【技术实现步骤摘要】
201610425138
【技术保护点】
一种投影物镜柔性调平装置,其特征在于:包括物镜托架板(3)、安装板(4)、柔性块(6)和调平机构,所述物镜托架板(3)上安装有物镜(1),所述柔性块(6)的上层与物镜托架板(3)下底面平行设置,所述柔性块(6)的下层与安装板(4)的上表面平行设置;所述柔性块(6)通过调平机构调节实现物镜托架板(3)在X和Y轴方向微位移,实现物镜(1)在X和Y轴方向上的调平。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:程刚,张慧珍,山显雷,
申请(专利权)人:安徽德衍智控科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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