【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适合作为各种显示器用基板玻璃和光掩模用基板玻璃的。以下,本说明书中,在提及“无碱”的情况下,是指碱金属氧化物(Li20、Na2O, K2O)的含量为2000ppm以下。
技术介绍
以往,对于各种显示器用基板玻璃、特别是在表面上形成金属或氧化物薄膜等的基板玻璃而言,要求以下所示的特性。(I)含有碱金属氧化物时, 碱金属离子会向薄膜中扩散而使膜特性劣化,因此,碱金属氧化物的含量极低,具体而言,碱金属氧化物的含量为2000ppm以下。(2)在薄膜形成工序中暴露于高温时,为了将玻璃的变形和伴随玻璃的结构稳定化产生的收缩(热收缩)抑制在最小限度,应变点要高。(3)要对半导体形成中使用的各种化学品具有充分的化学耐久性。特别是要对用于蚀刻SiOx或SiNx的缓冲氢氟酸(BHF,氢氟酸与氟化铵的混合液)和ITO的蚀刻中使用的含有盐酸的药液、金属电极的蚀刻中使用的各种酸(硝酸、硫酸等)、抗蚀剂剥离液的碱具有耐久性。(4)内部和表面要没有缺陷(气泡、波筋、夹杂物、麻点、伤痕等)。在上述要求的基础上,近年来处于如下所述的情况。(5)要求显示器轻量化,并且期望玻璃本身也是密度小的玻璃。(6)要求显示器轻量化,并且期望基板玻璃薄板化。(7)除了迄今为止的非晶硅(a-Si)型液晶显示器以外,已经开始制作热处理温度稍高的多晶硅(P-Si)型液晶显示器(a-S1:约350°C— p-S1:350~550°C )。(8)为了加快制作液晶显示器的热处理的升温和降温速度而提高生产率或者提高耐热冲击性,要求玻璃的平均热膨胀系数小的玻璃。另一方面,随着蚀刻向干蚀刻发展,对耐 ...
【技术保护点】
一种无碱玻璃的制造方法,以成为下述玻璃组成的方式制备玻璃原料,投入到熔窑中,加热至1400~1800℃的温度而形成熔融玻璃,然后,将该熔融玻璃成形为板状,所述制造方法中,在所述熔窑中的加热中,将通过燃烧器的燃烧火焰进行的加热与通过以浸渍到所述熔窑内的熔融玻璃中的方式配置的加热电极进行的该熔融玻璃的通电加热组合使用,在将所述熔融玻璃的1400℃下的电阻率设为Rg(Ωcm)且将构成所述熔窑的耐火物的1400℃下的电阻率设为Rb(Ωcm)时,以使Rb>Rg的方式选择所述玻璃原料和所述耐火物,所述玻璃组成以基于氧化物的摩尔%计为:含有200~2000ppm的碱金属氧化物,MgO+CaO+SrO+BaO为16~18.2%,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上,MgO/(MgO+CaO)为0.40以上且小于0.52,MgO/(MgO+SrO)为0.45以上,在设为碱金属氧化物R2O[ppm]、B2O3[%]时,满足600≤R2O+B2O3×10000/(9.14×EXP(0.0045×R2O))。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.06 JP 2011-2667201.一种无碱玻璃的制造方法,以成为下述玻璃组成的方式制备玻璃原料,投入到熔窑中,加热至1400~1800°C的温度而形成熔融玻璃,然后,将该熔融玻璃成形为板状,所述制造方法中, 在所述熔窑中的加热中,将通过燃烧器的燃烧火焰进行的加热与通过以浸溃到所述熔窑内的熔融玻璃中的方式配置的加热电极进行的该熔融玻璃的通电加热组合使用, 在将所述熔融玻璃的1400°C下的电阻率设为Rg(Qcm)且将构成所述熔窑的耐火物的1400°C下的电阻率设为Rb(Qcm)时,以使Rb > Rg的方式选择所述玻璃原料和所述耐火物, 所述玻璃组成以基于氧化物的摩尔%计为: 2.一种无碱玻璃的制造方法,以成为下述玻璃组成的方式制备玻璃原料,投入到熔窑中,加热至1400~1800°C的温度而形成熔融玻璃,然后,将该熔融玻璃成形为板状,所述制造方法中, 在所述熔窑中的加热中,将通过燃烧器的燃烧火焰进行的加热与通过以浸溃到所述熔窑内的熔融玻璃中的方式配置的加热电极进行的该熔融玻璃的通电加热组合使用, 在将所述熔融玻璃的1400°C下的电阻率设为Rg(Qcm)且将构成所述熔窑的耐火物的1400°C下的电阻率设为Rb(Qcm)时,以使Rb > Rg的方式选择所述玻璃原料和所述耐火物, 所述玻璃组成以基于氧化物的摩尔%计为:SiO266~69%、 Al2O312~15%、 B2O30~1.5%、MgO6-9.5%, CaO7-9%,SrO0.5-3%,BaO0-1% >ZrO20-2%,并且 含有600~2000ppm的碱金属氧化物,MgO+CaO+SrO+BaO 为 16 ~18.2%,MgO/ (MgO+CaO+SrO+BaO)为 0.35 以上,MgO/ (MgO+CaO)为 0.40 以上且小于 0.52, MgO/(MgO+SrO)为 0.45 以上。3.如权利要求1或2所述的无碱玻璃的制造方法,其中,以所述Rb与所述Rg之比(Rb/Rg)满足下述式的方式选择所述玻璃原料和所述耐火物,Rb/Rg > 1.00。4...
【专利技术属性】
技术研发人员:德永博文,小池章夫,西泽学,辻村知之,
申请(专利权)人:旭硝子株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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