射频源高密度低能离子束生物改性设备制造技术

本发明专利技术提供一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括石英罩以及置于石英罩外侧的射频线圈，该石英罩与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于石英罩的外侧，所述射频线圈在石英罩内产生射频等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。本发明专利技术射频离子源没有阴极，不会产生阴极蒸发，不会产生二次电子发射，不会污染等离子体，可以形成非常纯净的离子束。

Radio frequency source high density low energy ion beam biological modification equipment

The invention provides a radio frequency source with high density of low energy ion beam modification equipment, including the ion source cavity and cavity inlet end placed on the laboratory and placed in the experimental chamber for placing a sample of the carrier, the ion source comprises a quartz cover and RF coil in the quartz outer cover, between the quartz cover and experiment the cavity connected by the extraction system, the extraction system includes a magnet coil, and an electronic cavity cavity leads to extremely, the electronic cavity and the experimental chamber, the outer magnet coil in the quartz cover, the RF coil RF plasma in the quartz cover, it accelerated the extraction system, carrying on on the stage of sample modification. The radio frequency ion source of the invention has no cathode, can not generate cathode evaporation, can not generate the two electron emission, can not pollute the plasma, and can form a very pure ion beam.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及离子束生物工程
，具体涉及一种射频源高密度低能离子束生物改性设备。
技术介绍
研究发现农作物组织内部存在着不同层次的、杂乱无序的孔洞、空腔。离子注入一方面对生物体表面产生溅射刻蚀作用,另一方面使得这些孔洞和空腔被连通,形成渐深的通道,使后续的离子可以深入到遗传物质上,从而引起损伤、变异等生物效应,能量为几十至几百kev的荷能离子注入生物体后可以使质量、能量和电荷共同作用于生物体,比其它电离辐射的作用更为丰富和复杂。离子束生物学的研究方向主要包括诱变育种、离子束介导转基因、低能离子与生命起源、环境辐射与人类健康等。随着生物技术的兴起，离子束生物工程必将得到更深入广泛的发展与应用。目前的单离子束装置都是采用钨丝作为离子源初始电子发射材料，电子轰击工作气体（如氮气，氢气，氩气等）产生电子崩效应，经高压产生等离子体，经过轴向磁场和电位阱后电子被捕获，离子从引出通道射出形成离子束。此种装置的离子束密度低，且钨丝易中毒，稳定性差，易蒸发和烧坏。离子源的维护成本很高，目前缺乏一种长脉冲高参数运行的低能离子束生物改性设备。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，采用射频微波作为等离子体起弧方式，无阴极中毒现象，不会发生阴极蒸发或烧坏，维护费用低，可长时间稳定运行，具体技术方案如下：一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括石英罩以及置于石英罩外侧的射频线圈，该石英罩与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于石英罩的外侧，所述射频线圈在石英罩内产生射频等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。所述磁体线圈和引出极分别连接有磁体线圈电源和引出极电源，所述引出极还连接有辅助极电源。所述载物台为可旋转的基座。由以上技术方案可知，本专利技术射频离子源没有阴极，不会产生阴极蒸发，不会产生二次电子发射，不会污染等离子体，可以形成非常纯净的离子束；解决了阴极中毒现象，稳定性非常高，可以长脉冲连续运行；避免因阴极蒸发而引起阴极损坏，维护简单，维护成本低。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。具体实施方式如图1所示，离子束生物改性设备包括实验腔1以及置于实验腔进气端外的离子源2和置于实验腔内用于放置样品的载物台3。所述离子源2包括石英罩21以及置于石英罩外侧的射频线圈22，射频线圈连接射频电源23，能够产生13.56MHz的射频波，作为等离子体的起弧方式。所述石英罩21与实验腔1之间通过引出系统4连接，该引出系统包括磁体线圈41、电子腔42以及置于电子腔内的引出极43，该电子腔与实验腔1连通，所述磁体线圈41置于石英罩21的外侧，所述磁体线圈和引出极分别连接有磁体线圈电源44和引出极电源45，引出极还连接有辅助极电源46。引出系统形成一个电子阱，可以捕获电子，而让离子通过并获得加速。所述的射频源高密度低能离子束生物改性设备，在石英罩中产生射频等离子体，经过引出系统后捕获电子，离子获得加速并射向实验腔。在实验腔中，离子束正下方布置有载物台，需要改性的生物种子等置于载物台上，经过离子束的照射后产生改性效应。为保证离子束照射均匀性，载物台3采用旋转结构。实验腔的抽气系统可以为扩散泵，或分子泵机组。使用真空获得系统从抽气口对整套系统抽真空。达到设定真空度后打开进气阀门通入工作气体，至气压0.1Pa~10Pa之间。开启磁体线圈电源，设定磁场。开启射频电源，此时会产生等离子体。开启引出极电源后即可产生离子束，此时开启载物台旋转系统，开始生物改性。以上所述实施方式仅仅是对本专利技术的优选实施方式进行描述，并非对本专利技术的范围进行限定，在不脱离本专利技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本专利技术的技术方案作出的各种变形和改进，应落入本专利技术的权利要求书确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，其特征在于，所述离子源包括石英罩以及置于石英罩外侧的射频线圈，该石英罩与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于石英罩的外侧，所述射频线圈在石英罩内产生射频等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。

【技术特征摘要】
1.一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，其特征在于，所述离子源包括石英罩以及置于石英罩外侧的射频线圈，该石英罩与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于石英罩的外侧，所述射频线圈在石英罩内产生射频等离子体，经过...

【专利技术属性】
技术研发人员：滕海燕，
申请(专利权)人：合肥优亿科机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34