本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、...

本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、...

本实用新型提供了MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于基底上的电容系统，电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜，背板包括背板绝缘层和固定于背板绝缘层的背板电极层，背板上设有贯通背板绝缘层和背板电极层的声孔，背板绝缘层具有至少一个朝远离...

本实用新型公开了一种麦克风，其包括背板和设置在背板一侧的振膜，所述背板包括主体。所述背板的主体的一侧设有不与所述振膜接触的减薄区，并且在所述主体上形成至少一个孔。主体设有减薄区，从而提高了背板的柔性。当背板被弯曲时，增加的柔性可以减少背...

本实用新型提供一种电容式麦克风，其包括基板，其包括空腔和设于所述空腔上部的台阶；若干固定电极，等距地设于所述台阶上；振膜，收容于所述台阶中，其包括振动部、与所述振动部连接的连接部，自所述振动部的周缘凸设的若干可动电极，所述连接部远离振动...

本实用新型提供一种梳状电容式麦克风包括基板，固定电极及振膜。所述振膜包括振动部、与所述振动部连接的连接部和凸设于所述振动部的周缘的若干可动电极。所述若干固定电极呈梳状排列并直接蚀刻于基板上，所述若干可动电极呈梳状排列，所述固定电极在空间...

本发明提供一种MEMS开关，其包括壳体、开关组件、第一致动电极、第一触点、第二致动电极、第二触点，第三致动电极和第四致动电极，当所述第一致动电极和所述第二致动电极之间不施加电压时，所述开关组件处于所述第一关闭状态并与所述第一触点接触。当...

本实用新型提供一种附加压电元件的麦克风，其包括基板，开设有贯穿该基板的空腔；振膜，包括振动部及至少一连接臂，每一连接臂的两端分别与振动部和基板连接；及压电转换元件，设于其中一连接臂上，用于将收集的由所述振膜在声波作用下产生位移形成的机械...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，MEMS麦克风芯片包括基底、第一膜层以及第二膜层，所述MEMS麦克风芯片还包括支撑所述第一膜层的支撑壁，所述支撑壁的波纹结构包括具有第一开口的凹陷部和具有第二开口的凸起部，所述第一开口和所述第二开...

本发明提供了一种微机电系统加速度计，包括：检验质量、至少一对相对设置的跷跷板结构、以及面外位移检测组件，所述面外位移检测组件用于检测所述跷跷板结构的转动或者所述检验质量的面外线性运动；其中，每两个相对设置的所述跷跷板结构之间通过第一耦合...

本发明提供了一种加速度传感器，包括传感单元，传感单元包括：呈环状的外侧耦合单元；跷跷板结构，包括至少两个且设置于外侧耦合单元的内侧；内侧耦合单元，包括将相邻两个跷跷板结构连接的内侧耦合弹性梁；检验质量块，固定于外侧耦合单元或内侧耦合单元...

本发明提供了一种气体吸附材料，其包括由沸石和胶黏剂团聚形成的多个微球，多个所述微球中至少部分所述微球具有多孔结构且内部包含设置有膨胀球。本发明将高分子聚合物膨胀球加入沸石微球中，利用其在不同温度时会发生膨胀、固化和破裂的特性，在沸石微球...

本发明提供了一种吸音材料块，所述吸音材料块包括多孔吸音颗粒、有机支架材料、粘结剂以及增稠剂，所述多孔吸音颗粒通过所述粘结剂粘附至所述有机支架材料，所述多孔吸音颗粒的粒径为10

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括本体部、与所述基底连接的固定部...

本实用新型提供了一种电子烟，其包括一顶端具有吸烟口的外壳、收容于外壳内且与吸烟口间隔设置的雾化器、设置雾化器与吸烟口之间的烟油腔、以及设置于外壳底端的MEMS传感器，外壳的底端设有连通外界的通孔，MEMS传感器包括具有第一开口的壳体、与...

本发明提供了一种发声器。发声器包括盆架以及收容于盆架内的磁路系统和振动系统，振动系统包括振膜以及驱动振膜振动发声的音圈，磁路系统包括下夹板以及叠设于下夹板的磁钢组件，振膜、盆架以及磁路系统围成发声器的后声腔，盆架上设置有一连通后声腔和发...

本发明提供一种MEMS扬声器，其包括衬底、振动发声部及设有通孔的挡板，挡板、衬底及振动发声部共同围成发声内腔,发声内腔的体积用于调整发声内腔的谐振频率，以使发声内腔的谐振频率与MEMS扬声器的预设频率产生共振；通孔的体积用于调整MEMS...

本实用新型提供一种微机械陀螺仪，包括：固定基底；锚点结构，设置于固定基底上，且锚点结构与固定基底连接；环振动结构，设置于锚点结构内围或设置于锚点结构外围，环振动结构与锚点结构机械耦合，环振动结构的轮廓为正6M边形，其中，M为不小于2的整...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置，所述背板设...

本发明提出一种同轴扬声器，其包括盆架、振动系统和磁路系统，磁路系统包括固定于盆架的导磁组件以及磁钢组件，导磁组件包括呈环形的第一导磁板、固定于第一导磁板且间隔设置的内侧壁和外侧壁以及固定于内侧壁远离第一导磁板一端的第二导磁板，磁钢组件包...