卡尔蔡司显微镜有限责任公司专利技术

卡尔蔡司显微镜有限责任公司共有339项专利

  • 一种以荧光显微术观察试样的方法,应用如下的显微镜,其对通过照明光程的试样以激发光束照明并且沿着光轴在像场中成像到照相机芯片上,照明光程具有用于选择性地进行目标区域照明的可调整的光阑,将试样上的区域选为目标区域,将用于选择性地进行目标区域...
  • 用于对数码显微镜进行测量校准的校准板及其使用方法
    本发明涉及用于对数码显微镜进行测量校准的校准板及其使用方法。所述校准板包括至少一个形成有表面构造的校准区,所述表面构造包括周期性地排布的多个格子单元,其中,每个格子单元的边界的至少一部分和/或顶点的至少一部分能够由所述数码显微镜的光学成...
  • 本发明涉及用于检查微观样本的光显微镜和显微镜学方法。根据本发明,该显微镜学方法的其特征在于:在不同样本记录的高度测量范围相互重叠的高度,记录样本记录;在两个分别的样本记录中,识别共同横向区域;对共同横向区域,能在两个样本记录中获得高度信...
  • 本发明涉及一种用于显微镜的镜筒透镜单元,具有消色差校正的效果,用于和具有无穷大像距和消色差的剩余误差的物镜一起使用。按照本发明,镜筒透镜单元包括至少两个透镜(L1、L2、L3、L4、L5),至少两个透镜具有以下特性:np<1.50...
  • 显微镜和用于选择性平面照明显微术的方法
    本发明涉及显微镜,该显微镜包括:照明装置,该照明装置包括照明光源(3)和用于以光片照亮样本(1)的照明光路;用于检测从样本(1)辐射出的光的检测装置;成像光学器件,该成像光学器件将样本(1)通过成像光路中的成像物镜(7)至少部分地在检测...
  • 公开了用于根据由带电粒子显微镜生成的对象的微观数据来生成分析数据的数据分析系统。微观数据包括示出结构的图像。通过图形用户界面在显示器上显示结构的图形表示。生成代表分离切割的至少一条路径的分离数据,分离切割将结构的像素相互分离。根据分离数...
  • 光学显微镜和用于利用光学显微镜记录图像的方法
    本发明涉及一种光学显微镜,其具有用于向试样方向发射出照射光的多色光源、用于将照射光聚焦到试样上的聚焦器件和探测装置,其中,聚焦器件具有纵向色差以产生深度分辨率;探测装置包括二维阵列的探测元件,用以检测来自试样的试样光。根据本发明,光学显...
  • 带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法
    本公开涉及一种气体场离子源,包括壳体;布置在壳体内的导电尖端;气体供应器,将一种或多种气体供应至壳体,其中,所述一种或多种气体包括氖或具有质量大于氖的原子的惰性气体;以及引出电极,具有孔,以允许在尖端附近产生的离子穿过所述孔。引出电极的...
  • 本公开涉及带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统包括惰性气体场离子束源、带电粒子束柱和壳体,壳体限定第一真空区域和第二真空区域。惰性气体场离子束源布置在第一真空区域内。第一机械真空泵功能上附接至第一真空区域,离子吸气...
  • 本公开涉及一种带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统括带电粒子束源、带电粒子柱、样品室、布置在带电粒子柱、带电粒子束源和样品室之一内或之一处的多个电动装置、以及将AC电压转换为DC电压的至少一个第一转换器。第一转换器...
  • 用于确定离子质量选择的装置
    本发明涉及一种用于质量筛选地确定至少一个离子或多个离子的装置。把根据本发明的装置应用在例如具有离子阱(1404)的测量装置中。离子阱(1404)包括具有第一开口的环形电极(1401)。第一电极(1402)安置在第一开口上。此外设置用于为...
  • 本发明涉及一种用于显微镜物镜(01)的环形照明装置(07)、以及设有这种环形照明装置(07)的显微镜物镜(01)。所述环形照明装置(07)具有至少两个LED单元(11),它们被收容在照明环(17)中,所述照明环可以被连接至显微镜物镜(0...
  • 本发明涉及一种方法和一种带电粒子束装置(1),用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有...
  • 处理材料试样的方法
    一种在材料试样1中产生光滑表面23的方法,包括:通过粒子束蚀刻将第一材料量去除来产生基本光滑的第一表面区域21,其中,所述第一材料量由所述第一表面区域部分地限定,并且其中,射束方向15与第一表面区域21的表面法线之间的角度大于80°且小...
  • 在粒子射线设备内调整支架元件的位置的方法
    本发明涉及一种用于调整安置在粒子射线设备内的支架元件的位置的方法,其中,所述支架元件设计用于支承物体,所述粒子射线设备具有至少一个用于粒子射线的射线发生器和至少一个用于聚焦粒子射线的物镜,并且其中支架元件设计借助至少一个第一步进电动机可...
  • 通过脉冲光准备显微镜样品的方法和装置
    本发明涉及通过光脉冲来准备显微镜样品的方法和装置,其中大于100μm3的材料体积被清除。该方法包括以下步骤:通过扫描电子显微镜(SEM)或者聚焦离子束(FIB)检查物体,其中该检查包括记录物体的图像;在该物体中勾勒出待研究的区域;基于物...
  • 粒子束系统及其运行方法
    一种运行粒子束系统的方法,其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间;产生包括多个数据记录的数据结构,其中每一个数据记录包括表示用于至少一...
  • 本公开提供了一种操作激光扫描器的方法以及一种加工系统。所述方法包括使用所述激光扫描器沿着扫描路径扫描激光束,并且检测由所述激光束入射到检测截面上的激光产生的光强度;以及基于所检测的光强度确定所述检测截面相对于所述激光扫描器的位置;其中所...
  • 本发明提供了一种用于粒子束设备的高电压源装置。本发明涉及用于粒子束设备(11、12)的高电压源装置(100)和包含该类型的高电压源装置(100)的粒子束设备(11、12)。高电压源装置(100)具有用于输送高电压的至少一个高压电缆(10...