸到所述基板内的至少一个多孔半导体区域(125,130),以用于将整个对应的接触端子锚固到所述基板上,其中每一个多孔半导体区域具有随着远离接触区朝向基板内移动而降低的孔隙度。
【技术特征摘要】
2010.03.12 IT MI2010A0004071.一种光伏电池(100),包括由半导体材料制成的基板(105;105')和多个接触端子(Tf,Tb),每个接触端子布置在所述基板的对应接触区(122)上以收集通过光在所述基板内产生的电荷,对于所述接触区中的至少一个,所述基板包括从该接触区延伸到所述基板内的至少一个多孔半导体区域(125,130),以用于将整个对应的接触端子锚固到所述基板上,其中每一个多孔半导体区域具有随着远离接触区朝向基板内移动而降低的孔隙度。2.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中所述孔隙度从接触区(122)处的70%-90%降低至基板(105,105')中最大深度处的10%-30%。3.根据权利要求1或2所述的光伏电池(100),其中,每一个多孔半导体区域(125,130)的厚度低于1μm,对应的接触端子(Tf,Tb)穿透到所述多孔半导体区域(125,130)的区域的整个厚度内。4.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中,每一个多孔半导体区域(125,130)包括接近对应的接触区(122)的具有逐渐减小的孔隙度的外层(325e)和远离对应的接触区的具有均匀的孔隙度的内层(325i)。5.根据权利要求4所述的光伏电池(100),其中,所述外层(325e)的孔隙度从最大值减小到最小值,并且其中,所述内层(325i)的孔隙度被包含于所述最大值和所述最小值之间。6.根据权利要求4或5所述的光伏电池(100),其中,所述内层(325i)比所述外层(325e)厚。7.根据权利要求6所述的光伏电池(100),其中所述内层(325i)的厚度等于所述外层(325e)的厚度的1.5-6倍。8.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125,130)是在接触区(122)的整个表面上延伸的遍布所述表面具有均匀的孔隙度的单个多孔半导体区域(125,130)。9.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125,130)包括遍布所述接触区(122)均匀分布的多个多孔半导体区域。10.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中,每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125,130)具有随着从其边界向接触区内移动而减小的孔隙度。11.根据权利要求10所述的光伏电池(100),其中每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125,130)的孔隙度从在接触区的边界处的最大值降低至在其中心处的等于所述最大值的10%-50%的最小值。12.根据权利要求10或11所述的光伏电池(100),其中,每一个接触区(122)的所述至少一个多孔半导体区域(125,130)包括多个多孔半导体区域,所述多个多孔半导体区域的浓度和/或尺寸随着从其边界向接触区内移动而减小。13.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中所述基板(105;105')具有用于吸收光的正面,所述至少一个接触区(122)包括所述正面的至少一个正面接触区(122)以用于对应的至少一个正面接触端子(Tf),所述至少一个正面接触区(122)和所述至少一个正面接触端子(Tf)具有平的轮廓。14.根据权利要求1所述的光伏电池(100),其中所述基板(105;105')具有20-100μm的厚度。15.一种制造光伏电池(100)的过程,所述过程包括以下步骤:提供半导体材料的基板(105;105'),该基板(105;105')具有用于吸收光的正面,形成布置在所述正面的对应的至少一个正面接触区(122)上的至少一个正面接触端子(Tf),用于收集通过光在所述基板内产生的电荷,其中所述至少一个正面接触区和所述至少一个正面接触端子具有平的轮廓,形成所述至少一个正面接触端子的步骤包括:形成从每一个正面接触区延伸到所述基板内的至少一个正面多孔半导体区域(125),用于将对应的整个正面接触端子锚固到所述基板上,以及化学淀积所述至少一个正面接触端子。16.根据权利要求15所述的过程,其中,在低于350℃的温度执行所述形成至少一个正面接触端子(Tf)的步骤。17.根据权利要求15或16所述的过程,其中,所述形成至少一个正面多孔半导体区域(125)的步骤包括:在黑暗条件下使所述基板(105,10...
【专利技术属性】
技术研发人员:M·布鲁卡尼,
申请(专利权)人:RISE技术有限责任公司,
类型:发明
国别省市:意大利,IT
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