柔性显示器件制造技术

本实用新型专利技术提供一种柔性显示器件，包括柔性基板，在柔性基板上设置有显示器件，在柔性基板背离显示器件的表面设置有有机硅氧烷层，在有机硅氧烷层上设置有二氧化硅层。本实用新型专利技术提供的柔性显示器件，其不仅工艺简单、成本较低，而且还可以增加柔性基板阻隔水氧的效果、强度及热稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种柔性显示器件。
技术介绍
随着技术发展，柔性显示装置在近几年获得了越来越广泛的关注和应用。在柔性显示基板的制备过程中，为了保证各膜层的精确对位和平坦度，通常需要一个具有一定机械强度且平整的支撑基底，将柔性基板粘合在该支撑基底上，再在柔性基板上形成TFT器件的各个膜层，制作形成柔性显示基板，最后将该柔性显示基板从支撑基底上剥离下来。但是，在柔性显示基板的剥离过程中，柔性基板往往会产生轻微的变形，致使出现电子元件线路错位、良品率降低等不良影响，从而造成柔性显示装置的成本增加。例如，在目前现有的技术中，通常是使用激光技术从而支撑基底的一侧或者底部进行柔性显示基板的剥离。但是，由于柔性显示基板中的各膜层较薄，或者激光能量较高等因素，显示元件容易在剥离过程中被损坏，从而造成柔性显示装置的成本增加。现有技术还通过对柔性基板进行改性，例如采用离子注入法将离子注入到柔性基板的表面，以降低柔性基板的热膨胀系数，从而改善柔性显示基板的翘曲问题和图形偏移。但是这又会存在这样的问题：由于需要使用较高的注入能量对柔性基板进行改性，这使得制备柔性显示基板的工艺相对复杂。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种柔性显示器件，其不仅工艺简单、成本较低，而且还可以增加柔性基板阻隔水氧的效果、强度及热稳定性。为实现本技术的目的而提供一种柔性显示器件，包括柔性基板，在所述柔性基板上设置有显示器件，在所述柔性基板背离所述显示器件的表面设置有有机硅氧烷层，在所述有机硅氧烷层上设置有二氧化硅层。优选的，所述二氧化硅层为采用氧化处理的方式在所述有机硅氧烷层上形成的膜层。优选的，所述二氧化硅层为经过固化处理之后的膜层。优选的，所述柔性基板和所述有机硅氧烷层为经过固化处理之后的膜层。优选的，所述显示器件包括TFT器件、有机发光材料层和封装保护层，其中，所述TFT器件设置在所述柔性基板上；所述有机发光材料层设置在所述TFT器件上；所述封装保护层设置在有机发光材料层上。本技术具有以下有益效果：本技术提供的柔性显示器件，其在柔性基板背离显示器件的表面设置有有机硅氧烷层，并在该有机硅氧烷层上设置二氧化硅层，该二氧化硅层可以降低柔性基板和支撑基底之间的结合强度，从而可以更容易地将支撑基底剥离，进而降低柔性显示器件被损坏的风险，提高产品良率。此外，二氧化硅层还具有阻隔水汽的作用，而且还可以增加柔性基板的强度和稳定性。另外，本技术提供的柔性显示器件只需对有机硅氧烷层与支撑基底相接触的表面进行氧化处理，即可达到降低柔性显示器件被损坏的风险，提高产品良率的目的，从而工艺简单、成本较低。附图说明图1为本技术实施例提供的柔性显示器件的剖视图；图2为在柔性基板上制备显示器件之后的柔性显示器件的剖视图；图3为进行氧化处理的过程示意图；图4为一种制备本技术实施例提供的柔性显示器件的流程框图；以及图5为另一种制备本技术实施例提供的柔性显示器件的流程框图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的柔性显示器件进行详细描述。图1为本技术实施例提供的柔性显示器件的剖视图。图2为在柔性基板上制备显示器件之后的柔性显示器件的剖视图。