【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵系统中的泵送方法以及真空泵系统
本专利技术涉及一种能够降低电能消耗以及在泵送系统内的流率和最终真空方面提高性能的泵送方法,在该泵送系统中主要泵是润滑式回转叶片真空泵。本专利技术还涉及一种可以用来实现根据本专利技术的方法的真空泵系统。
技术介绍
在业界,提高真空泵的性能、降低安装成本和能量消耗的总体趋势已经在性能、能量节约、体积大小、驱动装置等方面带来显著的发展。现有技术显示,为了改善最终真空以及降低能量消耗,补充级必须被添加在多级罗茨型或多级爪型的真空泵内。对于螺旋真空泵而言,必须有额外的螺旋匝数和/或必须提高内部压缩比。对于润滑式回转叶片真空泵而言,典型地还必须串联地添加一个或多个补充级,以提高内部压缩比。关于旨在改善最终真空和提高流率的真空泵系统的现有技术显示,罗茨型增压泵被布置在主要润滑式回转叶片真空泵的上游。此类型的系统体积大、用存在可靠性问题的旁通阀来操作或通过采用测量、控制、调整或伺服控制的手段来操作。然而,这些控制、调整或伺服控制手段必须以主动方式来控制,这必然造成该系统的部件数目、复杂度以及成本的增加。
技术实现思路
本专利技术具有的一个目的是提出一种真空泵系统中的泵送方法,能够降低将一个室置于真空下且将该室保持在真空下所必需的电能,以及可以降低出口气体的温度。本专利技术还具有的一个目的是提出一种真空泵系统中的泵送方法,在真空室的泵送期间,与在单个润滑式回转叶片真空泵的帮助下所获得的流率相比,该泵送方法能够在低压下获得更高的流率。本专利技术还具有的一个目的是提出一种真空泵系统中的泵送方法,在真空室的泵送期间,与在单个润滑式回转叶片真空泵的 ...
【技术保护点】
真空泵系统(SP,SPP)中的泵送方法,包括:‑一个主要润滑式回转叶片真空泵(3),该主要润滑式回转叶片真空泵(3)具有一个气体入口端口(2)和一个气体出口端口(4),该气体入口端口连接至一个真空室(1),该气体出口端口在通向一个导管(5)内之后进入该真空泵系统(SP,SPP)的气体出口(8)内;‑一个单向阀(6),被定位在该导管(5)内且在该气体出口端口(4)和该气体出口(8)之间;以及‑一个辅助润滑式回转叶片真空泵(7),与该单向阀(6)并联地连接,该方法的特征在于:该主要润滑式回转叶片真空泵(3)被激活,以将容纳在该真空室(1)内的气体泵送通过该气体出口端口(4);同时该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)被激活;且在该主要润滑式回转叶片真空泵(3)泵送容纳在该真空室(1)内的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑式回转叶片真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定的压力的整个时间期间,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)持续地操作。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.真空泵系统(SP,SPP)中的泵送方法,包括:-一个主要润滑式回转叶片真空泵(3),该主要润滑式回转叶片真空泵(3)具有一个气体入口端口(2)和一个气体出口端口(4),该气体入口端口连接至一个真空室(1),该气体出口端口在通向一个导管(5)内之后进入该真空泵系统(SP,SPP)的气体出口(8)内;-一个单向阀(6),被定位在该导管(5)内且在该气体出口端口(4)和该气体出口(8)之间;以及-一个辅助润滑式回转叶片真空泵(7),与该单向阀(6)并联地连接,该方法的特征在于:该主要润滑式回转叶片真空泵(3)被激活,以将容纳在该真空室(1)内的气体泵送通过该气体出口端口(4);同时该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)被激活;且在该主要润滑式回转叶片真空泵(3)泵送容纳在该真空室(1)内的气体的整个时间期间和/或在该主要润滑式回转叶片真空泵(3)将该真空室(1)维持在一个预定的压力的整个时间期间,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)持续地操作。2.根据权利要求1所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)的出口重新接合在该单向阀(6)之后的该气体出口(8)。3.根据权利要求1或2所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)被设定尺寸,以便该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)的马达具有最小能量消耗。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)的标称流率被选择作为该主要润滑式回转叶片真空泵(3)的出口导管(5)的、通过该单向阀(6)所限制的容积的函数。5.根据权利要求4所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵的流率是该主要润滑式回转叶片真空泵(3)的标称流率的1/500至1/5。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)是单级式的或多级式的。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的泵送方法,其特征在于,当该主要润滑式回转叶片真空泵(3)的抽吸端处的压力在500mbar绝对值和最终真空之间时,该单向阀(6)关闭。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)将气体排放至该主要润滑式回转叶片真空泵(3)的油分离器内。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的泵送方法,其特征在于,该辅助润滑式回转叶片真空泵(7)被...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·穆勒,J·E·拉切尔,T·伊尔切夫,
申请(专利权)人:阿特利耶博世股份有限公司,
类型:发明
国别省市:瑞士,CH
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