昆山欣谷微电子材料有限公司专利技术

昆山欣谷微电子材料有限公司共有63项专利

  • 本技术公开了一种生命线支架,包括支架,扣索,安全绳和防坠器,其特征在于,所述支架包括底板和铁架,底板上垂直并间隔的设有两气缸,底板内设有与气缸相连的气路管道以及遥控电磁阀门,遥控电磁阀门与对应的遥控器通过无线连接,气缸上设有一推杆,推杆...
  • 本实用新型公开了一种冰乙酸废液回收装置,包括间歇共沸蒸馏釜、送料泵、精馏釜、第一废料收集单元、第二废料收集单元、冰乙酸收集单元和连接管道;间歇共沸蒸馏釜顶部设有废液进料口、加料口和第一填料塔,第一填料塔的出料口通过连接管道与第一废料收集...
  • 本发明涉及一种湿电子化工技术,具体是一种缓释溶氧量配制显影液的共聚器及其使用方法,该共聚器包括了用于供各试剂共聚配制并定容形成显影液的罐体结构、辅助混合机构、以及缓释溶氧机构;辅助混合机构用于在罐体结构内通过机械搅拌的方式促进各试剂依次...
  • 本发明涉及一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺,该设备包括撬装式底座,撬装式底座上安装有散化结构、物理分离机构、以及蒸馏组件,物理分离机构对打散处理后的废液进行析滤处理;而且物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时,可改变废液在其内部的...
  • 本发明涉及一种剥离液散化离纯并复配的设备及工艺,该设备包括撬装式底座,撬装式底座上安装有散化结构、物理分离机构、以及蒸馏组件,物理分离机构对打散处理后的废液进行析滤处理;而且物理分离机构在其内部的压强增加到预设值时,可改变废液在其内部的...
  • 本实用新型公开了一种化工废气处理装置,包括两尾气洗涤塔和尾气管道,尾气洗涤塔内部中空,其底部设有一储水池,一循环泵和若干给水管道,给水管道末端设有若干超氧微纳米气泡发生喷淋,储水池和循环泵通过给水管道与超氧微纳米气泡发生喷淋相连,超氧微...
  • 本实用新型公开了一种蚀刻液混配及储存装置,包括:控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐,送料管道设置在控制面板与储液罐之间,送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵,储液罐底部设有搅拌器,控制面板上设有若干进/出液口、送料泵...
  • 本发明公开了一种金属低蚀刻率光刻胶剥离液组合物,由以下重量百分含量的原料组成:65
  • 本发明涉及一种用于制备亲水性表面硅片的碱性抛光液组合物,包括研磨颗粒、表面处理剂、PH调节剂、分散剂、表面活性剂及水。其组分按重量百分比计包括:20~40%研磨颗粒,6~12%的表面处理剂,PH调节剂,4~10%的分散剂,0.01~0....
  • 一种酸性废气中和处理装置,包括液封罐和喷淋罐,液封罐与喷淋罐之间通过连接管相互连接,液封罐上表面设有废气输入管,内部设有碱性液,喷淋罐侧方设有循环水泵,内部设有水箱,喷淋管穿过喷淋罐外侧表面与其相互连接,水箱、循环水泵与喷淋管之间通过循...
  • 本发明涉及一种水系剥离液组合物,包括去离子水、有机季胺化合物、有机醇胺、有机剥离溶剂、缓蚀剂、螯合助剂,并同时提供了所述一种水系剥离液组合物的使用方法,本发明主要用于去除微电子制造过程中光刻胶残留物,操作温度较低,能耗较少,在对晶圆清洗...
  • 一种加热搅拌装置,包括加热底板,加热底板上表面侧边设有立杆,立杆外侧表面为圆弧形结构,并与其相互垂直滑动连接设有横杆,横杆上表面设有电机,下底面连接设有传动轴,传动轴端部通过搅拌连接杆与搅拌扇叶相互连接,立杆外侧表面设有套筒,套筒外侧表...
  • 一种水槽加热装置,包括水槽,水槽外侧表面上端设有注水管,下端设有限位排水管,底部设有排水管,注水管上设有注水阀,限位排水管上设有限位排水阀,排水管上设有排水阀,水槽内部分别设有电热管、蒸汽加热管和水位测量仪,蒸汽加热管上端设有蒸汽阀门,...
  • 一种气体净化装置,包括罐体,罐体外侧表面上侧设有气体输入管,下侧对称设有固定架,上顶面设有气体输出管,下底面设有排液管,所述罐体内部上表面设有挡板,挡板侧方设有冷凝过滤器;本申请通过气体输入管向罐体内输入废气,所输入的废气被挡板挡住后会...
  • 一种弱酸性废气处理装置,包括罐体,罐体上表面分别设有废气输入口和废气输出口,下底面设有排液口,排液口侧边设有排液阀,罐体外表面下侧对称设有固定架,内部上表面设有挡板,挡板侧方设有冷凝处理装置,罐体内部设有碱性液;本申请通过废气输入口向罐...
  • 一种卸料保护装置,包括容器,容器底部设有称重装置,顶部设有卸料管,卸料管上设有电磁阀,容器内部设有液位计,控制箱与电磁阀、液位计和称重装置相互电连接;本申请在卸料时将电磁阀打开,通过卸料管对容器内进行卸料,在卸料过程中,称重装置和液位计...
  • 一种加温循环装置,包括热水罐、蒸汽排放口、补水口,热水罐顶部设有温度变送器,补水口通过补水管道与热水罐相互连接,放水管一端与热水罐外侧表面相互连接,其另一端与抽水管连接,所述抽水管上设有抽水泵,所述抽水管另一端与循环管连接,循环管上设有...
  • 一种无水氟化氢卸料装置,包括槽车、原料储罐和氮气罐,原料储罐底部设有称重装置,内部设有雷达波液位计量器,原料储罐通过卸料管与槽车相互连接,卸料管一端设有紧急断料阀,氮气罐通过氮气输入管与槽车相互连接,氮气输入管一端设有紧急氮气切断阀,其...
  • 一种无水氟化氢汽化装置,包括热水输入阀、热水输出阀、无水氟化氢输入阀和汽化器,热水输入阀通过输入管与汽化器相互连接,热水输出阀通过输出管与汽化器相互连接,无水氟化氢输入管中部与汽化器底部相互连接,汽化器顶部通过汽化输入管道与去纯塔相互连...
  • 一种无尘分装柜,包括箱柜和防尘门,箱柜整体为中空结构,其外侧表面旋转连接设有防尘门,防尘门侧边上下方向分别设有电子操作屏和泵浦开关,箱柜上表面设有空气过滤器,箱柜外侧表面上下对称设有动力柜和电器柜,箱柜内部设有化学品容器,所述化学品容器...