一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。本发明专利技术通过在Mo/Ti靶材镀镍的方式，得到了一种镀镍靶材。本发明专利技术在镀镍前，将靶材进行喷砂处理，同时，以硝酸、氢氟酸与水的混合溶液作为Mo/Ti靶材表面的活化剂对靶材活化处理，保证了Mo/Ti靶材表面镀镍层的可镀性与镀镍厚度，进而通过镀镍层与焊料很好的润湿、结合，从而实现了Mo/Ti靶材与背板良好的结合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于集成电路镀膜溅射靶材
，具体涉及一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法。
技术介绍
Mo/Ti材料被广泛应用于集成电路镀膜行业，市场前景广阔。而目前国内对此材料的开发应用尚处在初级阶段，还未能形成产能。另一方面，作为此种材料最为重要的合成材料—钼的全球最大存储与生产国，我国在这一领域的开发具有很大的潜力。Mo/Ti材料用于溅射镀膜前需与其它材料的背板(BP)进行焊接，焊接的结合率与结合强度直接影响其成品的使用。但是Mo/Ti材料与现今流行的各种焊料(In、SnAgCu、Sn等)均没有很好的结合性能，从而限制了Mo/Ti材料在集成电路镀膜领域的进一步发展。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术要解决的技术问题在于提供一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，采用本专利技术提供的方法得到的镀镍靶材可以与背板实现良好的结合。本专利技术提供了一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。优选的，所述活化剂中硝酸、氢氟酸与水的体积比为：(3±0.5)：(1±0.5)：(4±0.5)。优选的，所述喷砂处理的喷料选自12～80号白刚玉。优选的，所述喷砂处理的喷砂机空气压力为0.30～0.35Mpa。优选的，所述喷砂处理的喷砂枪的喷嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距离范围为10cm～15cm。优选的，所述喷砂处理的喷砂枪喷出喷料的方向与靶材的待焊接面的夹角为0°～180°，且不为0°、90°以及180°。优选的，所述活化处理的时间为55～65s。优选的，所述镀镍液选自中磷化学镀镍液。优选的，所述镀镍的温度为86～90℃，镀镍的时间为25～30min，镀镍的pH值为4.6～4.8。优选的，所述Mo/Ti靶材的施镀面积与镀镍液体积比为0.5～1.5dm2/L。与现有技术相比，本专利技术提供了一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。本专利技术通过在Mo/Ti靶材镀镍的方式，得到了一种镀镍靶材。本专利技术在镀镍前，将靶材进行喷砂处理，同时，以硝酸、氢氟酸与水的混合溶液作为Mo/Ti靶材表面的活化剂对靶材活化处理，保证了Mo/Ti靶材表面镀镍层的可镀性与镀镍厚度，进而通过镀镍层与焊料很好的润湿、结合，从而实现了Mo/Ti靶材与背板良好的结合。结果表明，镀镍Mo/Ti靶材的制备方法得到的镀镍Mo/Ti靶材的厚度≥8.9μm，与背板可以实现良好的焊接。附图说明图1为本专利技术提供的镀镍Mo/Ti靶材与背板结合的工艺流程图。具体实施方式本专利技术提供了一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。本专利技术首先将Mo/Ti靶材的待镀表面进行喷砂处理，得到表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材。由于Mo/Ti靶材的硬度较大，本专利技术优选采用白刚玉作为喷砂处理的喷料。所述白刚玉以工业氧化铝粉为原料，于电弧中经2000度以上高温熔炼后冷却制成，经粉碎整形，磁选去铁，筛分成多种粒度，其质地致密、硬度高，粒形成尖角状，适用于喷砂、抛光、研磨、制造陶瓷、树脂固结磨具以及喷涂材料、化工触媒载体等，对铁质污染有严格要求的场合使用，还可用于制造高级耐火材料，代号“WA”用于国际通用标准、产品粒度按国际标准以及各国标准生产，可按用户要求粒度进行加工。通用粒度号为4～220号，其化学成份视粒度大小而不同。突出的特点是晶体尺寸小、耐冲击。在本专利技术中，优选采用12～80号白刚玉砂型，在本专利技术的一些具体实施方式中，所述喷料选用46号白刚玉。选定喷料后，将所述喷料置于喷砂机内，调整喷砂机的压力范围、喷砂枪的喷嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的距离以及喷砂枪喷出喷料的方向与靶材的待焊接面的夹角，开启喷砂机，即可对Mo/Ti靶材的待镀表面进行喷砂处理。