【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学检测的相关技术,尤其涉及一种用于光学检测的照明系统及使用该照明系统的检测系统、检测方法。
技术介绍
光源系统在自动光学检测(AOI)上扮演着举足轻重的角色。举例来说,在液晶显示器、半导体集成电路的芯片以及相关电路的制造过程中皆须经过精密的自动光学检测。针对电路基板上导线缺陷状况的检测是自动光学检测上的一个环节,传统上的检测方法是使检测光线对待测物进行正向照射,由于导线一般采用金属材料(例如:铜材料),因此具有高反射能力,通过正向方向有无该照射光的反射光来判断导线是否有发生断裂或断开等的缺陷。然而此种方法往往在金属导线上沾有灰尘或其他附着物,因该附着物会对正向入射的照射光产生散射的现象,使得该附着物底下的金属导线无法将正向入射的照射光反射回去,进而造成沾有该附着物的导线具有缺陷的误判情况,也造成后续进一步检测时的处理成本。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于通过照明系统的特殊配置来快速取得待测物的缺陷状况。本专利技术另一目的在于降低检测系统的误判情况。本专利技术再一目的在于可使检测系统提供可供快速辨别光学影像中的氧化区域及灰尘的影像数据。为达上述目的及其他目的,本专利技术提出一种用于光学检测的照明系统,该系统对一检测区提供照明光线,包含:第一光源组,产生自该检测区上方正向投射至该检测区的第一照明光线;第二光源组,用以产生两道第二照明光线, ...
【技术保护点】
一种用于光学检测的照明系统,对一检测区提供照明光线,包含:第一光源组,产生自该检测区上方正向投射至该检测区的第一照明光线;第二光源组,用以产生两道第二照明光线,该两道第二照明光线分别产生自该检测区上方且斜向投射至该检测区;及第三光源组,用以产生两道第三照明光线,该两道第三照明光线分别产生自该检测区上方斜向投射至该检测区,其特征在于,该第三照明光线入射至该检测区的入射角大于该第二照明光线的入射角,该第三照明光线包含波长短于该第一照明光线及该第二照明光线的波长段。
【技术特征摘要】
2013.07.05 TW 1021242641.一种用于光学检测的照明系统,对一检测区提供照明光线,包含:
第一光源组,产生自该检测区上方正向投射至该检测区的第一照明光
线;
第二光源组,用以产生两道第二照明光线,该两道第二照明光线分别产
生自该检测区上方且斜向投射至该检测区;及
第三光源组,用以产生两道第三照明光线,该两道第三照明光线分别产
生自该检测区上方斜向投射至该检测区,
其特征在于,该第三照明光线入射至该检测区的入射角大于该第二照明
光线的入射角,该第三照明光线包含波长短于该第一照明光线及该第二照明
光线的波长段。
2.如权利要求1所述的照明系统,其特征在于,该第三照明光线为仅
具有蓝光波长段的照明光线。
3.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,该第二光源组的两道
照明光线的光路径相对于该检测区中央是互相对称的,该第三光源组的两道
照明光线的光路径相对于该检测区的中央也是互相对称的。
4.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,该第三照明光线入射
至该检测区的入射角为60度至80度。
5.如权利要求3所述的照明系统,其特征在于,该第一及第二照明光
线为仅具有红光波长段的照明光线。
6.如权利要求3所述的照明系统,其特征在于,该第一至第三光源组
透过LED线性光源或光纤线性光源产生对应的照明光线。
7.如权利要求3所述的照明系统,其特征在于,该第一光源组包含:
第一光源;
第一光学组件,配置在该检测区上方,以将该第一光源的输出光线导向
该检测区;及
第二光学组件,配置在该第一光源的光输出端,以将该第一光源的输出
光线汇聚至该检测区;
该第二光源组包含:
两个第二光源;及
两个第二光学组件,分别配置在第二光源的光输出端,以将各该第二光
源的输出光线汇聚至该检测区;及
该第三光源组包含:
两个第三光源;
两个第三光学组件,分别配置在该第三光源的光输出端,以将各该第三
光源的输出光线汇聚至该检测区;及
两个蓝光波长段滤光组件,配置在该第三光源与该第三光学组件之间,
以将该第三光源的输出光线滤波为仅具有该蓝光波长段的照明光线。
8.如权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪光夏,陈辉毓,
申请(专利权)人:牧德科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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