图像处理方法、图像处理装置、图像处理程序及存储有图像处理程序的存储介质制造方法及图纸

观察系统(1A)中的图像处理方法包括：第1步骤，其获取以半导体设备(S)为对象而测定的测定图像(G1)、及对应于测定图像(G1)的表示半导体设备(S)的图案的第1图案图像(G2)；第2步骤，其获取表示半导体设备(S)的图案的第2图案图像(G3)；第3步骤，其基于第1图案图像(G2)与第2图案图像(G3)，获取表示第1图案图像(G2)与第2图案图像(G3)的相对关系的匹配信息；及第4步骤，其通过基于匹配信息使第2图案图像(G3)与测定图像(G1)重叠而获取重叠图像(G4)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480070586

【技术保护点】
一种图像处理方法，其特征在于，包括：第1步骤，其获取以半导体设备为对象而测定的测定图像、及对应于所述测定图像的表示所述半导体设备的图案的第1图案图像；第2步骤，其获取表示所述半导体设备的图案的第2图案图像；第3步骤，其基于所述第1图案图像与所述第2图案图像，获取表示所述第1图案图像与所述第2图案图像的相对关系的匹配信息；及第4步骤，其通过基于所述匹配信息使所述第2图案图像与所述测定图像重叠而获取重叠图像。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀田和宏，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP