直流电源装置以及直流电源装置的控制方法制造方法及图纸

通过使重新启动时的脉冲控制信号的相位与停止时的脉冲控制信号的相同一致，抑制重新启动时的逆变器的各相的输出电压变动以及向负载的供给电压的变动。在将直流电力供给给等离子体发生装置时，当在等离子体发生装置中发生了电弧放电时，停止直流电力的供给来降低电极或基板的损伤，并且，在电弧放电消弧时，重新开始直流电力的供给。在直流输出的停止/重新开始中，在停止时保持流过斩波部的电流来作为循环电流，在重新启动逆变器部时，通过将该循环电流供给给负载，来降低直流输出重新开始时的向负载的直流电力的供给延迟。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种直流电源装置，其具备：电源斩波部，其构成直流源；多相逆变器部，其通过多个开关元件的动作将所述电源斩波部的直流输出变换成多相交流电力；整流部，其对所述多相逆变器部的输出进行交直变换，将得到的直流供给给负载；以及控制部，其对所述电源斩波部以及所述多相逆变器部进行控制，所述直流电源装置的特征在于，在所述控制部进行直流输出的停止/恢复控制的控制功能中，进行所述停止/恢复控制的控制功能具备以下各控制功能：在直流电源装置的直流输出停止时，将所述电源斩波部的主开关从接通状态切换成断开状态，停止构成所述多相逆变器部的桥接电路的栅极信号的生成，并且使所述桥接电路的正端子与负端子之间短路的停止控制；在直流电源装置的直流输出已停止时，保持所述电源斩波部的主开关的断开状态和所述桥接电路的正端子与负端子之间的短路状态，将所述桥接电路的栅极信号状态保持为停止时的栅极信号状态的停止保持控制；以及在直流电源装置的直流输出恢复时，将所述电源斩波部的主开关从断开状态切换成接通状态，从所述停止时的栅极信号状态重新开始所述桥接电路的栅极信号的生成，根据该栅极信号重新启动所述多相逆变器部的恢复控制。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：让原逸男，安达俊幸，小玉真一，
申请(专利权)人：株式会社京三制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP