一种透明导电叠层和硅基异质结太阳能电池制造技术

本发明专利技术涉及太阳能电池技术领域。本发明专利技术公开了一种透明导电叠层和硅基异质结太阳能电池，透明导电叠层包括三层膜层结构、四层膜层结构、五层膜层结构或八层膜层结构；透明导电叠层的最底层为为硫化锌膜层，中间具有银或金或银合金或金合金膜层，最上层为透明导电氧化物膜层，其中所述硫化锌膜层与硅基异质结太阳能电池结构中的掺杂层直接接触，本发明专利技术的透明导电叠层在获得高的可见光透过率的情况下，比传统的透明导电氧化物膜层具有更低的方块电阻和更强的中远红外线的反射能力，这可提高硅基异质结太阳能电池的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种透明导电叠层和硅基异质结太阳能电池
本专利技术属于太阳能电池
，具体地涉及一种透明导电叠层以及具有该透明导电叠层的硅基异质结太阳能电池。
技术介绍
太阳能电池能够将太阳光直接转换为电力，因此作为新的能量源受到越来越多国家的重视。HeterojunctionwithIntrinsicThinlayer太阳能电池简称HIT太阳能电池，其最早是由三洋公司专利技术的，其是非晶硅/晶硅异质结的太阳能电池，是一种利用晶硅基片和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。由于HIT太阳能电池具有高的光电转换效率，低的温度系数和在相对低温条件下的制备技术，在近几年来成为光伏行业研究和开发的重点方向之一。目前日本的三洋公司产业化的HIT太阳能电池的效率已超过23%，其实验室效率已超过了25%。图1A和图1B所示为现有的HIT太阳能电池的结构示意图。在图1A和图1B中，在由单晶硅、多晶硅等的结晶类半导体构成的n型结晶类硅基板1的一个主面上，本征非晶硅层2、p型非晶硅层3依次叠层，进而在其上形成ITO透明导电氧化物层4和由银浆印刷构成的梳型形状的栅电极9；在结晶类硅基板1的另一个主面上依次叠层本征非晶硅层5、n型非晶硅层6，进而在其上形成ITO透明导电氧化物层7和由银浆印刷构成的梳型形状的栅电极9，汇流条电极8将栅电极9的电流汇集起来；在这里通常的ITO透明导电氧化物层4、7的方块电阻一般都在30-60Ω/□，这就需要使用较多的栅电极来收集载流子，从而对银浆的需求量增大。这种HIT太阳能电池按照以下的顺序制造。首先，使用等离子体CVD法，在结晶类基板1的一个主面上连续形成本征非晶硅层2、p型非晶硅层3，在另一个主面上连续形成本征非晶硅层5、n型非晶硅层6。接着使用溅射法在p型非晶硅层3和n型非晶硅层6上分别形成ITO透明导电层4和7，进而通过丝网印刷，在ITO透明导电氧化物层4和7上形成梳型形状的栅电极9。所使用的等离子体增强CVD法、溅射法、丝网印刷法等的方法全部能够在250℃以下的温度形成上述各膜层，因此能够防止基板的翘曲。由于非晶硅膜层的导电性较差，所以在HIT的制作过程中，在栅电极和非晶硅膜层之间设置一层ITO膜层可以有效的增加载流子的收集。ITO薄膜具有光学透明和导电双重功能，对有效载流子的收集起着关键作用，但是ITO膜层与非晶硅膜层之间会形成一定的肖特基接触，而肖特基接触会导致内建电场的降低从而导致开路电压的降低，且当势垒高度较大时还会引起一个附加的串阻。因此较高的势垒高度降低了电池的开路电压，同时也增加了电池的串联电阻，串联电阻的增加会导致电池填充因子的下降。在HIT太阳能电池中，传统所使用的ITO或IWO透明导电氧化物膜层的方块电阻一般都比较高，为了增加载流子的收集就要求增加栅电极的数量，这会导致银浆使用量的增加，增加了制造成本，同时栅电极数量的增加又会使电池的有效发电面积的减少。
技术实现思路
本专利技术的目的在于为解决上述的现有HIT太阳能电池技术中存在的问题，提供一种透明导电叠层及具有该透明导电叠层的硅基异质结太阳能电池，本专利技术的透明导电叠层在获得高的可见光透过率的情况下，比传统的透明导电氧化物膜层具有更低的方块电阻和更强的中远红外线的反射能力，这可提高硅基异质结太阳能电池的性能。本专利技术的透明导电叠层结构中的硫化锌膜层可起到很好的钝化作用、同时可防止氧等高能粒子进入到掺杂层中造成掺杂层性能的衰减、及可实现透明导电叠层与掺杂层的良好的欧姆接触，有利于降低其串联电阻，同时可提高电池的填充因子，从而增强了太阳能电池的性能，此外，本专利技术可使用较少数量的栅线电极，因而可降低成本和增加电池的有效发电面积。