轻型硅板舟制造技术

轻型硅板舟。提供了一种结构简单，提高强度和可靠性的轻型硅板舟。包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；所述板状舟体上设有开孔机构，所述开孔机构位于限位单元内。本实用新型专利技术在确保板状舟体自身材质及机械强度的前提下，降低板状舟体的实际质量，为提高设备产能提供实际可行性，并提高高温炉管的使用寿命。本实用新型专利技术在限位单元内设置开孔机构，可通过设置通孔、穿孔或细孔，保证了板状舟体的强度，提高了生产效率和使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造装置，尤其涉及轻型硅板舟。
技术介绍
扩散工艺是晶体硅太阳能电池生产过程中的一道关键工序，其需要使用一种硅片承载装置用于装载硅片，然后再将装有硅片的硅片承载装置送入扩散炉内进行集中扩散。目前，生产过程中使用的扩散板舟，由于机械强度的需求，主要材质为碳化硅，如图4所示，现有技术中，板状舟体上用于放置硅片，但同时由于碳化硅材质密度的局限，板舟质量限制了高温炉管在生产时的整体产量，并影响了炉管尤其是石英炉管的使用寿命。
技术实现思路
本技术针对以上问题，提供了一种结构简单，提高强度和可靠性的轻型硅板舟。本技术的技术方案是：包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；所述板状舟体上设有开孔机构，所述开孔机构位于限位单元内。所述开孔机构为通孔，所述通孔与硅片的中心线一致，所述通孔的孔径为硅片直径的1/2-9/10。所述开孔机构为若干均布设置的细孔，所述细孔的孔径为硅片直径的1/10-3/10。所述开孔机构为若干平行设置的穿孔，所述穿孔的轴线垂直于插棒的中心线。本技术在确保板状舟体自身材质及机械强度的前提下，降低板状舟体的实际质量，为提高设备产能提供实际可行性，并提高高温炉管的使用寿命。本技术在限位单元内设置开孔机构，可通过设置通孔、穿孔或细孔，保证了板状舟体的强度，提高了生产效率和使用寿命。附图说明图1是本技术中实施例一的结构示意图，图2是本技术中实施例二的结构示意图，图3是本技术中实施例三的结构示意图，图4是现有技术的结构示意图；图中1是板状舟体，2是硅片，3是插孔，4是限位单元，5是通孔，6是细孔，7是穿孔。具体实施方式本技术如图1-3所示，包括设有插孔3的板状舟体1和用于固定硅片2的插棒，四只插棒为一组构成限位单元4，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；所述板状舟体1上设有开孔机构，所述开孔机构位于限位单元内。如图1所示，所述开孔机构为通孔5，所述通孔与硅片的中心线一致，所述通孔的孔径为硅片直径的1/2-9/10，提高了板状舟体的强度，提高了气体的流动性，使得扩散更均匀。如图2所示，所述开孔机构为若干均布设置的细孔6，所述细孔的孔径为硅片直径的1/10-3/10，提高了板状舟体的强度，提高了气体的流动性，使得扩散更均匀。如图3所示，所述开孔机构为若干平行设置的穿孔7，所述穿孔的轴线垂直于插棒的中心线，提高了板状舟体的强度，提高了气体的流动性，使得扩散更均匀。本文档来自技高网...

【技术保护点】
轻型硅板舟，包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；其特征在于，所述板状舟体上设有开孔机构，所述开孔机构位于限位单元内；所述开孔机构为若干平行设置的穿孔，所述穿孔的轴线垂直于插棒的中心线。

【技术特征摘要】
1.轻型硅板舟，包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，李运金，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32