【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过微波电力产生等离子体而对晶片等被处理基板实施使用等离子体的CVD(chemicalvapordeposition,化学气相沉积)(化学气相合成)、蚀刻、灰化(抗蚀剂灰化处理)、等离子体氮化等处理的微波等离子体处理装置。
技术介绍
近年来,在材料开发或生产技术等的多个领域中等离子体处理技术成为不可缺少的技术。由于等离子体具有较高的非热平衡性,并且可产生高密度的自由基,所以在低温干式制程技术中被广泛使用。另外,以往作为中间气压(1托~100托)至大气压间的压力下的等离子体源之一而利用等离子体射流。等离子体射流由于从装置的喷嘴喷出等离子体,所以为对晶片等被处理基板实施使用等离子体的CVD(化学气相合成)、蚀刻、灰化(抗蚀剂灰化处理)、等离子体氮化等处理的有用者。目前,为了产生等离子体射流,众所周知的有使用直流电弧放电或直流脉冲放电的方法。然而,使用直流电弧放电或直流脉冲放电的方法具有电极容易劣化及无法使用反应性气体等各种问题。另外,众所周知有使用介电质阻挡放电的方法。然而,在使用介电质阻挡放电的方法中,具有产生丝状的放电及无法产生高密度的自由基等各种问题。另外,也已知有无电极方式的等离子体射流产生装置。例如,提出有使用VHF频带(30-300MHz)的高频的感应耦合式热等离子体产生装置(参照专利文献1)。然而,所提出的等离子体射流产生装置由于阻抗匹配复杂、及因构造上 ...
【技术保护点】
一种微波等离子体处理装置,其特征在于具备:介电质基板;锥形部,设置在所述介电质基板的一端部,且为该介电质基板的厚度慢慢变小的形状;微波传输带线路,从所述介电质基板的正面与背面中的任一面即第1面的一端部横跨至另一端部而设置;接地导体,从所述介电质基板的所述第1面的相反侧的面即第2面的一端部横跨至另一端部而设置;微波输入部,用以在所述介电质基板的一端部将微波输入至所述微波传输带线路与所述接地导体之间;气体输入口,用以将气体输入至所述介电质基板内;等离子体产生部,为用以通过从所述微波输入部输入的微波来产生等离子体的空间,且为所述锥形部的设置在所述介电质基板内的空间;气流宽幅化部,用以对所述等离子体产生部供给具有均匀流速的宽幅的气流而设置在所述介电质基板内部,且以随着气流前进而气流宽度变宽的方式形成;气体流路,用以将从所述气体输入口输入的气体供给至所述气流宽幅化部;以及喷嘴,用以喷出通过供给至所述等离子体产生部的气体与微波而产生的等离子体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.08.30 JP 2013-1792861.一种微波等离子体处理装置,其特征在于具备:
介电质基板;
锥形部,设置在所述介电质基板的一端部,且为该介电质基板的厚度慢慢变小的形状;
微波传输带线路,从所述介电质基板的正面与背面中的任一面即第1面的一端部横跨至另一端部而设置;
接地导体,从所述介电质基板的所述第1面的相反侧的面即第2面的一端部横跨至另一端部而设置;
微波输入部,用以在所述介电质基板的一端部将微波输入至所述微波传输带线路与所述接地导体之间;
气体输入口,用以将气体输入至所述介电质基板内;
等离子体产生部,为用以通过从所述微波输入部输入的微波来产生等离子体的空间,且为所述锥形部的设置在所述介电质基板内的空间;
气流宽幅化部,用以对所述等离子体产生部供给具有均匀流速的宽幅的气流而设置在所述介电质基板内部,且以随着气流前进而气流宽度变宽的方式形成;
气体流路,用以将从所述气体输入口输入的气体供给至所述气流宽幅化部;以及
喷嘴,用以喷出通过供给至所述等离子体产生部的气体与微波而产生的等离子体。
2.一种微波等离子体处理装置,其特征在于具备:
介电质基板;
锥形部,设置在所述介电质基板的一端部,且为该介电质基板的厚度慢慢变小的形状;
微波传输带线路,从所述介电质基板的正面与背面中的任一面即第1面的一端部横跨至另一端部而设置;
接地导体,从所述介电质基板的所述第1面的相反侧的面即第2面的一端部横跨至另一端部而设置;
微波输入部,用以在所述介电质基板的一端部将微波输入至所述微波传输带线路与所述接地导体之间;
微波集中间隙,为在所述锥形部中夹在所述接地导体的端部与所述微波传输带线路的端部之间的空间,且形成在所述介电质基板的所述第2面;
气体供给板,与所述接地导体接触,且具有气流宽幅化部,所述气流宽幅化部是用以对所述微波集中间隙供给均...
【专利技术属性】
技术研发人员:金载浩,神田创,
申请(专利权)人:独立行政法人产业技术综合研究所,
类型:发明
国别省市:日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。