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种透明导电叠层，所述透明导电叠层为三层膜层结构、四层膜层结构、五层膜层结构或八层膜层结构；当透明导电叠层为三层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为五层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为八层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；其中，所述TiOx膜层中x≤2；NiCrOx膜层中x≤3。所述透明导电叠层还可包括五层膜层结构，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层或氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；所述透明导电叠层还可包括七层膜层结构，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层或氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；进一步的，所述氧化锌基膜层为氧化锌膜层、氧化锌锡膜层、氧化锌镁膜层、氧化锌钛膜层、AZO膜层、GZO膜层、IGZO膜层、BZO膜层、IZO膜层中的至少一种膜层组成；所述透明导电氧化物膜层为AZO膜层、GZO膜层、IGZO膜层、BZO膜层、IZO膜层、ITO膜层、ITIO膜层、IWO膜层、氧化锡掺氟膜层、氧化锡掺碘膜层、氧化锡掺锑膜层中的至少一种膜层组成；所述硫化锌膜层中含有硒。本专利技术还公开了一种硅基异质结太阳能电池，包括晶硅基片，所述晶硅基片的受光面和背面分别设置有第一本征非晶层和第二本征非晶层，所述第一本征非晶层上设置有第一掺杂层，所述第二本征非晶层上设置有第二掺杂层，所述第一掺杂层上设置有第一透明导电层，所述第二掺杂层上设置有第二透明导电层，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层为上述的透明导电叠层，所述硫化锌膜层与第一掺杂层和/或第二掺杂层直接接触。本专利技术还公开了另一种硅基异质结太阳能电池，包括晶硅基片，所述晶硅基片的受光面设置有第一本征非晶层，所述第一本征非晶层上设置有一减反射层，所述晶硅基片的背面设置有第二本征非晶层，所述第二本征非晶层的表面区域内交错设置有第一掺杂层和第二掺杂层，所述第一掺杂层上设置有第一透明导电层，所述第二掺杂层上设置有第二透明导电层，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层为上述的透明导电叠层，所述硫化锌膜层与第一掺杂层和/或第二掺杂层直接接触。进一步的，所述第一本征非晶层和第二本征非晶层为本征非晶硅膜层，所述本征非晶硅膜层中还可含有碳、氧等元素。进一步的，所述TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层的厚度小于10nm，优选其厚度小于5nm，所述银或金或银合金或金合金膜层的厚度小于20nm，优选其厚度小于15nm。进一步的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明导电叠层，其特征在于：所述透明导电叠层为三层膜层结构、四层膜层结构、五层膜层结构或八层膜层结构；当透明导电叠层为三层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiO

【技术特征摘要】
1.一种透明导电叠层，其特征在于：所述透明导电叠层为三层膜层结构、四层膜层结构、五层膜层结构或八层膜层结构；当透明导电叠层为三层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为五层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为八层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；其中，所述TiOx膜层中x≤2；NiCrOx膜层中x≤3。2.根据权利要求1所述的透明导电叠层，其特征在于：所述氧化锌基膜层为氧化锌膜层、氧化锌锡膜层、氧化锌镁膜层、氧化锌钛膜层、AZO膜层、GZO膜层、IGZO膜层、BZO膜层、IZO膜层中的至少一种膜层组成；所述透明导电氧化物膜层为AZO膜层、GZO膜层、IGZO膜层、BZO膜层、IZO膜层、ITO膜层、ITIO膜层、IWO膜层、氧化锡掺氟膜层、氧化锡掺碘膜层、氧化锡掺锑膜层中的至少一种膜层组成。3.一种硅基异质结太阳能电池，包括晶硅基片，所述晶硅基片的受光面...

【专利技术属性】
技术研发人员：李艺明，邓国云，李浩，
申请(专利权)人：江苏神科新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32