划片机漏水检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种划片机漏水检测方法及装置，属于集成电路封装设备制造领域。所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。本发明专利技术的技术方案能够检测划片机的划切箱是否漏水。

Water leakage detecting method and device for scribing machine

The invention provides a water leakage detecting method and device for dicing saw, belonging to the field of manufacturing integrated circuit package equipment. The scribing machine is arranged in two relatively arranged guide rail, the guide rail is arranged on the guide rail is arranged on the base, the detection device comprises: setting up Water Leakage detection line in the first line of the Water Leakage detection of rail mounted base, parallel and mutually insulated winding second Water Leakage, the first end of the first line detection line detection Water Leakage and second Water Leakage were suspended; and detection line and testing line of the first and the second end of the second Water Leakage Water Leakage Water Leakage detection circuit are respectively connected, in the Water Leakage dicing machine, an output voltage detection circuit outputs the Water Leakage end can be changed; and the output end of the detection circuit Water Leakage connection the processor, according to the judgment of the output voltage detection circuit Water Leakage the dicing machine is Water Leakage. The technical proposal of the invention can detect whether the cutting box of the dicing saw is leaking or not.

【技术实现步骤摘要】
划片机漏水检测方法及装置
本专利技术涉及集成电路封装设备制造领域，特别涉及一种划片机漏水检测方法及装置。
技术介绍
划片机是集成电路生产线上将晶圆或硅片分割成独立单元的设备，在对晶圆或硅片进行分割的过程中需要用到水和气，如果在分割过程中出现漏水现象，不仅会造成设备导轨丝杠生锈、变形，还会造成电气线路短路毁坏设备，更严重的还有可能使人触电。目前，划片机还没有简便可靠的漏水检测方法与装置。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种划片机漏水检测方法及装置，能够检测划片机的划切箱是否漏水。为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供技术方案如下：一方面，提供一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。进一步地，所述漏水检测电路包括：PNP三极管和NPN三极管；其中，所述PNP三极管的发射极通过第一电阻与高电位连接，所述PNP三极管的发射极与第一漏水检测线连接，所述PNP三极管的集电极通过第五电阻接地；所述PNP三极管的基极通过第二电阻与所述NPN三极管的集电极连接，所述NPN三极管的发射极接地，所述NPN三极管的基极通过第四电阻接地，同时所述NPN三极管的基极通过第三电阻与第二漏水检测线连接，所述NPN三极管的集电极为所述漏水检测电路的输出端。进一步地，还包括：发光二极管，所述发光二极管的阴极与所述PNP三极管的集电极连接，所述发光二极管的阳极与第五电阻连接，所述第五电阻的另一端接地。进一步地，所述PNP三极管为三极管8550。进一步地，所述NPN三极管为三极管9014。进一步地，所述处理器与所述NPN三极管的集电极连接。进一步地，所述处理器具体用于将所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位进行比较，在所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位不同时，判断划片机漏水。本专利技术实施例还提供了一种划片机漏水检测方法，应用于如上所述的划片机漏水检测装置，所述漏水检测方法包括：利用所述处理器检测所述漏水检测电路的输出端的输出电位是否发生变化；在所述漏水检测电路的输出端的输出电位发生变化时，判断所述划片机漏水。本专利技术的实施例具有以下有益效果：上述方案中，第一漏水检测线和第二漏水检测线设置在导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕，第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空，漏水检测电路与第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接，在划片机漏水时，漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化，这样与漏水检测电路的输出端连接的处理器能够根据漏水检测电路的输出电位判断划片机是否漏水。附图说明图1为本专利技术实施例划片机漏水检测装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例划片机漏水检测电路的示意图。具体实施方式为使本专利技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。本专利技术的实施例针对现有技术中划片机还没有简便可靠的漏水检测方法与装置的问题，提供一种划片机漏水检测方法及装置，能够检测划片机的划切箱是否漏水。本专利技术实施例提供一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。本专利技术实施例中，第一漏水检测线和第二漏水检测线设置在导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕，第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空，漏水检测电路与第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接，在划片机漏水时，漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化，这样与漏水检测电路的输出端连接的处理器能够根据漏水检测电路的输出电位判断划片机是否漏水。进一步地，所述漏水检测电路包括：PNP三极管和NPN三极管；其中，所述PNP三极管的发射极通过第一电阻与高电位连接，所述PNP三极管的发射极与第一漏水检测线连接，所述PNP三极管的集电极通过第五电阻接地；所述PNP三极管的基极通过第二电阻与所述NPN三极管的集电极连接，所述NPN三极管的发射极接地，所述NPN三极管的基极通过第四电阻接地，同时所述NPN三极管的基极通过第三电阻与第二漏水检测线连接，所述NPN三极管的集电极为所述漏水检测电路的输出端。进一步地，还包括：发光二极管，所述发光二极管的阴极与所述PNP三极管的集电极连接，所述发光二极管的阳极与第五电阻连接，所述第五电阻的另一端接地。进一步地，所述PNP三极管为三极管8550。进一步地，所述NPN三极管为三极管9014。进一步地，所述处理器与所述NPN三极管的集电极连接。进一步地，所述处理器具体用于将所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位进行比较，在所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位不同时，判断划片机漏水。本专利技术实施例还提供了一种划片机漏水检测方法，应用于如上所述的划片机漏水检测装置，所述漏水检测方法包括：利用所述处理器检测所述漏水检测电路的输出端的输出电位是否发生变化；在所述漏水检测电路的输出端的输出电位发生变化时，判断所述划片机漏水。本专利技术实施例中，第一漏水检测线和第二漏水检测线设置在导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕，第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空，漏水检测电路与第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接，在划片机漏水时，漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化，这样与漏水检测电路的输出端连接的处理器能够根据漏水检测电路的输出电位判断划片机是否漏水。下面结合附图对本专利技术的技术方案进行详细介绍：图1为本实施例划片机漏水检测装置的结构示意图，其中导轨3和导轨4设置在导轨安装基座5上，检测线1和检测线2设置在导轨安装基座5上，并行缠绕，彼此之间相互绝缘。如图2所示，本实施例的漏水检测电路包括PNP型三极管8550、NPN型三极管9014、发光二极管、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4和第五电阻R5。其中，PNP三极管的发射极通过R1与高电位VCC连接，PNP三极管的发射极E与检测线1连接，PNP三极管的集电极C与发光二极管的阴极连接，发光二极管的阳极通过R5接地；PNP三极管的基极b通过R2与NPN三极管的集电极C连接，NPN三极管的发射极E接地，NPN三极管的基极b通过R4接地，同时NPN三极管的基极b通过R3与检测线2连接，NPN三极管的集电极b为漏水检测电路的输出端。本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，其特征在于，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。

【技术特征摘要】
1.一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，其特征在于，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。2.根据权利要求1所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，所述漏水检测电路包括：PNP三极管和NPN三极管；其中，所述PNP三极管的发射极通过第一电阻与高电位连接，所述PNP三极管的发射极与第一漏水检测线连接，所述PNP三极管的集电极通过第五电阻接地；所述PNP三极管的基极通过第二电阻与所述NPN三极管的集电极连接，所述NPN三极管的发射极接地，所述NPN三极管的基极通过第四电阻接地，同时所述NPN三极管的基极通过第三电阻与第二漏水检测线连接，所述NPN...

【专利技术属性】
技术研发人员：王兵锋，季峥，孟庆嵩，李战伟，周建生，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11