请一并参阅图1和图2，柔性显示器件包括柔性基板3，在该柔性基板3上设置有显示器件，并且，在柔性基板3背离该显示器件的表面设置有有机硅氧烷层2，在该有机硅氧烷层2上设置有二氧化硅层20。借助二氧化硅层20，可以降低柔性基板3和支撑基底1(图1中支撑基底已剥离，未示出)之间的结合强度，在二者之间起到了过渡层的作用，从而可以更容易地将支撑基底1剥离，进而降低柔性显示器件被损坏的风险，提高产品良率。而且，二氧化硅层20还具有阻隔水汽的作用，而且还可以增加柔性基板的强度和稳定性。此外，由上可知，本技术实施例提供的柔性显示器件只需对有机硅氧烷层2与支撑基底1相接触的表面进行氧化处理，以形成上述二氧化硅层20，即可达到降低柔性显示器件被损坏的风险，提高产品良率的目的，从而工艺简单、成本较低。在本实施例中，显示器件包括TFT器件4、有机发光材料层5和封装保护层6，其中，TFT器件4设置在柔性基板3上；有机发光材料层5设置在TFT器件4上；封装保护层6设置在有机发光材料层5上。当然，在实际应用中，显示器件还可以根据具体需要由其他种类的膜层组成。在实际应用中，有机硅氧烷层2可以采用涂布法或旋涂法制备。该有机硅氧烷层2可以包括聚二甲基硅氧烷(PDMS，polydimethylsiloxane)，该材料具有良好的电绝缘性和耐高低温性，可在-50～+250℃的温度条件下长期使用；而且，聚二甲基硅氧烷材料还具有压缩率大，表面张力低，憎水防潮性好等的优点。另外，聚二甲基硅氧烷因其具有表面张力低的性质，可以在为流体之后极易形成平滑、均匀的涂层。在实际应用中，可以根据不同的需求，对聚二甲基硅氧烷进行适当的改性。优选的，二氧化硅层20为采用氧化处理的方式在有机硅氧烷层2上形成的膜层。该氧化处理方式是对有机硅氧烷层2与支撑基底1相接触的表面进行氧化处理，以在有机硅氧烷层2与支撑基底之间形成二氧化硅层20。具体地，图3为进行氧化处理的过程示意图。如图3所示，进行氧化处理的方式为：透过支撑基底1朝向有机硅氧烷层2与支撑基底1相接触的表面(图3中有机硅氧烷层2的下表面)照射紫外线或臭氧(UV)，紫外线或臭氧的照射方向如图3中的箭头所示。在完成上述氧化处理之后，在有机硅氧烷层2与支撑基底1之间形成二氧化硅层20。然后，将支撑基底1自二氧化硅层20剥离，最终形成如图1所示的柔性显示器件。在本实施例中，采用透明材料制作支撑基底1，例如玻璃，以在进行氧化处理时，紫外线或臭氧可以透过支撑基底1朝向有机硅氧烷层2与支撑基底1相接触的表面。在实际应用中，柔性基板3包括诸如聚酰亚胺或者聚萘二甲酸乙二醇酯等的聚合物基板。图4为一种制备本技术实施例提供的柔性显示器件的流程框图。请参阅图4，上述柔性显示器件的制备方法包括以下步骤：S1，在支撑基底上制备有机硅氧烷层；S2，在有机硅氧烷层上制备柔性基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示器件，包括柔性基板，在所述柔性基板上设置有显示器件，其特征在于，在所述柔性基板背离所述显示器件的表面设置有有机硅氧烷层，在所述有机硅氧烷层上设置有二氧化硅层。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示器件，包括柔性基板，在所述柔性基板上设置
有显示器件，其特征在于，在所述柔性基板背离所述显示器件的表面
设置有有机硅氧烷层，在所述有机硅氧烷层上设置有二氧化硅层。
2.根据权利要求1所述的柔性显示器件，其特征在于，所述二
氧化硅层为采用氧化处理的方式在所述有机硅氧烷层上形成的膜层。
3.根据权利要求1所述的柔性显示器件，其特征在于，所述二
氧化硅层为经过固化...

【专利技术属性】
技术研发人员：程磊磊，丁远奎，王东方，赵策，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11