在本专利技术中，所述喷砂机空气压力范围控制在0.30MPa～0.35MPa，空气压力不能过高，这是因为Mo/Ti质脆，若大于0.35MPa，则喷砂的动力太大，使Mo/Ti靶材的棱线处出现崩角现象，影响产品外观及完整性。如果空气压力小于0.30MPa，则喷砂的动力不足，使靶材的待焊接面坑的平均深度太小，影响后续的金属镀层与靶材的待焊接面的结合力。在本专利技术的一些具体实施方式中，所述空气压力为0.3MPa，在本专利技术的另一些具体实施方式中，所述空气压力为0.35MPa。本专利技术所述喷砂处理的喷砂枪的喷嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距离范围为10cm～15cm。在本专利技术的一些具体实施方式中，所述喷砂枪的喷嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距离为15cm，在本专利技术的另一些具体实施方式中，所述喷砂枪的喷嘴到Mo/Ti靶材的待焊接面的垂直距离为10cm。本专利技术所述喷砂枪喷出喷料的方向与靶材的待焊接面的夹角为0°～180°，且不为0°、90°以及180°，优选为30°～60°。在本专利技术的一些具体实施方式中，所述喷砂枪喷出喷料的方向与靶材的待焊接面的夹角为45°，在本专利技术的另一些具体实施方式中，所述喷砂枪喷出喷料的方向与靶材的待焊接面的夹角为60°。喷砂工艺结束后，在Mo/Ti靶材的待焊接面形成平均深度为6μm～10μm的粗糙层。在本专利技术中，在喷砂工艺结束之后，优选对Mo/Ti靶材的全部表面或者是待焊接面进行高压水枪清洗干净，然后用去离子水或者纯净水进行清洗，清洗时间为1min～2min，这么做的目的是为了防止待焊接面坑内存有粉末状附着层，影响后续镀镍及焊接效果。将喷砂后的Mo/Ti靶材清洗干净后，还需要对所述Mo/Ti靶材进行活化处理，对Mo/Ti靶材的待焊接面进行活化处理其目的是为了增大Mo/Ti靶材的待焊接面的活化能，使Mo/Ti靶材的待焊接面的反应活性增强，增加Mo/Ti靶材的待焊接面的化学镀金属层的速度，避免金属镀层与Mo/Ti靶材的待焊接面无法结合，或结合不牢的问题。在本专利技术中，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。其中，所述活化剂中硝酸、氢氟酸与水的体积比优选为：(3±0.5)：(1±0.5)：(4±0.5)。在本专利技术的一些具体实施方式中，所述硝酸、氢氟酸与水的体积比为3:1:4。所述活化处理的时间为55～65s，在本专利技术的一些具体实施方式中，所述活化处理的时间为60s，在本专利技术的另一些具体实施方式中，所述活化的时间为65s。活化处理结束后，将所述Mo/Ti靶材置于镀镍液中镀镍。本专利技术所述镀镍液优选中磷化学镀镍液。本专利技术对所述中磷化学镀镍液的来源并没有特殊限制，一般市售即可。在本专利技术的一些具体实施方式中，所述中磷化学镀镍液优选型号为SYC300A、SYC300B和SYC300C中的一种或多种，在本专利技术的另一些具体实施方式中，所述中磷化学镀镍液为型号为SYC300A、SYC300B和SYC300C的中磷化学镀镍液的混合液，在所述混合液中，S本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。

【技术特征摘要】
1.一种镀镍Mo/Ti靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将表面经过喷砂处理的Mo/Ti靶材进行活化处理后，置于镀镍液中镀镍，得到镀镍Mo/Ti靶材，所述活化剂为硝酸、氢氟酸与水的混合溶液。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述活化剂中硝酸、氢氟酸与水的体积比为：(3±0.5)：(1±0.5)：(4±0.5)。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理的喷料选自12～80号白刚玉。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理的喷砂机空气压力为0.30～0.35Mpa。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理的喷砂枪的喷嘴到Mo/Ti靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，大岩一彦，王学泽，段高林，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33